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PECVD Chamber Cleaning End Point Detection (EPD) Using Optical Emission Spectroscopy Data
Lee. Ho Jae, Seo. Dongsun, Hong. Sang Jeen, May. Gary S. 한국전기전자재료학회 Transactions on electrical and electronic materials 4 Pages
한국전기전자재료학회 Transactions on electrical and electronic materials 2013, Vol.14 No.5 254-257 (4 pages)
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EPD 방법을 이용한 알루미나-실리카 복합 코팅막의 제조와 전기절연 특성
지혜, 김두환, 박희정, 임형미, 이승호, 김대성, 김영희, Ji. Hye, Kim. Doo Hwan, Park. Hee Jeong, Lim. Hyung Mi, Lee. Seung-Ho, Kim. Dae Sung, Kim. Younghee 한국세라믹학회 한국세라믹학회지 7 Pages
한국세라믹학회 한국세라믹학회지 2014, Vol.51 No.3 177-183 (7 pages)
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세라믹 분말재료의 EPD 후막형성 기술
소대화, 전용우, Soh. Dea-Wha, Jeon. Yong-Woo 한국동굴학회 洞窟 : 한국동굴학회지 6 Pages
한국동굴학회 洞窟 : 한국동굴학회지 2006, Vol.75 No.47 49-54 (6 pages)
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EPD 신호궤적을 이용한 개별 웨이퍼간 이상검출에 관한 연구
이석주, 차상엽, 최순혁, 고택범, 우광방 제어로봇시스템학회 제어·자동화·시스템공학 논문지 11 Pages
제어로봇시스템학회 제어·자동화·시스템공학 논문지 1998, Vol.4 No.4 506-516 (11 pages)
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EPD 신호궤적을 이용한 플라즈마 식각공정의 실시간 이상검출
차상엽, 이석주, 고택범, 우광방, Cha. Sang-Yeob, Yi. Seok-Ju, Koh. Taek-Beom, Woo. Kwang-Bang 제어로봇시스템학회 제어·자동화·시스템공학 논문지 10 Pages
제어로봇시스템학회 제어·자동화·시스템공학 논문지 1998, Vol.4 No.2 246-255 (10 pages)
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지상 공개 강좌-광학소자 가공방법(연마 편)-전기 영동 지석 연마(EPD)
한국광학기기협회, . Korea Optical Industry Association 한국광학기기협회 광학세계 4 Pages
한국광학기기협회 광학세계 2008, Vol.116 No.4 65-68 (4 pages)
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Gecko Proteins Exert Anti-Tumor Effect against Cervical Cancer Cells Via PI3-Kinase/Akt Pathway
Ae-JinJeong, Chung-NamChung, Hye-JinKim, KilSooBae, SongChoi, WooJinJun, SangInShim, Tae-HongKang, Sun-HeeLeem, JinWoongChung 대한생리학회-대한약리학회 The Korean Journal of Physiology & Pharmacology 5 Pages
대한생리학회-대한약리학회 The Korean Journal of Physiology & Pharmacology 2012, Vol.16 No.5 12 361-365 (5 pages)
Anti-tumor activity of the proteins from Gecko (GP) on cervical cancer cells, and its signaling mechanisms were assessed by viable cell counting, propidium iodide (PI) staining, and Western blot analysis. GP induced the cell death of HeLa cells in a dose-dependent manner while it did not affect the viability of normal cells. Western blot analysis showed that GP decreased the activation of Akt, and co-administration of GP and Akt inhibitors synergistically exerted anti-tumor activities on HeLa... -
이 연구는 주어와 서술어의 생략 현상을 고찰하고 분석하는 것을 그 목적으로 하였다. 주어와 서술어의 특성에 따른 생략 현상의 차이를 연구하 고 시나리오를 분석하여 주어 생략의 차이와 서술어 생략의 차이에 대한 통 계적인 연구를 시도하였다. 한국어의 주어는 회복가능성 조건만 충족이 되어 도 쉽게 생략이 일어나고, 영어에서는 동일성 조건이 충족이 되어야만 생략이 일어난다. 한국어에서는 담화참여자가 복구만 할 수 있으면 주어가 생략이 되지만 영어는 담화참여자가 복구할 수 있는 주어라고 해도 반복이 되어서...
