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Incorporation of Electromagnetic Ion cyclotron waveinto Radiation Belt environment model
강석빈, 최은진, 황정아, 김경찬, 이재진, 민경욱, 최정임, 박영득, Kang. Suk-Bin, Choi. Eunjin, Hwang. Junga, Kim. Kyung-Chan, Lee. Jaejin, Fok. Mei-ching, Min. Kyoungwo 한국천문학회 천문학회보 1 Pages
한국천문학회 천문학회보 2012, Vol.37 No.2 132-132 (1 pages)
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Characterization of Basic Nitrogen-Containing Compounds in the Products of Lube Base Oil Processing by Electrospray Ionization Fourier Transform Ion Cyclotron Resonance Mass Spectrometry
Li. Xiaohui, Zhu. Jianhua, Wu. Bencheng 대한화학회 Bulletin of the Korean Chemical Society 8 Pages
대한화학회 Bulletin of the Korean Chemical Society 2014, Vol.35 No.1 165-172 (8 pages)
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Simulating a Delayed Injection Electrodes to Improve the Mass Detection Range of a Fourier Transform Ion Cyclotron Resonance Mass Spectrometer
Choi. Myoung Choul, Park. A Leum, Park. Kyu Hwan, Kim. Hyun Sik 대한화학회 Bulletin of the Korean Chemical Society 4 Pages
대한화학회 Bulletin of the Korean Chemical Society 2013, Vol.34 No.1 275-278 (4 pages)
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Identification of Phospholipid Molecular Species in Porcine Brain Extracts Using High Mass Accuracy of 4.7 Tesla Fourier Transform Ion Cyclotron Resonance Mass Spectrometry
Yu. Seong-hyun, Cho. Kun, Kim. Young-Hwan, Park. Soo-jin, Kim. Jae-dong, Oh. Han-Bin 대한화학회 Bulletin of the Korean Chemical Society 4 Pages
대한화학회 Bulletin of the Korean Chemical Society 2006, Vol.27 No.5 793-796 (4 pages)
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Electron Cyclotron Resonance $N_2$O-플라즈마 게이트 산화막을 사용한 다결정 실리콘 박막 트랜지스터의 성능 향상 및 단채널 효과 억제
이진우, 이내인, 한철희 대한전자공학회 電子工學會論文誌. Journal of the Korean Institute of Telematics and Electronics. D 7 Pages
대한전자공학회 電子工學會論文誌. Journal of the Korean Institute of Telematics and Electronics. D 1998, No.0 68-74 (7 pages)
본 논문에서는 electron cyclotron resonance (ECR) N₂O-플라즈마 산화막을 게이트 산화막으로 사용한 다결정 실리콘 박막 트랜지스터 (TFT)의 성능과 단채널 특성에 대하여 연구하였다. ECR NE₂O-플라즈마 게이트 산화막을 사용한 소자는 열산화막을 이용한 경우에 비해 우수한 성능과 억제된 단채널 효과를 나타낸다. 얇은 ECR N2O-플라즈마 산화막을 사용하여 n채널 TFT의 경우 3 ㎛, p채널 TFT의 경우 1㎛ 게이트 길이까지 문턱 전압 감소가 없는 소자를 얻었다. 이러한 특성 향상은 부드러운 계면, passivation 효과, 그리고... -
