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1881.

Reactive Sputtering으로 제조된 /SrBi_2Ta_2O_9$박막의 전기적 특성에 미치는 조성의 영향

박상식, 양철훈, 채수진, 윤손길, 김호기, Park. Sang-Sik, Yang. Cheol-Hun, Chae. Su-Jin, Yun. Son-Gil, Kim. Ho-Gi 한국재료학회 한국재료학회지 6 Pages

한국재료학회 한국재료학회지 1996, Vol.6 No.9 931-936 (6 pages)

박상식, 양철훈, 채수진, 윤손길, 김호기, Park. Sang-Sik, Yang. Cheol-Hun, Chae. Su-Jin, Yun. Son-Gil, Kim. Ho-Gi 저

이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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Pt/Ti/SiO2/Si 기판 위에 reactive sputtering 법에 의해 증착되었다. 조성의 영향을 평가하기 위하여 Bi 타겟에 인가되는 전원의 변화와 열처리에 따른 C-F(capacitance-frequency), P-E(polarization-electric field), I-V(current-voltage)등의 전기적 특성이 조사되었다. Bi의 양이 증가함에 따라 Bi layer 구조를 나타내는 (105)회절 피크가 증가하였고 $700^{circ}C$, 산소분위기에서 1시간 동안 열처리후 Sr과 Bi가 심하게 휘발되었으며 박막의 미세구조는 다공질이 되었다. 이러한 이유로 열처리된 박막의 누설 전류 밀도는...
1882.

Sol-Gel 법에 의한 BST 강유전 박막의 합성과 유전 특성

장수익, 최병철, 장현명, Jang. Su-Ik, Choe. Byeong-Cheol, Jang. Hyeon-Myeong 한국재료학회 한국재료학회지 8 Pages

한국재료학회 한국재료학회지 1996, Vol.6 No.5 449-456 (8 pages)

장수익, 최병철, 장현명, Jang. Su-Ik, Choe. Byeong-Cheol, Jang. Hyeon-Myeong 저

이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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솔을 합성하였고, BST 박막을 회전 코팅 법으로 Si 및 Pt/Ti/SiO2/Si 기판위에 제조하였다. 적외선 및 NMR 스펙트럼 분석으로 킬레이션 조제로 사용한 acetylacetone(AcAc)이 엔올 형태로 Ti-알콕사이드와 결합하여 솔 안정화에 기여함을 확인하였다. Xedrogel에 대한 DT/TGA 및 적외선 스펙트럼 결과로부터 페로브스카이트 상생성이 $600^{circ}C$ 이상에서 이루어짐을 관찰하였다. $700^{circ}C$에서 열처리한 박마은 -300(10 KHz)의 상대유전율을 나타내었고, 결정립의 저항 및 입계의 병렬 RC 성분으로 등가회로를 구성할 수 있었다.
1883.

$TiSi_2$의 상전이에 미치는 박막의 두께 및 기판의 방위의 영향

윤강중, 전형탁, Yoon. Gang-Joong, Jeon. Hyeong-Tae 한국재료학회 한국재료학회지 9 Pages

한국재료학회 한국재료학회지 1995, Vol.5 No.7 820-828 (9 pages)

윤강중, 전형탁, Yoon. Gang-Joong, Jeon. Hyeong-Tae 저

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및 200$AA$의 Ti를 50$0^{circ}C$부터 90$0^{circ}C$까지 10$0^{circ}C$간격으로 가열되어 있는 Si(100) 및 Si(111) 기판에 증착하여 Ti-silicide를 형성하였다. 형성된 Ti-silicide를 XRD, SEM, TEM으로 상전이와 각상의 표면 및 계면 형상을 관찰하였다. 관찰결과 C49에서 C54상으로의 상전이 온도는 $650^{circ}C$정도이었고, 기판의 방위와 박막의 증착 두께에 따라 상전이 온도의 변화가 관찰되었으며, 이 상전이 온도의 변화를 표면에너지와 체적에너지에 기초를 둔 고찰을 통해 설명하였다. 그리고 C49상은 증착한 박막에서의 Si...
1884.