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이 글은 신문 사설을 텍스트로 보고, 한겨레 신문 사설의 ‘반값 등록금 문제‘에 대한 주제와 논증적 주제 전개 모형을 살펴 본다. 재수용 의 관계는 명시적 재수용과 함축적 재수용이 있으며, 이러한 재수용은 주 제 선정을 위해 중요한 역할을 하고 있다. 즉, 핵심적인 대상들이 재수용 될 때 그것들은 주제를 나타낸다고 볼 수 있다. 주제는 핵심 주제와 주변 주제로 나눌 수 있고, 이 핵심 주제와 주변 주제는 유도가능성의 원리와 양립성의 원리에 따라 선정할 수 있다. 그리고 핵심 주제는 텍스트내용의 핵이라고 말할 수 있다....
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이 연구는 학습자들의 언어 수행 수준을 두 가지 읽기 변수인 문 단 구분 여부와 덩잇글 내용 난이도를 통해 검증하였다. 즉 두 가지 읽기 변수가 학습자들의 언어 수행 수준과 관련해서 어떻게 드러나는지를 살 피는 데 본 논문의 목적이 있었다. 두 가지 연구가설은 학습자들의 언어 수행 수준이 높을수록, 문단 구분에 덜 영향을 받으며, 내용 난이도로 구별된 덩잇글 간의 점수 편차도 적을 것이라고 설정되었다. 이를 ‘상’과 ‘하의 수준으로 구별된 중·고·대 학습 자들 각각에 적용하여 그 결과를 일정한 통계 절차로...
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본 연구는 한국어 학습자가 가지고 있는 스키마가 읽기 이해에 실제 미치고 있는 영향을 확인한 후, 한국어 읽기 교재 단원 속의 효과적 인 스키마 활성화 전략 장치를 살펴보고자 하는 데 그 목적이 있다. 이를 위해 먼저 중급 수준의 학습자를 대상으로 한 조사를 통해, 독서량이 많 은 학습자가 대체로 한국어 읽기 이해도에서 높은 점수를 보여주는 한편, 학습자의 배경지식이 읽기 이해에 영향을 미치고 있음을 밝혔다. 그런데 독서량이 많은 학습자일지라도 기존 읽기에서 얻은 배경지식이 스키마 활성화로 연결되지 않으면 읽기...
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지명에서 동물을 속성으로 하는 지명은 많다. 동물명을 속성으 로 하는 지명은 서식지, 출몰지, 생김새 등이 대부분이다. 이 중에 빈도가 가장 높은 것은 서식지와 관련된 것이다. 그러나 동물의 서식지가 일반적 인 지명이 되는 경우는 거의 없다. 왜냐하면 동물의 서식지는 극히 은밀 하며, 제한적이기 때문에 집단화하는 경우가 없다. 특히 해당 동물의 분 포가 전국적이고 확산적이라면 변별성을 기본으로 하는 지명의 속성에 미루어 보면 지명의 속성으로는 부적절하다. 지명에 속성칭으로 나타나는 동물은 부류칭의 특성, 주변...
