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플라즈마 화학기상증착법으로 성장시킨 수소화 비정질 규소박막의 결정화
김용탁, 장건익, 홍병유, 서수정, 윤대호 한국결정성장학회 한국결정성장학회지 4 Pages
한국결정성장학회 한국결정성장학회지 2001, Vol.11 No.2 56-59 (4 pages)
RF plasma CVD법에 의해 증착된 비정질 실리콘 박막은 Si(100)웨이퍼와 유리에 각각 증착되었다. 본 연구에서는 RF power가 미세결정 실리콘 박막의 광학적 밴드갭($E_g$),투과도 그리고 결정성에 미치는 영향을 조사하였다 라만 분광분석 결과 미세결정 실리콘은 480과 520$cm^{-1}$에서 두개의 피크 즉, 비정질과 미세결정의 혼상으로 구성되어 있음을 확인할 수 있었고 XRD분석에서도 (111)방향의 피크가 RF power 300Ｗ에서 관찰되었다. 또한, 박막의 투과도는 자외/가시부 분광 광도계를 이용하였으며, 적외 흡광 스펙트럼을... -
새로운 글로우 방전/유도결합 플라스마 장치(GD/ICP Interface)에 대한 기초 연구: Part Ⅰ. 기초 연구
이계호, 김형성, 길효식, Lee. Gae Ho, Kil. Hyo Shik, Kim. Hyung Seung 대한화학회 대한화학회지 11 Pages
대한화학회 대한화학회지 1999, Vol.43 No.2 182-192 (11 pages)
글로우 방전(Glow Discharge, GD)과 유도결합플라스마(Inductively Coupled Plasma, ICP)-원자 방출분광법(Atomic Emission Spectrometer, AES)에서 사용되는 새로운 장치를 개발하였다. ICP-AES에서 GDAES로 전환하는 데 불과 15분 정도 소요되기 때문에, 고체 시료 및 액체시료에 포함된 극미량 원소분석을 신속하게 수행할 수 있다. 실험변수 중에서 냉각기체 유속, 시료운반기체 유속, 절단기체 유속, 보조기체 유속, 측정깊이, 이온 통과관 크기, 그리고 rf 전원의 세기 변화에 따른 원자 방출 복사선 변화에 미치는 영향을 조사... -
Cl$_2$/Ar 가스 플라즈마에 $O_2$ 첨가에 따른 Pt 식각 특성 연구
김창일, 권광호 대한전자공학회 電子工學會論文誌. Journal of the Korean Institute of Telematics and Electronics. D 7 Pages
대한전자공학회 電子工學會論文誌. Journal of the Korean Institute of Telematics and Electronics. D 1999, No.0 29-35 (7 pages)
probe를 사용하여 이온전류밀도를 Ar/Clsub 2 /Osub 2 가스 플라즈마에서 측정하였다. Osub 2가스 첨가비가 증가할수록 Cl과 Ar species가 급격하게 감소하고 이온전류밀도 역시 감소함을 QMS와 single Langmuir probe로 확인하였다. Pt 식각율의 감소는 Osub 2가스 첨가비가 증가할수록 반응성 species와 이온전류밀도의 감소에 기인함을 의미한다. 150 nm/min의 치대 식각율과 2.5의 산화막식각 선택비가 50 sccm의 Ar/Clsub 2 /Osub 2 가수 유량, 600 W의 RF 전력, 125 V의 dc 바이어스 전압 및 10mTorr의 반응로 압력에서 얻었다. -
유도결합 플라즈마에 의한(Ba, Sr)TiO$_3$ 박막의 식각 특성 연구
김승범, 이영준, 염근영, 김창일 대한전자공학회 電子工學會論文誌. Journal of the Korean Institute of Telematics and Electronics. D 7 Pages
대한전자공학회 電子工學會論文誌. Journal of the Korean Institute of Telematics and Electronics. D 1999, No.0 56-62 (7 pages)
박막이 rf 전력, dc 바이어스 전압 및 반응로 압력과 같은 식각 공정 변수를 변화하여 ICP에서 Clsub 2Ar 가스 혼합비에 따라 식각되었다. 0.2의 Clsub 2/(Clsub 2+Ar) 가스 혼합비, 600 W의 rf 전력,250 V의 dc 바이어스 전압 및 5 mTorr의 반응로 압력의 공정 조건하에서 식각율은 56nm/min이었다. 이때 Pt, SiOsub 2 막에 대한 BST 박막의 식각 선택비는 각각 0.52, 0.43이었다. 식각된 BST 박막의 표면반응은 XPS로 분석하였다. Ba는 BaClsub 2 와 같은 화학적인 반응과 물리적인 스퍼터링에 의해 제거되었다. Sr의 제거는 Sr과 Cl의... -
모델링을 통한 Ar 플라즈마 중의 미립자 운동에 관한 연구
임장섭, 소순열 한국조명전기설비학회 照明·電氣設備學會論文誌 8 Pages
