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RF 마그네트론 스퍼터링법으로 제조된 MoS$_2$ 박막의 윤활 특성에 관한 연구
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  • RF 마그네트론 스퍼터링법으로 제조된 MoS$_2$ 박막의 윤활 특성에 관한 연구
저자명
안영환,김선규
간행물명
한국표면공학회지
권/호정보
2000년|33권 4호|pp.266-272 (7 pages)
발행정보
한국표면공학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

Sputtered $MoS_2$ thin films provide lubrication and wear improvements for vacuum and space applications. In this study, deposition of $MoS_2$ thin films by R.F. magnetron sputtering was studied with regard to the micro-structural change of $MoS_2$ film and mechanical properties. The coating parameters such as the working pressure, the RF power, the substrate temperature, the etching time were varied to determine how these parameters affected the film morphology and mechanical properties of deposited films. The best wear properties and critical load were observed with the film deposited at $70^{circ}C$, 1.0$ imes$$10^{ -3}$ Torr, 170W and 1 hour deposition time. The critical load increased with the increase of sputter etching time.