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⌈어휘Ⅱ⌋ 교재 개발을 위한 한국어 학습자 요구 분석 연구
우리말학회 우리말연구 2010, 제26집 6 141-170 (30 pages)
이 연구는 어휘Ⅱ 교재 개발을 위한 기초 작업으로 한국어 학 습자들의 요구를 분석하는 데 그 목적이 있다. 그 동안 어휘 교재 개발을 위한 학습자들의 요구 분석은 있었지만, 처리된 자료의 판단이나 신뢰성 이 의심스러웠다. 이 연구는 몇 가지 점에서 제한점을 갖지만, 조사된 설 문지를 통계분석 프로그램을 활용하여 어휘에 대한 학습자 요구 분석에 서 유의미한 차이를 밝혀낼 수 있었다. -
구술발화에 반영되는 방언 문법 요소 - 경남 창원지역어 격조사를 중심으로 하여 -
우리말학회 우리말연구 2009, 제25집 1 5-39 (35 pages)
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이데올로기 실현을 위한 신문 기사 제목의 언어 전략 - 개헌 관련 텍스트를 중심으로 -
우리말학회 우리말연구 2007, 제20집 9 281-305 (25 pages)
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국어문법교육의 방향 탐색 -현행 고등학교 『문법』을 검토하면서-
우리말학회 우리말연구 2004, 제15집 2 23-51 (29 pages)
한국의 고등학교문법은 1985년 이래로 단일국정교과서로 편찬되고 있 다. 그전에는 검인정이었으나 교과서마다 체계가 달라 가르치기에 어려움이 많아 국정으로 전환하였다 그 사이 네 차례에 걸쳐 교과서가 편찬되었는데 2001년까지는 1985년의 체계가 유지되었으나 2002년에 와서는 부사형어미를 다시 세우는 등 체계를 달리한 것이 많다. 이 논문에서는 부사형어미가 설정 되어서는 안되며 모든 연결어미를 부사형어미로 처리하는 현행문법교과서의 잘못을 지적하였다. 그밖에도 접속부사는 부사어가 아니며 이른바 상대높임법 은... -
본 논의는 중세국어에 존재했던 모음 중 'ㅏ, ㅓ, ㅗ, ㅜ, ㆍ, ㅡ' 등 6모음이 고대국어에도 존재했는지의 여부를 논의하고, 존재했다면 그 음가는 어떠했을까 하는 문제를 논의하기 위한 것이다. 결론은 다음과 같다. 'ㅏ'는 후설 비원순 저모음이었다. 'ㅓ'는 전설 비원순 중모음 혹은 전설 비원순 저모음이었다. 그래서 'ㅏ'와 'ㅓ'는 전설 대 비전설의 대립관계를 이루고 있었다. 'ㆍ'는 비전설 비원순 중모음이었고, 'ㅡ' 역시 비전설 비원순 중모음이었다. 그러나 'ㆍ'의 개구도가 'ㅡ'보다 컸을 것으로 추정되고, 'ㅡ'의 혀의...
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이 논문에서는 우리말 동사토의 형태적ㆍ통어적 특성을 문법 체계에 반영하기 위해 HPSG의 방법과 원리를 도입하였다. 그러한 논의를 위해 HPSG의 기호의 분류를 수정하여 '형태론적 단위'를 추가하였다. '형태론적 단위'를 추가함에 따라 통어론의 기본 단위를 '어절'로 설정하면서, 동사 어간과 동사토의 결합형을 동사의 굴절로 처리하지 않고도 동사토의 통어적 기능을 설명할 수 있다. 그리고 HPSG의 논의에 따라 우리말 동사를 위한 어휘규칙을 설정하였는데, 동사 어휘 규칙을 통해 동사토의 통어적 기능이 문장 층위까지 반영될...
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이 연구는 대화에서 주는 말에 대한 받는 말로 쓰이는 표현 중에서 한 두 어구의 짧은 형태를 가지고서도 월이 가지는 완결된 의미를 나타내면서, 어휘가 본디 가지는 의미가 아닌, 상황에 따라 독특하게도 관습적이고 함축적인 의미를 나타내는 표현이 있음에 주목하고, 기존의 문법 범주에서는 완전하게 수용이 되지 않는 이들을 모아 하나의 새로운 범주로서 설정하고자 하였다. 그래서 이 글에서는 이러한 특성을 가지는 말들의 개념과 범위를 설정하는 것에 목표를 두고, 받는 말 중에서 상황에 관계없이 의미의 예측이 가능하여...