KCCH cyclotron neutron 및 $^{60}Co;{gamma}-ray$에 의한 인체 말초혈액 임파구의 염색체 이상측정
김성호, 김태환, 정인용, 조철구, 고경환, 류성렬, Kim. Sung-Ho, Kim. Tae-Hwan, Chung. In-Yong, Cho. Chul-Koo, Koh. Kyoung-Hwan, Yoo. Seong-Yul 대한방사선방어학회 방사선방어학회지 10 Pages
대한방사선방어학회 방사선방어학회지 1992, Vol.17 No.1 21-30 (10 pages)
cyclotron neutron(30cCy/min) 및 $^{60}Co;{gamma}-ray(210cGy/min)$를 시험관내의 정상인체 말초혈액임파구에 조사하여 염색체이상(dicentric 및 centric ring)을 관찰하고 이의 선량-반응관계식을 linear model$(Y=K_1D+a)$, power-law model$(Y=K_2D^n)$, quadratic model$(Y=K_3D^2)$ 및 linear-quadratic model$(Y={alpha}D+{eta}D^2)$을 사용하여 구하고 이들 model중 염색체이상의 측정치와 가장 일치하는 관계식을 근거로 하여 ${gamma}-ray$에 대한 neutron의 relative biological effectiveness (RBE)를 산출하였다. 염색체... -
KCCH Medical Cyclotron Operation for Neutron Therapy and Isotope Production (1989) - A Technical Report -
김병문, 김영서, 박주식, 이종두, 류성렬, 고경환, Kim. Byung-Mun, Kim. Young-Sear, Bak. Joo-Shik, Lee. Jong-Du, Yoo. Seong-Yul, Koh. Kyung-Hwan 대한방사선방어학회 방사선방어학회지 10 Pages
대한방사선방어학회 방사선방어학회지 1990, Vol.15 No.2 113-122 (10 pages)
원자력병원에 설치된 MC-50 의학용 싸이클로트론은 4년간의 장비 도입 계획, 장비 인수 및 설치 그리고 빔 특성조사를 거쳐서 1986년 11월부터 가동을 시작하였다. MC-50 싸이클로트론은 현재 중성자치료 및 방사성 동위원소 생산에 이용되고 있다. 1989년 12월 현재, 중성자선 치료는 총 179명(1852 sessions)의 환자에서 시행되었다. 핵의학 분야에 이용되는 방사성 동위원소의 생산은 표적운반, 표적용융, 빔 진단 그리고 화학적 처리과정에 관한 문제들을 해결하기 위한 다각적인 연구를 거친 후 1989년 3월부터 시작하였다. 이... -
Fast neutron irradiation deteriorates hippocampus-related memory ability in adult mice
Miyoung Yang, Hwanseong Kim, Juhwan Kim, Sung-Ho Kim, Jong-Choon Kim, Chun-Sik Bae, Joong-Sun Kim, Taekyun Shin, Changjong Moon* 대한수의학회 Journal of Veterinary Science 6 Pages
대한수의학회 Journal of Veterinary Science 2012, 제 13권 제 1호 1 1-6 (6 pages)
Object recognition memory and contextual fear conditioning task performance in adult C57BL/6 mice exposed to cranial fast neutron irradiation (0.8 Gy) were examined to evaluate hippocampus-related behavioral dysfunction following acute exposure to relatively low doses of fast neutrons. In addition, hippocampal neurogenesis changes in adult murine brain after cranial irradiation were analyzed using the neurogenesis immunohistochemical markers Ki-67 and doublecortin (DCX). In the object... -
