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471.

RF 마그네트론 스퍼터링 방법으로 제작된 $Pb[(Zr,Sn)Ti]NbO_3$ 박막의 결정구조와 전기적 특성

최우창, 최용정, 최혁환, 이명교, 권태하, Choi. Woo-Chang, Choi. Yong-Jung, Choi. Hyek-Hwan, Lee. Myoung-Kyo, Kwon. Tae-Ha 한국센서학회 센서학회지 6 Pages

한국센서학회 센서학회지 2000, Vol.9 No.3 242-247 (6 pages)

최우창, 최용정, 최혁환, 이명교, 권태하, Choi. Woo-Chang, Choi. Yong-Jung, Choi. Hyek-Hwan, Lee. Myoung-Kyo, Kwon. Tae-Ha 저

이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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RF 마그네트론 스퍼터링 방법을 이용하여 $Pb_{0.99}[(Zr_{0.6}Sn_{0.4})_{0.9}Ti_{0.1}]_{0.98}Nb_{0.02}O_3(PNZST)$ 박막을 증착시켰다. $500^{circ}C$의 기판온도, 80W의 RF power에서 증착된 박막은 급속열처리(RTA)후에 페로브스카이트 상으로 결정화되었다. $650^{circ}C$, 공기중에서 10초 동안 열처리된 박막이 가장 우수한 결정성과 전기적 특성을 나타내었다. 이러한 박막으로 제작된 PNZST 커패시터는 약 $20;{mu}C/cm^2$ 정도의 잔류분극과 약 50 kV/cm 정도의 항전계를 나타내었다. 또한, $2.2{ imes}10^9$의 스위칭 후에도...
472.

c-축 배양된 PLT 박막의 특성 및 IR센서 응용

최병진, 박재현, 김영진, 김기완, Choi. B.J., Park. J.H., Kim. Y.J., Kim. K.W. 한국센서학회 센서학회지 6 Pages

한국센서학회 센서학회지 1996, Vol.5 No.3 87-92 (6 pages)

최병진, 박재현, 김영진, 김기완, Choi. B.J., Park. J.H., Kim. Y.J., Kim. K.W. 저

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Pb과잉인 PLT 타겟을 이용하여 MgO(100) 단결정 기판위에 고주파 마그네트론 스펏터링법으로 PLT박막을 제조하였으며, c-축 배향에 따른 물리적 및 전기적 특성을 조사하였다. PLT박막의 c-축 배향성은 제조조건에 따라 변화하며, 본 연구에서의 제조조건은 기판온도가 $640^{circ}C$, 분위기압이 10 mTorr, $Ar/O_{2}$비가 10 및 고주파 전력밀도가 $1.7 W/cm^{2}$이었다. 이러한 조건에서 제조된 PLT 박막은 표면에서의 Pb/Ti 비가 1/2, 저항률이 $8{ imes}10^{11}{Omega}{cdot}cm$ 및 비유전률이 110 이었다. PLT박막을 이용하여...
473.

PbO 완충층을 이용한 Pt/Pb1.1Zr0.53Ti0.47O3/PbO/Si (MFIS)의 미세구조와 전기적 특성

박철호, 송경환, 손영국, Park. Chul-Ho, Song. Kyoung-Hwan, Son. Young-Guk 한국세라믹학회 한국세라믹학회지 6 Pages

한국세라믹학회 한국세라믹학회지 2005, Vol.42 No.2 104-109 (6 pages)

박철호, 송경환, 손영국, Park. Chul-Ho, Song. Kyoung-Hwan, Son. Young-Guk 저

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위에 $Pt/Pb_{1.1}Zr_{0.53}Ti_{0.47}O_{3}$와 PbO target으로 Pt/PZT/PbO/Si의 MFIS 구조를 제조하였다. MFIS 구조에 완충층으로 PbO를 삽입함으로써 PZT 박막의 결정성이 크게 향상되었고, 박막의 공정온도도 상당히 낮출 수 있었다. 그리고 XPS depth profile 분석 결과, PbO 증착시 기판온도가 PbO와 Si의 계면에서 Pb의 확산에 미치는 영향을 확인하였다. PbO 완충층을 삽입한 MFIS는 높은 메모리 윈도우와 낮은 누설전류 밀도를 가지는 추수한 전기적 특성을 나타내었다. 특히, 기판온도 $300^{circ}C$에서 증착된 PbO를 삽입한...
474.