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Applications of carbon-based materials in solid phase micro-extraction: a review
Jian Guo, Soo-Jin Park, Long-Yue Meng, Xinghua Jin 한국탄소학회 Carbon Letters 8 Pages
한국탄소학회 Carbon Letters 2017, Vol.24 2 10-17 (8 pages)
With continuous development in the field of sample preparation technology, solid phase micro-extraction (SPME) has been widely used in analytical chemistry for high extraction efficiency and convenient operation. Different materials lead to different extraction results. Among existing materials, carbon-based materials are still attracting attention from scientists due to their excellent physical and chemical properties as well as their modifiable surfaces, which could enhance the adsorption... -
Photocatalytic performance of graphene/Ag/TiO₂ hybrid nanocomposites
Jong-Ho Lee, In-Ki Kim, Donghwan Cho, Jeong-Il Youn, Young-Jig Kim, Han-Jun Oh 한국탄소학회 Carbon Letters 8 Pages
한국탄소학회 Carbon Letters 2015, Vol.16 No.4 4 247-254 (8 pages)
To improve photocatalytic efficiency, graphene/Ag/TiO₂ nanotube catalyst was synthesized, and its surface characteristics and photocatalytic activity investigated. For deposition of Ag nanoparticles on the TiO₂ nanotubes, a polymer compound containing CH₃COOAg/poly(Llactide) was utilized, and the silver particles were precipitated by reducing the silver ions during the annealing process. Graphene deposition on the Ag/TiO₂ nanotubes was achieved using an electrophoretic deposition process.... -
치매노인 정신행동증상 관리에 대한 노인요양시설 요양보호사의 교육 요구도
송준아, 김유경, 김효진 한국노인간호학회 노인간호학회지 13 Pages
한국노인간호학회 노인간호학회지 2012, 제 14권 제 3호 8 220-232 (13 pages)
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ATM-GFR 서비스에서 TCP 트래픽의 최소 대역폭 보장에 관한 연구
박인용 한국통신학회 한국통신학회논문지. The Journal of Korea Information and Communications Society. 통신이론 및 시스템 8 Pages
한국통신학회 한국통신학회논문지. The Journal of Korea Information and Communications Society. 통신이론 및 시스템 2002, Vol.27 308-315 (8 pages)
packet discard (EPD) 기법의 버퍼 허용 알고리즘으로 이루어진다. 이 구현 방법은 간단하지만, 상대적으로 큰 MCR을 예약한 가상 연결에게 예약한 만큼의 대역폭을 보장 할 수 없었다. 본 논문은 TCP 트래픽에 패킷 스페이싱 기법을 적용하여 burstness을 완화시켜서 가상 연결에게 더 큰 MCR을 보장하도록 한다. 또한, 버퍼 허용 알고리즘에 random early detection (RED) 기법을 적용하여 여분의 대역폭 사용에 있어서 공평성을 향상시킨다. 모의 실험을 통해 두 기법이 TCP 트래픽에 대한 GFR 서비스의 QoS를 향상시킴을 보였다. -