Relative biological effectiveness of fast neutrons for apoptosis in mouse hair follicles
Hae-June Lee, Sung-Ho Kim* 대한수의학회 Journal of Veterinary Science 6 Pages
대한수의학회 Journal of Veterinary Science 2007, 제 8권 제 4호 4 335-340 (6 pages)
This study compared the effects of high linear energy transfer (LET) fast neutrons on the induction of apoptosis in the hair follicles of ICR mice with those of low LET Co ■-rays. The changes that occurred from 0 to 24 h after exposing the mice to either 2 Gy of ■-rays (2 Gy/min) or 0.8 Gy of neutrons (94 mGy/min, 35 MeV) were examined. The maximum frequency was found at 12 h (■- rays) or 8 h (neutrons) after irradiation. The mice that received 0-8 Gy of ■-rays or 0-1.6 Gy of neutrons were... -
프랑스 ‘파리국립기술공예박물관’ 전시물 사례 연구 : 에너지와 관련하여
이봉우, 김희경 에너지기후변화교육학회 에너지기후변화교육 9 Pages
에너지기후변화교육학회 에너지기후변화교육 2015, 제 5권 제 1호 3 17-25 (9 pages)
본 연구의 목적은 과학관의 전시물 중에서 에너지와 기후변화와 관련된 전시물이 어떤 유형으로 제시 되어 있는지에 대한 분석이다. 이를 위해서 프랑스 파리의 국립기술공예박물관 전시물을 사례로 분석하였다. 에너지와 관련된 전시물로는 온도계, 라부아지에의 실험실, 사이클로트론, 볼타 전지 등을 발견할 수 있다. 이 밖에 파리국립기술공예박물관이 보유한 푸코 진자, 푸코의 빛의 속력 측정 장치, 파스칼의 계산기 등의 대표 전시물들을 소개하였다 -
과학기술위성 3호 대용량 메모리에 대한 오류복구 코드 및 SEU 시험 결과 분석
서인호, 유광선, 오대수, 김병준, Seo. In-Ho, Ryu. Kwang-Sun, Oh. Dae-Soo, Kim. Byung-Jun 한국항공우주학회 韓國航空宇宙學會誌 7 Pages
한국항공우주학회 韓國航空宇宙學會誌 2010, Vol.38 No.1 87-93 (7 pages)
과학기술위성 3호 대용량 메모리를 SEU로부터 보호하기 위해서 4비트 심볼을 이용하는 RS(10,8) 코드를 개발 하였다. 따라서 32비트 데이터에 대해서 8비트의 페리티를 추가 하였으며 1 심볼에 대해서 에러를 복구할 수 있다. 또한 우리별 3호의 결과를 이용하여 예상되는 SEU 발생률과 스크럽 주기를 계산하였다. 이 결과를 바탕으로 한국원자력 의학원에 있는 Cyclotron 양성자 가속기를 이용하여 SEU 시험을 수행 하였다. -
하이퍼써멀 에너지 영역에서 높은 플럭스 입자빔 생성을 위한 플라즈마 발생원
유석재, 김성봉, Yoo. S.J., Kim. S.B. 한국진공학회 韓國眞空學會誌 11 Pages
한국진공학회 韓國眞空學會誌 2009, Vol.18 No.3 186-196 (11 pages)
의한 전자가둠 방식이 도입되어야 하는데, 영구자석을 이용한 다양한 자기장 구조를 갖는 Electron Cyclotron Resonance (ECR) 플라즈마 발생 방식이 하나의 해결 방법이 될 수 있음을 제안하였다. 여기에는 마그네트론 구조를 갖는 자기장을 채택한 평면형 ECR 플라즈마 발생 방식과 원통형 플라즈마 용기 외벽 둘레에 영구자석 어레이를 설치하여 축방향 자기장을 형성하고 용기 중심부에 전자를 가두는 원통형 방식이 있다. 두 경우 모두 기본적으로 mirror field 구조에 의한 전자 가둠을 기반으로 하고 전자의 drift에 의해 더욱... -
자화 플라즈마의 분산특성과 유효광학계수 변화
라상호, 정재성, 오범환, 박세근 한국진공학회 韓國眞空學會誌 5 Pages
한국진공학회 韓國眞空學會誌 2000, Vol.9 No.3 285-289 (5 pages)