저온동시소성(LTCC)을 위한 결정화 유리(La2O3-B2O3-TiO2계)와 BaNd2Ti5O14 세라믹을 이용한 마이크로파 유전체 특성

황성진, 김유진, 김형순 한국세라믹학회 한국세라믹학회지 6 Pages

한국세라믹학회 한국세라믹학회지 2004, Vol.41 No.8 599-604 (6 pages)

황성진, 김유진, 김형순 저

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무선 이동통신 산업에서 소형화와 RF모듈을 구현하기 위해 저온 동시 소성 세라믹(LTCC)기술이 부각되고 있다. LTCC용 재료는 90$0^{circ}C$ 이하의 온도에서 소성이 되어야 한다 본 연구는 BaO-N $d_2$ $O_3$-Ti $O_2$ (BNT：20∼40wt%) 세라믹과 L $a_2$ $O_3$- $B_2$ $O_3$-Ti $O_2$ (LBT：80∼60wt%) 유리를 혼합하여 유리를 결정화시킴으로, 나타나는 부수적인 효과를 얻고자 하였다. 이에 소결 거동, 결정상 분석, 상대밀도 그리고 유전특성을 평가하였다 80wt% 유리의 첨가는 90%에 가까운 상대밀도를 갖는 복합체로서 15에 가까운...
475.

(Mg0.93Ca0.07)TiO3 세라믹스의 저온소결과 마이크로파 유전특성

신동순, 최영진, 박재관, 박재환, 남산 한국세라믹학회 한국세라믹학회지 6 Pages

한국세라믹학회 한국세라믹학회지 2002, Vol.39 No.6 598-603 (6 pages)

신동순, 최영진, 박재관, 박재환, 남산 저

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(M $g_{0.93}$C $a_{0.07}$)Ti $O_3$마이크로파 유전체 세라믹스에 alumine borosilicate계 유리를 5~30wt% 첨가하여 저온소결 특성과 마이크로파 유전 특성을 조사하였다. (M $g_{0.93}$C $a_{0.07}$)Ti $O_3$에 alumine borosilicate계 유리를 첨가함으로서 소결온도를 135$0^{circ}C$에서 95$0^{circ}C$로 낮추었으며, 유리의 첨가량이 증가함에 따라 소결밀도의 증가 및 입성장이 뚜렷이 나타났고 20~30wt%의 유리가 첨가된 영역에서는 95%의 상대밀도를 갖는 소결체를 얻을 수 있었다. (M $g_{0.93}$C $a_{0.07}$)Ti $O_3$에 20wt%의...
476.

$SrTiO_3$(001) 단결정 위에 제조된 $SrBi_2(Ta,Nb)_2O_9$ 박막의 미세구조

이지현 한국세라믹학회 한국세라믹학회지 6 Pages

한국세라믹학회 한국세라믹학회지 2000, Vol.37 No.10 1008-1013 (6 pages)

이지현 저

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결정화 과정을 고온 X-선 회절분석 (HTXRD)으로 추적하면서 Pt(111)/Ti/ $SiO_2$/Si 위에 성장한 박막과 비교하였다. SrTi $O_3$(001) 단결정 기판 위에 도포된 $SrBi_2Nb_2O_{9}$ 박막은 fluorite-like phase와 같은 transient phase를 거치지 않고 곧바로 순수한 $SrBi_2Nb_2O_9$ 상으로 결정화가 시작되었으며 결정화가 시작되는 온도인 ${sim}540^{circ}C$부터 c축 배향성장하였다. 또한 $SrB i_2(Ta,Nb)_2O_9$ 박막은 Ta/Nb 비에 관계없이 $SrTiO_3$(001) 위에서 모두 $(00{ell})$로 배향되었으며, 코팅 횟수가 늘어나 필름의 두께가...
477.

고순도.미립 $TiO_2$분말 제조에 관한 연구 -가수분해 반응 조건에 따른 분말특성(II)-

최병현, 허혜경, 이미재, 김환, 김무경 한국세라믹학회 한국세라믹학회지 6 Pages

한국세라믹학회 한국세라믹학회지 2000, Vol.37 No.10 938-943 (6 pages)

최병현, 허혜경, 이미재, 김환, 김무경 저

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특성 및 결정상 생성에 대해 조사하였다. 반응온도가 3$0^{circ}C$ 이상일 때 Ti 수화물의 초기 침전이 생성되었고 반응온도가 TiCl$_4$mole 농도가 증가함에 따라 입자크기는 증가하였고 $600^{circ}C$ 하소시 1-propanol과 물의 부피비가 2보다 크고 반응온도가 7$0^{circ}C$보다 낮을 때 주결정상은 anatase였다. 입자크기가 미세하고 입자크기 분포가 좁은 범위를 갖는 조건은 1-propanol과 물의 부피비가 2, 반응온도가 7$0^{circ}C$, TiCl$_4$mole 농도가 0.2 mole/ι일 때였으며, 결정상의 생성은 1-propanol과 물의 부피비가 2,...
478.