In situ 방법을 이용한 수확시기별 총체벼 사일리지의 한우 생체 사료가치 평가
최창원, 정의수, 홍성구, 오영균, 김종근, 이상철, Choi. Chang-Weon, Chung. Eui-Soo, Hong. Seong-Koo, Oh. Young-Kyoon, Kim. Jong-Geun, Lee. Sang-Cheol 한국초지조사료학회 한국초지조사료학회지 8 Pages
한국초지조사료학회 한국초지조사료학회지 2010, Vol.30 No.2 143-150 (8 pages)
수확시기의 총체벼 사일리지보다 통계적으로 높게 나타났다 (p<0.05). 반추위 EPD는 황숙기가 다른 수확시기에 비해 수치적 (호숙기 및 유숙기) 및 통계적 (완숙기)으로 높게 나타났다. 소화장관별 총체벼 사일리지 단백질 소화율에서는 전체적으로 수확시기별 차이가 나타나지 않았다. 한우 생체 사료가치 평가를 통한 총체벼 사일리지의 TDN은 황숙기가 다른 수확시기에 비해 통계적 (유숙기) 및 수치적 (호숙기 및 완숙기)으로 높게 나타났다. 현재 연구 결과를 종합해 볼 때, 거세한우 생체 내 총체 벼 사일리지는 황숙기에 수확 ... -
ATM기반 MPLS망에서 VC-Merge 가능한 고속 스위치 구현에 관한 연구
김영철, 이태원, 이동원, Kim. Young-Chul, Lee. Tae-Won, Lee. Dong-Won 한국정보처리학회 정보처리학회논문지. The KIPS transactions. Part C Part C 8 Pages
한국정보처리학회 정보처리학회논문지. The KIPS transactions. Part C Part C 2002, No.0 65-72 (8 pages)
통합 기능이 탑재된 고속 Crossbar Switch론 구현한다. 차등서비스(Differentiated Service)와 레이블 통합 기능을 동시에 수행 할 수 있는 적합한 하드웨어 구조를 제안한다. 본 논문에서는 각 코어 LSR(Label Switch Router)의 출력버퍼에서 망 폭주 발생 가능성이 있을 시 EPD(Early Packet Discard) 알고리즘을 통한 적응적 폭주 제어 방법을 사용하므로써 네트워크 자원의 낭비론 막았으며, 제안한 VC(Virtual Channel)-merge 기법의 정당성을 입증하기 위하여 Non VC-merge 기법과의 비교 분석을 시뮬레이션을 통하여 수행하였다.... -
ATM상의 TCP 패킷 폐기정책에 따른 공정성 개선에 관한 연구
육동철, 박승섭, Yuk. Dong-Cheol, Park. Seung-Seob 한국정보처리학회 정보처리논문지 9 Pages
한국정보처리학회 정보처리논문지 2000, Vol.7 3723-3731 (9 pages)
가져오고, 충분한 QoS를 제공하지 못한다. 이런 문제를 해결하기 위해 Tail Drop, EPD, PPD, SPD, FBA와 같은 셀 폐기 정책이 ATM 상의 TCP 성능을 개선하기 위해서 제안되어져 왔다. 본 논문에서는 종단간의 TCP 공정성 개선을 위해서, 두 개의 고정된 임계치를 사용한 폐기 정책 알고리즘을 제안하고, 동일한 시뮬레이션 환경 하에서 기존의 알고리즘들과 비교하였다. VC의 수가 증가하더라도, 제안한 알고리즘이 각 VC에 대해 다른 알고리즘과 비교해서 대역폭 할당이 보다 공정하게 이루어짐을 시뮬레이션 결과로 알 수 있었다. -
유기박막트랜지스터의 플렉시블 디스플레이 패널 적용 연구
이명원, 류기성, 송정근, Lee. Myeong-Won, Ryu. Gi-Seong, Song. Jeong-Geun 한국정보디스플레이학회 인포메이션 디스플레이 6 Pages
한국정보디스플레이학회 인포메이션 디스플레이 2007, Vol.8 No.3 12-17 (6 pages)
할 요소들도 다르다. EPD는 문턱전압이 없으므로 스위칭 소자로서 OTFT가 반드시 필요하다. 또한 전압구동소자이고 동작이 느리기 ??문에 OTFT의 이동도가 $0.01cm^2/V.sec$ 이상만 되어도 사용 가능하고 쌍안정 소자임에도 불구하고 저장 캐패시터를 사용하여야 한다. 그리고 OTFT 패널과 EPD 패널을 상호 부착해야 하므로 OTFT 어레이에 영향을 주지 않는 중간층이 중요한 요소이다. OLED는 전류구동소자이므로 OTFT의 이동도가 최소 $0.1cmcm^2/V.sec$ 이상이어야 하고, OTFT 어레이와 동일한 패널을 사용하므로 제조 공정의 호환성이... -
4H-SiC(0001) Epilayer 성장 및 쇼트키 다이오드의 전기적 특성