유기 금속 화학 증착법에 의한 $(Ba_{1-x},;Sr_x)TiO_3$ 박막의 제조 및 전기적 특성

윤종국, 윤순길, Yun. Jong-Guk, Yun. Sun-Gil 한국재료학회 한국재료학회지 4 Pages

한국재료학회 한국재료학회지 1995, Vol.5 No.7 816-819 (4 pages)

윤종국, 윤순길, Yun. Jong-Guk, Yun. Sun-Gil 저

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의하여 Pt/Ti/SiO$_2$/Si 기판위에 (Ba$_{1-x}$ , Sr$_{x}$)TiO/$_3$박막이 제조 되었다. 제조된 BST 박막의 결정화도는 증착온도가 증가함에 따라 (100)방향으로 우선 성장하였다. 90$0^{circ}C$에서 증착한 BST 박막은 100kHz의 주파수에서 유전상수가 365, 유전손실이 0.052를 나타내었다. 인가전계에 따라 축전용량의 변화가 작은 상유전 특성을 보였으며 0.2MV/cm인가 전계에서 축적 전하 밀도(charge storage density)는 60fC/$mu extrm{m}$$^2$을, 0.15MV/cm인가 전계 영역에서 누설 전류밀도(leakage current density)는 20nA/$...
1885.

코발트/내열금속 이중박막을 이용한 $CoSi_{2}$ 에피박막형성에 관한 연구

김종렬, 조윤성, 배규식, Kim. Jong-Ryeol, Jo. Yun-Seong, Bae. Gyu-Sik 한국재료학회 한국재료학회지 9 Pages

한국재료학회 한국재료학회지 1995, Vol.5 No.3 324-332 (9 pages)

김종렬, 조윤성, 배규식, Kim. Jong-Ryeol, Jo. Yun-Seong, Bae. Gyu-Sik 저

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전자빔 증착법을 사용하여 Ti과 Co를 Si(100) 단결정, 다결정 Si 및 Si$O_{2}$기판에 증착한 후 90$0^{circ}C$에서 20초 급속 열처리하여, Co/Ti 이중박막으로부터의 실리사이드화 반응을 조사하였다. 단결정 시편의 경우 Ti의 두께를 5~6mm로 최소화함으로서 두께가 균일하고 기판과의 계면이 평탄하며 비저항이 낮고 열적 안정성이 높은 Co$Si_{2}$ 에피박막을 형성할 수 있었다. 그러나 다결정 시편에는 두께와 계면이 불균일하고 열적으로도 불안정한 다결정의 Co$Si_{2}$와 그 위에 두개의 Co-Ti-Si혼합층이 형성되었다. 한편...
1886.

화학기상증착법에 의한$TiO_2$박막의 구조 및 전기적 특성에 관한 연구

최상준, 이용의, 조해석, 김형준, Choe. Sang-Jun, Lee. Yong-Ui, Jo. Hae-Seok, Kim. Hyeong-Jun 한국재료학회 한국재료학회지 9 Pages

한국재료학회 한국재료학회지 1995, Vol.5 No.1 3-11 (9 pages)

최상준, 이용의, 조해석, 김형준, Choe. Sang-Jun, Lee. Yong-Ui, Jo. Hae-Seok, Kim. Hyeong-Jun 저

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$(Ti(OC_3H_7)_4$(titanium isopropoxide)를 이용하여 p-Si(100) 기판위에 상압 화학 기상 증착법으로 증착시켰다. $(TiO_{2})$ 박막의 증착기구는 단순경 계층 이론으로 잘 설명되었으며, 화학반응 지배 기구 영역에서 겉보기 활성화 에너지는 18.2kcal/mol이었다. 증착된 박막은 $250^{circ}C$이상에서 anatase상의 결정질 박막이었으며, 고온에서 열처리를 했을 경우에 rutile상으로 전이하였다. 박막의 상전이에는 열처리 온도외에도 열처리 시간과 박막의 두께가 영향을 미쳤다. 정전용량-전압특성을 조사해 본 결과 전형적인 MOS...
1887.

C49 $TiSi_2$상의 에피구조 및 상안정성

전형탁, Jeon. Hyeong-Tak 한국재료학회 한국재료학회지 7 Pages

한국재료학회 한국재료학회지 1994, Vol.4 No.2 136-142 (7 pages)

전형탁, Jeon. Hyeong-Tak 저

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증착하여 $TiSi_{2}$를 에피층으로 성장시켰다. 재구성된 (reconstructed) Di(111)표면에 상온에서 50$AA$ 두께의 Ti을 증착한 후 $100^{circ}C$간격으로 $800^{circ}C$까지 열처리 하였다. $TiSi_{2}$박막의 구조는 전자회절 패턴 분석을 통하여 준안정상인 C49상임을 확인하였다. SEM 사진은 세가지 형태의 island를 보이고 있다. 각 island 는 단결정이며 그 구조는 서로 다른 결정학적 방향을 갖는 에피구조이다. 이러한 TiSi$_{2}$ island[112]C49 TiSi$_{2}$/[110]Si, (021) C49 $TiSi_{2}$/(111)Si의 방향관계를 가지고 있다.
1888.