플라즈마에 있어서 전자밀도의 증가로 인한 플라즈마의 투과깊이 감소와, 그와 상반되는 충돌주파수 증가로 인한 투과깊이 증가를 고려하여, 보다 균일한 플라즈마 공정을 위한 기초 자료로서 중성 입자와 전자간의 충돌주파수, 전자밀도 및 자기장의 크기와 플라즈마 투과깊이 간의 상관관계를 확인하였다. 통상적인 저압 공정 플라즈마 조건하에서, 약 4.8 gauss의 자기장이 축방향으로 인가되는 경우 cyclotron 공명에 의해 투과깊이가 최소값을 가지는 것을 재확인하였으며, 그 이상의 자기장에서는 원형 편광파의 침투깊이를 비롯한... -
전자 사이클로트론 공명 플라즈마 화학적 기상 증착 장치에서의 수소플라즈마 특성연구
김우준, 구자춘, 황기웅 한국진공학회 韓國眞空學會誌 6 Pages
한국진공학회 韓國眞空學會誌 1994, Vol.3 No.3 331-336 (6 pages)
Electron cyclotron resonance plasma chemical vapor deposition (ECRPCVD) 장치에서 공정변 수에 따른 수소플라즈마 특성을 조사하였다. 균일한 플라즈마 밀도를 얻기 위하여 전자공명층이 기판과 평행하게 형성되도록 정자장 코일을 설계하였으며 기판근처에 부가적으로 형성된 multicusp field 에의 해서 기판 근처에서의 플라즈마 균일도를 개선시킬수 있었다. 또한 절연된 공진실과 기판에의 독립적인 DC bias에 의해서 기판으로 입사하는 하전입자들이 에너지와 유량을 조잘할 수 있었다. 이러한플라즈마 특성을 갖는... -
ECR 플라즈마 반응로의 설계변수 분석
강봉구, 박성호, Gang. Bong-Gu, Park. Seong-Ho 한국전자통신연구원 전자통신 9 Pages
한국전자통신연구원 전자통신 1989, Vol.11 No.2 100-108 (9 pages)
본 연구에서는 초고집적 반도체소자의 제작을 위해 기존 건식 식각장비를 미래의 유명한 식각장비로서 부각될 ECR(Electron Cyclotron Resonance)형 플라즈마 식각기로의 구조 및 성능 개선을 위해 플라즈마 발생실, 이를 둘러싸는 자기장 형성코일, 그리고 공정반응실의 주요한 설계변수를 추출하여 이론적 계산에 의해 최적화함으로써, 차후 prototype ECR 건식 식각장치를 제작하기 위한 기반기술을 구축하였다. -
반응가스조성이 PET기판위에 ECR 화학증착법에 의해 제조된 SnO2 박막특성에 미치는 영향
김연석, 이중기, Kim. Yun-Seok, Lee. Joong-Kee 한국전기화학회 전기화학회지 7 Pages
한국전기화학회 전기화학회지 2005, Vol.8 No.3 139-145 (7 pages)
전자싸이크로트론공명(ECR: Electro Cyclotron Resonance)상온화학증착법에 의해 PET 폴리머기판위에 $SnO_x$ 박막을 제조하고, Sn의 전구체인 TMT(Tetra-methyl Tin)에 대한 산소와 수소의 몰 비 변화가 박막의 특성에 미치는 영향을 조사하였다 비화학양론적인 결합에 의해 성장된 투명 주석 산화막은 주입되는 산소/TMT, 수소/TMT몰 비에 의하여 조성비가 결정되고, 결정된 조성비에 의해 전기적 성질이 결정되는 것을 확인할 수 있었다. 산소/TMT의 몰 비 변화에 대하여 PET(polyethylene terephthalate)에 증착된 $SnO_x$ 박막의... -
지파 불안정성 해석에 의한 대구경 후진파발진기의 연구
김원섭, Kim. Won-Sop 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 6 Pages
한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 2010, Vol.23 No.1 70-75 (6 pages)
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ECR을 이용한 ${SF_6}/{O_2}$ 가스 플라즈마에 의한 ITO의 식각 특성연구
권광호, 강승열, 김곤호, 염근영 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 5 Pages
한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 2000, Vol.13 No.7 563-567 (5 pages)
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저온 증착된 불소도핑 주석 산화 박막의 광학적·전기적 특성
박지훈, 전법주, Park. Ji Hun, Jeon. Bup Ju 한국재료학회 한국재료학회지 8 Pages
한국재료학회 한국재료학회지 2013, Vol.23 No.9 517-524 (8 pages)