박치권, 이원재, 신병철, Park. Chi-Kwon, Lee. Won-Jae, Shin. Byoung-Chul 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 6 Pages
한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 2006, Vol.19 No.4 344-349 (6 pages)
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90 nm급 텅스텐 폴리사이드 게이트 식각공정에서 식각종말점의 안정화에 관한 연구
고용득, 천희곤, 이징혁, Ko. Yong-Deuk, Chun. Hui-Gon, Lee. Jing-Hyuk 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 6 Pages
한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 2005, Vol.18 No.3 206-211 (6 pages)
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측면진동보조전계 전기영동 전착방식을 적용한 YBCO 초전도 후막의 제작
소대화, 전용우 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 6 Pages
한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 2003, Vol.16 No.11 1041-1046 (6 pages)
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보조전계를 이용한 전기영동 초전도 막의 제작
소대화, 전용우 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 6 Pages
한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 2003, Vol.16 No.2 157-162 (6 pages)
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A Study on Characterization and Modeling of Shallow Trench Isolation in Oxide Chemical Mechanical Polishing
Kim. Sang-Yong, Chung. Hun-Sang 한국전기전자재료학회 Transactions on electrical and electronic materials 4 Pages
한국전기전자재료학회 Transactions on electrical and electronic materials 2001, Vol.2 No.3 24-27 (4 pages)
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ATM 망에서 ABR/UBR 서비스상의 TCP 성능 향상에 관한 연구
김명희, 박승섭 한국인터넷정보학회 인터넷정보학회논문지 10 Pages
한국인터넷정보학회 인터넷정보학회논문지 2000, Vol.1 No.2 1-10 (10 pages)
해결책으로 ATM 네트워크 기술이 널리 사용되고 있다. ATM 서비스를 기반으로 하는 인터넷 프로토콜에서는 ATM층에서 하나의 셀 손실은 전체 패킷 손실을 초래하여 TCP의 성능이 저하된다. 따라서 혼잡 시 패킷의 손실을 줄이기 위해 UBR 서비스에서는 UBR+EPD 방식이, ABR 서비스에서는 ER 방식이 제안되었다. 본 논문에서는, 빠른 재전송과 회복 (FRR)을 사용한 UBR+EPD와 EPD 알고리즘의 임계치 파라미터(R)의 조절과 TCP 파라미터인 MTU 크기의 변화가 성능향상에 미치는 영향을 분석하였으며, 이러한 성능분석을 통해 제안한 방안이... -
ATM 서브망에서 MCS 멀티캐스트 구현을 위한 전송 제어 시스템의 성능 평가
박상준, 이효준, 김관중, 김영한, 김병기, Park. Sang-Joon, Lee. Hyo-Jun, Kim. Kwan-Joong, Kim. Young-Han, Kim. Byung-Gi 한국음향학회 한국음향학회지= The journal of the acoustical society of Korea 6 Pages
한국음향학회 한국음향학회지= The journal of the acoustical society of Korea 1997, Vol.16 No.6 48-53 (6 pages)