한국조명전기설비학회 照明·電氣設備學會論文誌 2004, Vol.18 No.1 52-59 (8 pages)
미립자 플라즈마란 입경이 수[$mu extrm{m}$]이하의 거의 일정한 크기를 가진 미립자가 다수로 생성 및 유지되면서, 정 또는 부외 전하를 가지고 기체 플라즈마 중에 부유하는 상태를 말한다. 플라즈마 프로세스에서는 이러한 미립자가 집적회로에 중착되어 막의 열화, 회로 배선의 불량 및 단선 등의 약영향을 끼치는 것으로 인식되고 있으며, 이러한 부분에 대한 억제나 제어에 관한 연구가 진행되고 있다. 본 연구에서는 유체 모델을 이용한 시뮬레이션으로부터 방전 챔버내의 Ar 플라즈마의 현상을 이해하고, Ar 플리즈마 중에... -
플라즈마 응용을 위한 선택적 감쇠기를 사용한 고안정 고효율 전력증폭기
김지연, 이동헌, 전상현, 유호준, 김종헌, Kim. Ji-Yeon, Lee. Dong-Heon, Chun. Sang-Hyun, Yoo. Ho-Joon, Kim. Jong-Heon 한국전자파학회 韓國電磁波學會論文誌 11 Pages
한국전자파학회 韓國電磁波學會論文誌 2009, Vol.20 No.1 1-11 (11 pages)
고안정성을 가지는 RF 발생기용 1 kW급 전력증폭기를 설계 및 제작하였다. 전력증폭기는 푸쉬풀 MOSFET 1개와 고전류 구동 IC로 구성하였으며, E급 증폭기의 구조를 사용함으로써 효율을 개선하였다. 플라즈마 응용에 적합하도록 전력증폭기에 선택적 감쇠기를 사용하여 3가지 모드로 동작하게 함으로써 효율과 안정성을 선택적으로 고려할 수 있도록 하였다. 초기 방전 구간의 불안정성을 개선하기 위하여 RF 발생기의 출력 안정영역을 선택적 감쇠기를 사용하여 전압정재파비(VSWR)를 3.8:1 미만보다 개선된 4.5:1 미만으로 확장하였다.... -
Si/$SiO_2$/NiFe/$Al_2$$O_3$/Co 박막의 투과자기저항 특성 연구
현준원, 백주열 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 7 Pages
한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 2001, Vol.14 No.11 934-940 (7 pages)
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산소플라즈마 전처리된 Polyethylene Naphthalate 기판 위에 증착된 ZnO:Ga 투명전도막의 특성
김병국, 김정연, 오병진, 임동건, 박재환, 우덕현, 권순용, Kim. Byeong-Guk, Kim. Jeong-Yeon, Oh. Byoung-Jin, Lim. Dong-Gun, Park. Jae-Hwan, Woo. Duck-Hyun, Kweon. So 한국재료학회 한국재료학회지 6 Pages
한국재료학회 한국재료학회지 2010, Vol.20 No.4 175-180 (6 pages)
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유도 열플라즈마 공정을 이용한 고순도 카본분말 합성
김경인, 한규성, 황광택, 김진호, Kim. Kyung-In, Han. Kyu-Sung, Hwang. Kwang-Taek, Kim. Jin-Ho 한국결정성장학회 한국결정성장학회지 5 Pages
한국결정성장학회 한국결정성장학회지 2013, Vol.23 No.6 309-313 (5 pages)
유도 열플라즈마(RF Inductively thermal plasma)를 이용하여 합성하였으며, 출발원료로서 탄화수소계 액상물질인 도데칸이 사용되었다. 유도 열플라즈마 합성된 고순도 카본은 반응관과 필터에서 포집되며, 필터에서 포집된 카본 분말은 반응관에서 포집된 카본 분말보다 작은 입도(10~20 nm)와 낮은 결정성을 갖는 것으로 확인하였다. 반응관과 필터부에서 포집된 카본 분말의 순도는 각각 99.9997 %(5N7)와 99.9993 %(5N3)로 측정되었으며, 카본 분말에서 검출되는 불순물은 열플라즈마 합성장비에서 기인한 것으로 확인되었다. -
염료감응형 태양전지의 상대전극 Pt 필름 두께와 증착 각도가 효율에 미치는 영향에 관한 연구
김희제, 여태빈, 박성준, 김휘영, 서현웅, 손민규, 채원용, 이경준, Kim. Hee-Je, Yeo. Tae-Bin, Park. Sung-Joon, Kim. Whi-Young, Seo. Hyun-Woong, Son. Min-Kyu, Chae. Won-Y 대한전기학회 전기학회논문지= The Transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers 6 Pages
대한전기학회 전기학회논문지= The Transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers 2010, Vol.59 No.3 588-593 (6 pages)