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차세대 노광공정용 Ta박막의 $0.2mu extrm{m}$ 미세패턴 식각특성 연구
우상균, 김상훈, 주섭열, 안진호, Woo. Sang-Gyun, Kim. Sang-Hoon, Ju. Sup-Youl, Ahn. Jin-Ho 한국재료학회 한국재료학회지 6 Pages
한국재료학회 한국재료학회지 2000, Vol.10 No.12 819-824 (6 pages)
본 연구에서는 Electron Cyclotron Resonance plasma etching system 을 이용한 Ta 박막의 미세 식각 특성을 연구하였다. 염소 plasma를 사용하여 microwave power, RF Power, working pressure, gas chemistry 등의 변화에 따른 식각 profile의 영향을 조사하였고, pattern density가 증가함에 따라 발생하는 microloading 현상을 $0.2{mu extrm{m}}$ 이하의 패턴에서 확인 하였다. 이를 개선하기 위하여 식각 과정을 두 단계로 분리하는 2단계 식각 공정을 수행하였으며 이를 통해 우수한 식각 profile을 얻을 수 있었다. -
ECR-PECVD로 증착한 a-Si : H/Si으로 부터의 가시 PHotoluminescence
심천만, 정동근, 이주현, Shim. Cheon-Man, Jung. Dong-Geun, Lee. Ju-Hyeon 한국재료학회 한국재료학회지 3 Pages
한국재료학회 한국재료학회지 1998, Vol.8 No.4 359-361 (3 pages)
$SiH_{4}$를 반응물질로 사용하여 electron cyclotron resonance plasma enhanced chemical vapor deposition(ECR-PECVD)로 실리콘 기판위에 증착한 수소화 비정질 실리콘(a-Si:H)으로부터 가시 photoluminescence(PL) 가 관찰되었다. a-si:H/Si로 부터의 PL은 다공질실리콘으로부터의 PL과 유사하였다. 급속열처리에 의해 $500^{circ}C$에서 2분간 산소분위기에서 어닐링된 시편의 수소함량은 1~2%로 줄어들었고 시편은 가시 PL을 보여주지 않았는데 이는 a-Si:H의 PL과정에서 수소가 중요한 역할을 한다는 것을 뜻한다. 증착된... -
저유전율 SiOF 박막의 흡습 특성 연구
이석형, 유재윤, 오경희, 박종완, Lee. Seok-Hyeong, Yu. Jae-n, O. Gyeong-Hui, Park. Jong-Wan 한국재료학회 한국재료학회지 5 Pages
한국재료학회 한국재료학회지 1997, Vol.7 No.11 969-973 (5 pages)
저유전율 층간절연물질인 불소첨가 SiO$_{2}$박막을 ECR(electron cyclotron resonance) Plasma chemical vapor deposition 법으로 성막하였다. SiOF박막의 증착은 SiF$_{4}$/O$_{2}$의 가스유량비를 변수로하여 0.2에서 1.6까지 변화시켜 증착하였고, 이때 마이크로파 전력은 700W, 기판온도는 30$0^{circ}C$에서 행하였다. 증착된 SiOF박막의 흡습특성을 알아보기 위하여 Fourier transformed infrared spectroscopy(FTIR)을 이용하여 분석한 결과, 가스유량비 (SiF$_{4}$O$_{2}$)가 0.2 에서 1.6으로 증가하였을 때... -
Si3N4장벽층을 이용한 경사형 모서리 접합의 터널링 자기저항 특성
김영일, 황도근, 이상석, Kim. Young-Ii, Hwang. Do-Guwn, Lee. Sang-Suk 한국자기학회 韓國磁氣學會誌 5 Pages
한국자기학회 韓國磁氣學會誌 2002, Vol.12 No.6 201-205 (5 pages)
모서리접합을 이용한 터널링 자기저항(tunneling magnetoresistance; TMR) 특성을 연구하였다. 박막 증착과 식각은 스퍼터링과 사이크로트론 전자공명 (electron cyclotron resonance; ECR) 장치를 각각 사용하였다. Si$_3$N$_4$ 장벽층을 이용한 접합의 다층구조는 NiO(60)/Co(10)/NiO(60)/Si$_3$N$_4$(2-6)/NiFe(10) (nm)이었다. 상하부 반강자성체 NiO에 삽입된 wedged 형태의 고정층 Co와 장벽층 Si$_3$N$_4$위에 경사진 비대칭 구조에서 자유층 NiFe간의 접합에서 일어나는 특이한 스핀의존 터널링 현상이 관찰되었다. 외부자장이 0... -