임계치를 넘어서면 버퍼에 오버플로우가 발생하기 이전에 셀을 폐기시키는 것으로 손상된 패킷의 전송을 막기 위하여 부분적 셀 폐기 대신 손상된 패킷 전체를 폐기하는 방식(EPD-Early Packet Discard)을 제공한다. 또한 TCP 패킷의 재전송 중복에 대한 부하를 줄이기 위해 동일한 송신측의 패킷을 폐기하는 방식 (SPD-same Source Packet Drop)을 제안한다. 시뮬레이션 결과에서는 전송 데이터 폐기에 대한 기존의 방식(Tail Drop), EPD 방식을 고려한 DFF(Drop From Front)와 본 논문에서 제안한 EPD + SPD방식과의 성능 분석을 한다. -
MBE법으로 성장된 CdTe(211)/Si 기판을 이용한 MOVPE HgCdTe 박막의 특성 향상
김진상, 서상희, Kim. Jin-Sang, Suh. Sang-Hee 한국센서학회 센서학회지 7 Pages
한국센서학회 센서학회지 2003, Vol.12 No.6 282-288 (7 pages)
MOVPE 법으로 HgCdTe 박막을 성장하였다. 성장된 박막의 표면은 hillock 등의 결함이 없는 매우 균일한 형상을 보였다. HgCdTe 박막표면의 EPD(etch pit density) 및 (422) 결정면의 이중 결정 x-선 회절 피크의 반치폭으로 본 결정성은 GaAs 기판위에 성장된 HgCdTe 박막에 비하여 우수하였다. GaAs 기판 위에 MOVPE 법으로 성장된 HgCdTe는 기판처리 과정에서 유입된 p-형 불순물로 인해 p-형 전도성을 나타내었으나 (211)CdTe 기판 위에 성장된 박막은 77K에서 $8{ imes}10^{14}/cm^3$의 운반자 농도를 갖는 n-형 전도성을 보였다. 본... -
전착법에 의한 음극지지형 SOFC 전해질막 제조
김상우, 이병호, 손용배, 송휴섭 한국마이크로전자및패키징학회 마이크로전자 및 패키징 학회지 7 Pages
한국마이크로전자및패키징학회 마이크로전자 및 패키징 학회지 1999, Vol.6 No.1 23-29 (7 pages)
전착법(EPD)에 의한 음극지지형 SOFC 단전지용 전해질 제조를 위하여 NiO-YSZ 다공성 기판 위에 극성이 서로 다른 전착용액을 사용하여 안정화 지르코니아 균일막 형성을 위한 전착조건과 막특성을 조사하였다. 알콜계 용액과는 달리 수계 용액에서 정전류, 0.138mA/$ extrm{cm}^2$이상에서 전극반응으로 생성한 기포에 의한 막결함이 생성하였으며 막무게 증가율이 감소하였다. 균일막 형성은 알콜계 용액에서 전극반응없이 안정한 전압특성을 보이는 정전류 0.035 mA/$ extrm{cm}^2$를 10초간 인가하였을 때 얻어졌다. -
결함밀도가 낮은 Gallium Nitride Epitaxy 막 제조
한국결정학회 한국결정학회지 1998, Vol.9 No.2 131-137 (7 pages)
pulsative supply, APS)방법에 의해 만들었다. AlN buffer/6H-SiC 위에 초기단계에 형성되는 GaN 섬은 APS처리에 의해 크기가 커지는 것을 AFM(atomic force microscope)으로 관찰하였다. Buffer 층의 역할은 그 위에 성막시킨 GaN epitaxy 막의 결정성과 결함밀도에 의해 조사하였다. 성막된 GaN의 결정구조와 결정성은 DCXRD(double crystal X-ray diffractormeter)에 의해 측정되었다. 결정결함은 EPD(etching pit density)를 측정하는 방법으로 알칼리혼합용에서 처리된 막을 SEM(scanning electron microscope)으로 관찰하였다. -
Vacuum-Bridgman법에 의한 UV grade 형석$(CaF_2)$단결정 성장
서수형, 주경, 오근호 한국결정성장학회 한국결정성장학회지 5 Pages
한국결정성장학회 한국결정성장학회지 1998, Vol.8 No.3 383-387 (5 pages)
r, 성장온도구배 $12^{circ}C$/cm의 조건하에서 성장한 $CaF_2$ 단결정은 우수한 물성을 갖는 것으로 분석되었다. 우산형(umbrella shape)의 Mo thermal reflector를 사용한 경우에 polycrystalline으로의 성장을 제거할 수 있었다. 성장우선방위는 (111)면이었으며, 분말 XRD법에 의한 peak로부터 $5.460AA$의 격자상수를 구하였다. 또한 XRD분석에 의하면 제2상은 형성되지 않았으며, EPD값은 $1.4{ imes}10^4 extrm{cm}^{-2}$이었다. 성장된 결정은 UV영역의 광학부품용도로 사용하기에 적합한 투과율 91%이상의 특성을 나타내었다. -
ZnSe 단결정 성장과 결정결함
이성국, 박성수, 김준홍, 한재용, 이상학 한국결정성장학회 한국결정성장학회지 5 Pages
한국결정성장학회 한국결정성장학회지 1997, Vol.7 No.1 76-80 (5 pages)
