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폴리이미드 기판 위에 RF 마그네트론 스퍼터링 공정으로 증착된 ZnO:Ga 박막의 특성
박승범, 김정연, 김병국, 임종엽, 여인환, 안상기, 권순용, 박재환, 임동건, Park. Seung-Beum, Kim. Jeong-Yeon, Kim. Byeong-Guk, Lim. Jong-Youb, Yeo. In-Hwan, Ahn. Sang-Ki, Kw 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 5 Pages
한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 2010, Vol.23 No.5 374-378 (5 pages)
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Ar 가스 압력과 RF 전력에 따른 유도결합형 플라즈마의 전기적 및 광학적 특성
최용성, 허인성, 이영환, 박대희 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 7 Pages
한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 2004, Vol.17 No.5 560-566 (7 pages)
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RF 플라즈마를 이용한 유기 EL 소자의 전극형성에 관한 연구
이은학 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 8 Pages
한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 2004, Vol.17 No.2 228-235 (8 pages)
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$C_{x}F_{y}$ Polymer Film Deposition in rf and dc $C_{7}F_{16}$ Vapor Plasmas
Sakai. Y., Akazawa. M., Sakai. Yosuke, Sugawara. H., Tabata. M., Lungu. C.P., Lungu. A.M. 한국전기전자재료학회 Transactions on electrical and electronic materials 6 Pages
한국전기전자재료학회 Transactions on electrical and electronic materials 2001, Vol.2 No.1 1-6 (6 pages)
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rf PECVD법으로 증착된 DLC film의 광학적 성질
김문협, 송재진, 김성진, Kim. Moon-Hyup, Song. Jae-Jin, Kim. Seong-Jin 한국재료학회 한국재료학회지 6 Pages
한국재료학회 한국재료학회지 2001, Vol.11 No.7 550-555 (6 pages)
rf PECVB법을 이용하여 붕규산 유리 기판 위에 diamond like carbon(DLC) 박막을 증착하였다. 메탄(CH$_4$)-수소(H$_2$) 혼합 가스를 전구체 가스로 사용하였다. DLC 박막의 형상, 구조 및 광학적 특성은 SEM, 라만 및 UV 스펙트럼으로 분석하였다. 증착 속도는 혼합 가스의 수소 농도에 따라 증가하다가, 혼합 가스 유량이 25 sccm 이상에서는 일정하게 되었다. UV스펙트럼으로 계산한 박막의 optical band gap은 증착 시간과 DC serf bias의 증가에 따라 감소하는 경향을 나타냈으나, 수소함량에 의해서는 거의 영향이 없었다. 박막의... -
RF 유도결합 열 플라즈마를 이용한 암모니아와 질소분위기에서 고순도 AlN 나노 분말의 합성
김경인, 최성철, 김진호, 황광택, 한규성, Kim. Kyung-In, Choi. Sung-Churl, Kim. Jin-Ho, Hwang. Kwang-Taek, Han. Kyu-Sung 한국세라믹학회 한국세라믹학회지 7 Pages
한국세라믹학회 한국세라믹학회지 2014, Vol.51 No.3 201-207 (7 pages)
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RF 유도 열플라즈마를 이용한 유기 용매로 부터의 탄화규소 나노 분말 합성
고상민, 구상만, 김진호, 조우석, 황광택, Ko. Sang-Min, Koo. Sang-Man, Kim. Jin-Ho, Cho. Woo-Seok, Hwang. Kwang-Taek 한국세라믹학회 한국세라믹학회지 5 Pages
한국세라믹학회 한국세라믹학회지 2012, Vol.49 No.6 523-527 (5 pages)
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RF 열플라즈마를 이용한 TEOS로 부터의 SiC 나노분말 합성
고상민, 구상만, 김진호, 김지호, 변명섭, 황광택, Ko. Sang-Min, Koo. Sang-Man, Kim. Jin-Ho, Kim. Ji-Ho, Byeon. Myeong-Seob, Hwang. Kwang-Taek 한국세라믹학회 한국세라믹학회지 5 Pages
한국세라믹학회 한국세라믹학회지 2011, Vol.48 No.1 1-5 (5 pages)
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RF 마그네트론 스퍼터링 공정으로 PET 기판 위에 제조한 Ga-doped ZnO 투명전도막의 특성
김정연, 김병국, 이용구, 김재화, 우덕현, 권순용, 임동건, 박재환, Kim. Jeong-Yeon, Kim. Byeong-Guk, Lee. Yong-Koo, Kim. Jae-Hwa, Woo. Duck-Hyun, Kweon. Soon-Yong, Lim. 한국마이크로전자및패키징학회 마이크로전자 및 패키징 학회지 6 Pages
한국마이크로전자및패키징학회 마이크로전자 및 패키징 학회지 2010, Vol.17 No.1 19-24 (6 pages)
전처리에 의한 PET 기판 위에 Ga이 도핑된 ZnO 투명전극 (GZO)의 특성변화를 고찰하였다. GZO 박막은 RF 마그네트론 스퍼터링 공정에 의해 합성하였으며 GZO 증착 이전에 PET 기판의 표면에너지를 높이고 GZO 박막과의 접촉특성을 향상시키기 위해 산소플라즈마 공정을 적용하였다. 산소 플라즈마 처리공정을 시행함에 따라 GZO 박막의 결정성과 전기적 특성이 향상하였다. RF 파워를 100 W로 하고, 플라즈마 처리시간을 600초로 하였을 때 GZO 박막의 최저 비저항 값인 $1.90{ imes}10^{-3}{Omega}-cm$의 양호한 특성을 확인되었다.