RF 마그네트론 스퍼터링 방법으로 제조한 (Ba,Sr)TiO$_3$ 박막의 유전 및 초전특성

박재석, 김진섭, 이정희, 이용현, 한석룡, 이재신 한국세라믹학회 요업학회지 7 Pages

한국세라믹학회 요업학회지 1999, Vol.36 No.4 403-409 (7 pages)

박재석, 김진섭, 이정희, 이용현, 한석룡, 이재신 저

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Ti/NON/Si 기판 위에 $Ba_{0.66}$$Sr_{0.38}$$TiO_{3}$(BST) 박막을 증착한 다음 유전 및 초전특성을 살펴보았다. BST 박막을 증착할 때 기판온도를 300~-$600^{circ}C$로 변화시킨 결과 기판온도가 증가할수록 박막의 결정성과 입도가 증가하여 유전율과 초전계수가 증가하였다. 한편 하부전극인 Pt의 증착조건이 BST 박막의 몰성에 미치는 영향도 살펴보았다. Pt의 증착온도와 Pt의 미세구조와 결정성뿐만 아니라 상부에 형성된 BST 박막의 배향성에도 큰 영향을 미쳤으며, 그 결과 BST의 초전특성에도 큰 영향을 미쳤다. BST 박막과 Pt...
479.

다공성의 $La_{0.6}Sr_{0.4}Ti_{0.3}Fe_{0.7}O_{3-{delta}}$가 코팅된 $Ba_{0.5}Sr_{0.5}Co_{0.8}Fe_{0.2}O_{3-{delta}}$ 관형 분리막의 제조 및 투과 특성

김종표, 표대웅, 박정훈, 이용택, Kim. Jong-Pyo, Pyo. Dae-Woong, Park. Jung-Hoon, Lee. Yong-Taek 한국막학회 멤브레인 8 Pages

한국막학회 멤브레인 2012, Vol.22 No.1 8-15 (8 pages)

김종표, 표대웅, 박정훈, 이용택, Kim. Jong-Pyo, Pyo. Dae-Woong, Park. Jung-Hoon, Lee. Yong-Taek 저

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다공성 $La_{0.6}Sr_{0.4}Ti_{0.3}Fe_{0.7}O_{3-{delta}}$로 코팅된 $Ba_{0.5}Sr_{0.5}Co_{0.8}Fe_{0.2}O_{3-{delta}}$ 관형 분리막은 압출성형 및 dip coating 방법으로 제조 되었다. 코팅된 관형 분리막의 특성은 X-선 회절분석기(XRD)와 전자 주사 현미경(SEM)을 이용하여 분석하였으며, 분석결과 $2{mu}m$의 다공성 코팅 층을 갖는 페롭스카이트 구조임을 알 수 있었다. 산소투과량 분석은 $750{sim}950^{circ}C$ 범위에서 공급측과 투과 측을 대기 중 공기와 진공으로 하여 수행되었다. 다공성의...
480.

$Pb(Sc_{1/2}Nb_{1/2})O_3$ 박막 형성에 미치는 공정변수의 영향

박경봉, 권승협, 김태희, Park. Kyung-Bong, Kwon. Seung-Hyeop, Kim. Tae-Huei 한국결정성장학회 한국결정성장학회지 5 Pages

한국결정성장학회 한국결정성장학회지 2009, Vol.19 No.2 70-74 (5 pages)

박경봉, 권승협, 김태희, Park. Kyung-Bong, Kwon. Seung-Hyeop, Kim. Tae-Huei 저

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Sol-gel 법으로 제조한 $Pb(Sc_{1/2}Nb_{1/2})O_3$(이하 PSN) sol을 이용하여 스핀 코팅법으로 Pt(111)/Ti/$SiO_2$/Si 기판위에 제조한 박막의 제조 공정에 따른 영향을 연구하였다. Pt 기판위에 PSN sol을 증착, 건조한 후에 $370^{circ}C$에서 5분간 열처리를 행한 후 $10^{circ}C/sec$의 급속 가열로 $600{sim}700^{circ}C$에서 최종 열처리한 경우에 박막은 (111)면으로 우선 배향하는 것으로 나타났다. 그러나 중간 열처리를 거치지 않고, 급속가열에 의한 최종 열처리만을 행한 경우에는 (100)면으로 우선 배향하는 것으로...

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