직경 55 mm의 ZnSe 단결정을 수소분위기에서 seeded chemical vapor transport법에 의해 성장하였고, 성장 parameter들이 결정 결함에 미치는 영향을 조사하였다. Chemical etching에 의한 EPD 측정, X-ray rocking curve 측정, photolumlnescence 측정으로 성장된 단결정의 특성을 평가하였다. -
플라즈마 식각공정의 종말점 검출(End Point Detection) 제어
우광방 제어로봇시스템학회 제어·자동화·시스템공학회지 4 Pages
제어로봇시스템학회 제어·자동화·시스템공학회지 1998, Vol.4 No.4 41-44 (4 pages)
이 글에서는 플라즈마 식각공정의 진행에 있어서 중요한 EPD제어기법과 파라미터 최적화에 대해 서술하였다. 또한 플라즈마 응용 식각장비의 발전경향과 다중체널 제어기의 개발에 대해서도 알아보았다. 현재의 연구는 기존의 장비를 이용하여 회로를 보다 미세화하고자 하는 연구와 새로운 장비의 개발을 통한 고집적화로 구분할 수 있다. 또한 제품의 가격 경쟁력을 위해서 웨이퍼의 대구경화가 일반적인 추세이다. 웨이퍼의 대구경화는 불균일도의 극복을 위해 새로운 제어와 보다 향상된 EPD기법을 필요로 한다. 따라서 기존의... -
PVP(Poly 4-vinylphenol) 게이트 유전체의 표면에너지 차이를 이용한 유기박막트랜지스터 어레이의 소스/드레인 전극 인쇄공정
최재철, 송정근, Choi. Jae-Cheol, Song. Chung-Kun 대한전자공학회 電子工學會論文誌. Journal of the Institute of Electronics Engineers of Korea. SD, 반도체 5 Pages
대한전자공학회 電子工學會論文誌. Journal of the Institute of Electronics Engineers of Korea. SD, 반도체 2011, Vol.48 No.3 7-11 (5 pages)
87 $mJ/m^2$로 높임으로써 표면에너지 차이를 극대화 하였다. G-PEDOT:PSS 전도성 고분자를 브러쉬 인쇄공정으로 소스/드레인 전극 영역 주변에 도포하여 전극을 성형하였으며, OTFT 어레이 ($16{ imes}16$)에서 약 90% 가까운 수율을 나타내었다. 불소계 화합물을 첨가한 PVP와 펜타센 반도체를 사용한 OTFT의 성능은 첨가하지 않은 소자와 비교하여 큰 차이가 없었으며, 이동도는 0.1 $cm^2/V.sec$ 로서 전기영동디스플레이(EPD) 시트를 구동하기에 충분한 성능이었다. OTFT 어레이에 EPD 시트를 부착하여 성공적인 작동을 확인하였다. -
Determination of End Point for Direct Chemical Mechanical Polishing of Shallow Trench Isolation Structure
Seo. Yong-Jin, Lee. Kyoung-Jin, Kim. Sang-Yong, Lee. Woo-Sun 대한전기학회 KIEE international transactions on electrophysics and applications 5 Pages
대한전기학회 KIEE international transactions on electrophysics and applications 2003, No.0 28-32 (5 pages)
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Signal Analysis of Motor Current for End Point Detection in the Chemical Mechanical Polishing of Shallow Trench Isolation with Reverse Moat Structure
Park. Chang-Jun, Kim. Sang-Yong, Seo. Yong-Jin 대한전기학회 KIEE international transactions on electrophysics and applications 6 Pages
대한전기학회 KIEE international transactions on electrophysics and applications 2002, No.0 262-267 (6 pages)
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전착법과 담금법에 의한 음극지지형 SOFC 지르코니아 전해질막 제조
김상우, 이병호, 손용배, 송휴섭 한국세라믹학회 요업학회지 8 Pages
한국세라믹학회 요업학회지 1999, Vol.36 No.8 791-798 (8 pages)