MC-50 싸이클로트론의 설계 특징과 동작 특성
Bak. Hae-Ill, Bak. Joo-Shik 한국원자력학회 Journal of the Korean Nuclear Society 7 Pages
한국원자력학회 Journal of the Korean Nuclear Society 1989, Vol.21 No.3 216-222 (7 pages)
원자력병원에 설치되어 있는 MC-50 싸이클로트론은 중성자 치료와 의학용 동위원소 생산을 위해 가동중에 있다. 본 논문에서는 MC-50의 설계 특징, 기계적 구조, 가동 특성에 대하여 기술하고 있다. 본 싸이클로트론의 최적 가동 조건은 반복적인 운전에 의해 결정되었으며, 내부 빔의 성능은 싸이클로트론 반경의 함수로서 내부 빔의 세기 및 공간 분포 측정을 통해 조사되어졌다. 일상적으로, 인출효율이 61%일 때 40$mu$A세기의 50 MeV 양성자 빔을 얻었다. -
MC-50 싸이클로트론을 이용한 위성용 열조절 유기복합재료의 우주환경 영향 연구
김대원, 김동일, 허용학, 양태건, 이호영, 김용협, Kim. Dae-Weon, Kim. Dong-Iel, Huh. Yong-Hak, Yang. Tae-Keun, Lee. Ho-Young, Kim. Yong-Hyup 한국우주과학회 韓國宇宙科學會誌 10 Pages
한국우주과학회 韓國宇宙科學會誌 2005, Vol.22 No.4 441-450 (10 pages)
우주환경에서 유기재료의 물성변화를 관찰하였다. 대표적인 위성용 유기 열조절 재료 중 하나인 2mil ITO(Indium Tin Oxide) coated aluminized KAPTON을 실험 대상으로 선택하였다. 양성자에 의한 단일 우주환경효과를 실험하기 위하여, 한국 원자력의학원의 MC-50 싸이클로트론(cyclotron)을 이용하여 양성자를 조사(irradiation)하였으며, 조사조건은 지구궤도 주변 최고의 양성자 발생기록인 1972년 8월의 최고치 상황을 적용하였다. 조사에너지는 평균 관측에너지인 30MeV으로 고정하였으며, 등가 조사량은 우주노출 시간 1년, 3년,... -
ECR-PECVD 방법으로 증착한 Diamond-Like carbon 박막의 광 특성
김대년, 김기홍, 김혜동, Kim. Dae-Nyoun, Kim. Ki-Hong, Kim. Hye-Dong 한국안광학회 한국안광학회지 9 Pages
한국안광학회 한국안광학회지 2004, Vol.9 No.2 291-299 (9 pages)
ECR-PECVD 방법을 이용하여 ECR power, $CH_4/H_2$ 가스 혼합비와 유량, 증착시간을 고정 시켜놓고 기판 bias 전압을 변화 시켜가면서 유리 기판위에 DLC 박막을 제작하였다. Raman, FTIR 및 UV/Vis 스펙트럼을 측정하여 기판 bias 진압에 따른 이용 충돌이 박막의 특성 변화에 미치는 영향을 조사하였다. FTIR 분석결과로부터 기판 bias 전압을 증가시킬수록 이용충돌 현상이 두드러져 탄소와 결합하고 있던 수소원자들의 탈수소화 현상을 확인할 수 있었고, 박막의 두께는 bias 전압을 증가시킬수록 감소되었다. 그리고 Raman... -
18FDG 생산용 타겟("사용 후 H218O")의 방사화 분석
강보선, Kang. Bo Sun 한국방사선학회 한국방사선학회 논문지 7 Pages
한국방사선학회 한국방사선학회 논문지 2013, Vol.7 No.3 213-219 (7 pages)
현재 국내에서 가동 중인 싸이클로트론센터는 약 35개소에 이르며, 대부분의 싸이클로트론 센터는 주로 핵의학검사용 악성종양 추적자인 $^{18}FDG$ 등과 같은 방사성의약품을 생산하고 있다. 18F을 생산하기 위한 타겟으로서 산소동위원소비($^{18}O/O$)가 98%정도인 고농축 $H_2{^{18}}O$를 사용하고 있다. 고농축 $H_2{^{18}}O$는 1 gram당 가격이 약 60~70 USD 정도로 매우 고가이나 100% 수입에 의존하고 있는 상황이다. 양성자 빔 조사 전의 타겟(고농축 $H_2{^{18}}O$)은 비방사성이다. 하지만, "사용후... -
Pt 박막의 SF$_6$/Ar과 C1$_2$/Ar 플라즈마 가스와의 표면반응에 관한 연구
김상훈, 주섭열, 안진호 한국마이크로전자및패키징학회 마이크로전자 및 패키징 학회지 5 Pages
한국마이크로전자및패키징학회 마이크로전자 및 패키징 학회지 2001, Vol.8 No.3 63-67 (5 pages)
