- Micromachining기법으로 제작된 정전형 마이크로모터의 기술동향
- ㆍ 저자명
- 홍순관,박선우,김철주
- ㆍ 간행물명
- 전기학회지= The Processing of the Institute of Electrical Engineers
- ㆍ 권/호정보
- 1993년|42권 11호|pp.14-18 (5 pages)
- ㆍ 발행정보
- 대한전기학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
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