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Micromachining기법으로 제작된 정전형 마이크로모터의 기술동향
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  • Micromachining기법으로 제작된 정전형 마이크로모터의 기술동향
저자명
홍순관,박선우,김철주
간행물명
전기학회지= The Processing of the Institute of Electrical Engineers
권/호정보
1993년|42권 11호|pp.14-18 (5 pages)
발행정보
대한전기학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

마이크로 모터는 미소기계장치에서 중요한 actuator가 될 수 있음은 물론 자체로도 여러가지 응용을 생각할 수 있다. 여컨대 밀폐시킨 캡슐내에 마이크로모터를 제작하고 그 회전수를 조절함으로써 통로를 지나는 기체나 액체증의 유량을 조절하는 미세유량조절기를 제작할 수 있을 것이다.