초청정 Si기판에 동시 증착된 $TiSi_2$ 의 상전이 및 형성

강응열, 조윤성, 박종완, 전형탁, Gang. Eung-Yeol, Jo. Yun-Seong, Park. Jong-Wan, Jeon. Hyeong-Tak 한국재료학회 한국재료학회지 6 Pages

한국재료학회 한국재료학회지 1994, Vol.4 No.1 107-112 (6 pages)

강응열, 조윤성, 박종완, 전형탁, Gang. Eung-Yeol, Jo. Yun-Seong, Park. Jong-Wan, Jeon. Hyeong-Tak 저

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계면 형상을 조사하였다. UHV(UItra Highvaccum) 챔버에서 200$AA$Ti와 400$AA$ Si을 400-$800^{circ}C$로 가열한 실리콘 기판위에 동시증착하였다. XRD, SEM, TEM 으로 상전이와 계면 및 표면을 관찰하였다. 비교적 평편한 형상을 갖는 C49상은 $500^{circ}C$와 $600^{circ}C$에서 형성되었으며 응집화 현상은 관찰되지 않았다. $700^{circ}C$에서 형성된 C54는 표면과 계면의 형상이 거칠어졌다. 기판의 온도가 $800^{circ}C$로 증가할때 이런 현상은 더욱 뚜렷히 관찰되었다. $400^{circ}C$와 $500^{circ}C$에서 TiSi와 관련된 XRD...
1889.

Alumimium Titanate-Mullite 복합체: Part1, 열적 내구성

김익진, 강원호, 고영신, Kim. Ik-Jin, Gang. Won-Ho, Go. Yeong-Sin 한국재료학회 한국재료학회지 8 Pages

한국재료학회 한국재료학회지 1993, Vol.3 No.6 624-631 (8 pages)

김익진, 강원호, 고영신, Kim. Ik-Jin, Gang. Won-Ho, Go. Yeong-Sin 저

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$Ti(OC_{2}H_{5})_4$ 의 단계적인 가수분해로 합성하였다. Sol-Gel 방법으로 합성된 모든 분말은 비정질과 단분산이고 좁은 분말크기의 분포를 보였다. 소결체($1600 ^{circ}C$/2h)는 임계분해온도인 $1100^{circ}C$에서 100시간 동안과 750와 $1400^{circ}C$ 100시간동안 반복적인 열적 내구성 및 열충격 시험을 수행하였다. 가장 좋은 열적 내구성은 aluminium titanate함유량이 70rhk 80vol%일때 얻어졌으며, 이들은 위 실험을 한후 아주 적은 미세구조와 열팽창 곡선의 변화를 나타내었다. 소결체 미세구조의 붕괴는 주사현미경,...
1890.

저온 소결 유전체에 관한 연구

이종규, 김왕섭, 김경용, Lee. Jong-Kyu, Kim. Wang-Sup, Kim. Kyeong-Yong 한국재료학회 한국재료학회지 7 Pages

한국재료학회 한국재료학회지 1992, Vol.2 No.4 263-269 (7 pages)

이종규, 김왕섭, 김경용, Lee. Jong-Kyu, Kim. Wang-Sup, Kim. Kyeong-Yong 저

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본 실험에서는 낮은 음의 온도계수를 갖는 저온 소결 유전체에 대해 연구하였다. 새로 개발된 재료의 조성은 Ti$O_2$(100-X) CuOx(X=1~5wt%)에 미량의 Mn$O_2$를 첨가 하였다. CuO를 첨가하지 않은 경우에는 저온 (90$0^{circ}C$) 에서 소결이 진행되지 않았다. CuO 함량이 증가할수록 저온에서 소결이 가능하였으나, 유전율이 낮아지고 유전손실은 증가 하였다. Mn$O_2$를 0.6wt% 첨가한 경우 유전율과 Q값이 가장 높게 나타났다.

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