- 건식 식각기술의 동향분석
- ㆍ 저자명
- 박성호,김진섭,강봉구,Park. Seong-Ho,Kim. Jin-Seop,Gang. Bong-Gu
- ㆍ 간행물명
- 전자통신동향분석
- ㆍ 권/호정보
- 1989년|4권 2호|pp.76-109 (34 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국전자통신연구원
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
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본 연구에서는 초고집적 반도체소자의 제작을 위한 건식 식각장비의 기술동향 분석과 식각공정에 대한 요구조건 추출 및 실제의 공정예를 검토함으로써 submicron급의 초미세형상을 가공하는데 이방성과 저손상의 중요한 특성을 갖는 ECR 플라즈마, 특히 저온의 식각방식이 차세대의 건식 식각장치의 주류가 될 것임을 예측하였다.