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가운데 도파로 입사된 $Ti:LiNbO_3$ 세 도파로 광스위치의 설계 및 제작
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  • 가운데 도파로 입사된 $Ti:LiNbO_3$ 세 도파로 광스위치의 설계 및 제작
저자명
허창열,한영탁,김창민,Huh. Chang-Yul,Han. Young-Tak,Kim. Chang-Min
간행물명
電子工學會論文誌. Journal of the Institute of Electronics Engineers of Korea. SD, 반도체
권/호정보
2000년|37권 6호|pp.64-71 (8 pages)
발행정보
대한전자공학회
파일정보
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주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

등간격, 동일 구조의 $Ti:LiNbO_3$ 세 도파로를 이용한 광스위치를 설계하고 제작하였다. 공도파로는 z-cut $LiNbO_3$ 기판상에 Ti를 내부 확산시켜 제작하였다. TM 모드 전파 손실을 줄이기 위하여 도파로 위에 $SiO_2$ 박막을 증착시킨 후, 광스위칭을 위하여 CPW(Coplanar Waveguide)구조 Al 전극을 형성시켰다. 가운데 도파로에 입사된 ${lambda}=1.3{mu}m$ 광에 대하여 세 도파로가 대칭적으로 detuning 되도록 전계 인가시 광 스위칭이 일어남을 확인하였다.

기타언어초록

An optical switch composed of identical, equally-spaced $Ti:LiNbO_3$ three-waveguides was designed and fabricated. Patterned Ti was diffused into z-cut $LiNbO_3$ substrates. $SiO_2$ buffer layer was evaporated to reduce the propagation loss of TM mode, and Al electrodes of CPW structure were built on the layer for switching of the guided beam. The optical switching phenomenon was confirmed when a beam of ${lambda}=1.3{mu}m$ was launched into the center waveguide and an electric field was applied to detune the three waveguides symmetrically.