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Development of Prototype Stylus Prototype for Large Optics Testing
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  • Development of Prototype Stylus Prototype for Large Optics Testing
  • Development of Prototype Stylus Prototype for Large Optics Testing
저자명
Yang. Ho-Soon,Walker. David
간행물명
Journal of the Optical Society of Korea
권/호정보
2001년|5권 2호|pp.60-66 (7 pages)
발행정보
한국광학회
파일정보
정기간행물|ENG|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

The authors discuss a prototype stylus profilometer designed to measure large optics. It consists of a low contact force type probe system, laser reference system, interferometric distance measurement system, and horizontal driving system. The probe contacts the surface ; the height and the horizontal distances of the measurement points are measured by the interferometer. The freely propagated laser beam provides the reference line during the measurement. The developed stylus profilometry shows only $pm$60 nm of P-V error for the 157 mm diameter spherical mirror.