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Co 단일층과 Co/Ti 이중층에 의하여 형성된 코발트 실리사이드막의 구조
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  • Co 단일층과 Co/Ti 이중층에 의하여 형성된 코발트 실리사이드막의 구조
저자명
이종무,이병욱,권영재,김영욱,이수천,Lee. Jong-Mu,Lee. Byeong-Uk,Gwon. Yeong-Jae,Kim. Yeong-Uk,Lee. Su-Cheon
간행물명
한국재료학회지
권/호정보
1996년|6권 9호|pp.861-870 (10 pages)
발행정보
한국재료학회
파일정보
정기간행물|
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주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

Co 단일층과 Co/Ti 이중층으로부터 형성된 코발트 실리사이드를 최종 막의 구조와 에피텍셜 성장 측면에서 조사하였다. Co 단일층은 그 두께와는 관계없이 전체 막이 CoSi2로 변화된 반면에, Co/Ti 이중층 구조에서는 Co와 Ti 막의 두께비가 최종막 구조에 상당한 영향을 주었다. 그리고 CoSi2막의 에피 성장이 Co 단일층에서 보다는 Co/Ti 이중층에서 보다 용이하였다.