Cl 계열의 가스에 의한 물리적인 스퍼터링 기구에 초점을 맞추어 연구가 진행되어왔으며 F 계열의 가스에 의한 식각 특성은 상당히 미진하였다. 본 연구에서는 ECR(electron cyclotron resonance) 플라즈마 식각 장비를 이용하여 $Cl_2$/Ar 가스와 $SF_{6}$/Ar 가스를 사용하여 Pt 박막의 식각 특성을 연구하였고, $SF_{6}$/Ar 가스의 경우 Pt 박막과 반응하여 휘발성의 식각 부산물을 형성시킬 수 있음을 확인하였다. 그리고 휘발성있는 platinum fluoride 화합물의 형성에 의해 식각률, 식각 측면형상과 표면 거칠기 특성개선도 얻을... -
Actinometry를 이용한 Ta 미세 패턴 식각 특성에 관한 연구
김상훈, 안진호 한국마이크로전자및패키징학회 마이크로전자 및 패키징 학회지 5 Pages
한국마이크로전자및패키징학회 마이크로전자 및 패키징 학회지 2000, Vol.7 No.4 43-47 (5 pages)
Electron cyclotron resonance플라즈마 식자 장비를 이용하여 순수 chlorine플라즈마로 Ta박 막의 식각 특성에 관해 조사하였다. Ta박막의 시각 기구를 연구하기 위해 Optical emission actinometry (OEA)를 사용하였고 OEA조사를 통하여 최적의 공정 조건을 얻었다. 이것에 기초하여 2단계 식각을 수행하였고 마이크로 로딩 철상을 성공적으로 제어하면서 0.15 $mu extrm{m}$ L & S 의 우수한 단면을 얻었다. -
ECR 식각 공정에 따른 층간절연막 폴리이미드의 전기적 특성
김상훈, 안진호 한국마이크로전자및패키징학회 마이크로전자 및 패키징 학회지 5 Pages
한국마이크로전자및패키징학회 마이크로전자 및 패키징 학회지 2000, Vol.7 No.3 13-17 (5 pages)
ECR (Electron Cyclotron Resonance) 식각 공정에 따른 층간 절연막 폴리이미드의 전기적 특성에 관하여 연구하였다. 알루미늄 식각시 일반적으로 사용되는 $Cl_2$플라즈마는 폴리이미드의 유전상수 값을 증가시킨 반면에 $SF_{6}$플라즈마의 경우는 높은 식각률과 유전상수 값의 감소를 가져왔다. 폴리이미드의 누설 전류는 ECR 식각 공정 후에 감소되었다. 다중 금속화 구조를 구현하는데 있어 $Cl_2$플라즈마를 사용하여 알루미늄을 식각하고 $SF_{6}$ 플라즈마를 사용하여 폴리이미드를 식각하는 것이 최적일 것으로 판단된다. -
ECR-MOCVD에 의해 연성 고분자 기판에 제조된 구리막의 균일도에 전극의 형태가 미치는 영향
전법주, 이중기 한국군사과학기술학회 韓國軍事科學技術學會誌 13 Pages
한국군사과학기술학회 韓國軍事科學技術學會誌 2004, Vol.7 No.1 34-46 (13 pages)
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자기조직화에 의한 InAs 양자점 구조 형성에 미치는 수소플라즈마의 효과
박용주, 김은규, 민석기 한국결정성장학회 한국결정성장학회지 9 Pages
한국결정성장학회 한국결정성장학회지 1996, Vol.6 No.3 351-359 (9 pages)
ECR (electron cyclotron resonance) 플라즈마원이 장착되어 있는 화학선에피탁시 (chemical beam epitaxy : CBE) 장치를 사용하여 InAs 양자점 구조형성에 미치는 수소플라즈마의 효과에 대하여 조사하였다. 자기조직화(self-organized)에 의해 GaAs 기판위에서 InAs 양자점의 형성을 RHEED(reflection high energy electron diffraction)로 관측한 결과 수소가스 및 수소플라즈마의 영향을 받지 않은 상태에서는 1.9 ML(monolayer)의 InAs 층성장(layer growth) 후에 형성되는데 비해 수소플아즈마를 조사한 상태에서는 약 2.6 ML의... -
High Accuracy Mass Measurement Approach in the Identification of Phospholipids in Lipid Extracts: 7 T Fourier-transform Mass Spectrometry and MS/MS Validation
Yu. Seong-Hyun, Lee. Youn-Jin, Park. Soo-Jin, Lee. Ye-Won, Cho. Kun, Kim. Young-Hwan, Oh. Han-Bin 대한화학회 Bulletin of the Korean Chemical Society 9 Pages
대한화학회 Bulletin of the Korean Chemical Society 2011, Vol.32 No.4 1170-1178 (9 pages)
