본 논문에서는 반사형 음향 현미경의 반사응답 특성인 V(z)현상을 고찰하고 이 현미경을 이용한 새로운 형태의 비파괴 검사 기술을 제시한다. 10원 주화, 알루미늄, 집적회로 소자, 그리고 kevlar-epoxy 등을 샘플로서 선택하고 중심주파수 3 MHz의 음향 현미경을 focused mode 및 defocused mode에서 동작시켜 실험하였다. 이 과정에서 음향 현미경의 분해능은 $500mu m$로 나타났고 샘플의 표면 및 그 내부에 존재하는 결함은 검출되어 이를 영상화하였으며 샘플에 대한 영상의 콘트라스트 변화는 V(z)현상과 잘 일치함을 보였다.
In this paper, the characteristic response of reflected signals of acoustic reflection microscope, V(z) phenomenon, has been studied and a new type of NDE technique has been presented. 10 Won coin, aluminium, IC component, and kevlar-epoxy samples have been used for the experiment of NDE and the acoustic microscope operating at a center frequency of 3 MHz has been used in the focused or defocused mode of operation. In experiment, it has been shown that the acoustic microscope has the resolution of $500mu m$ and the defects present on the surface and near surface of samples have been detected by acoustic transducer and imaged on a monitor, and the variation of the contrast of image for samples has been in good agreement with V(z) phenomenon.
