- 후열처리 온도에 따른 ZnGa2O4 형광체 박막의 발광 특성
- ㆍ 저자명
- 이성수,정중현,Yi. Soung-Soo,Jeong. Jung-Hyun
- ㆍ 간행물명
- 센서학회지
- ㆍ 권/호정보
- 2002년|11권 1호|pp.60-65 (6 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국센서학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
$ZnGa_2O_4$박막 형광체는 기판 온도 $550^{circ}C$, 산소 분압 100mTorr에서 Si(100) 기판 위에 펄스레이저 증착법을 이용하여 증착시켰고, 이렇게 증착되어진 박막을 $600^{circ}C$와 $700^{circ}C$에서 후 열처리하여 발광 특성을 조사하였다. X-선 회절 실험 결과, 후열처리 온도를 증가시킴에 따라서 $Ga_2O_3$ 상이 나타남을 확인할 수 있었다. 발광 스펙트럼은 460nm에서 최고 피크값을 나타내었으며. 350에서 600nm까지 갖는 넓은 밴드의 발광 특성을 나타내었다. 후열처리에 따른 $ZnGa_2O_4$ 박막은 다른 형태의 발광 강도와 grain 크기를 나타내었다.
$ZnGa_2O_4$ thin film phosphors have been deposited using a pulsed laser deposition method on Si(100) substrates at a substrate temperature of $550^{circ}C$ with oxygen pressures of 100mTorr, and subsequently to investigate their photoluminescence characteristics after post-annealed at $600^{circ}C$ and $700^{circ}C$. As a result for X-ray diffraction, $Ga_2O_3$ shape appeared with increasing annealing temperature. The luminescent spectra show a broad band extending from 350 to 600nm peaking at 460nm. A post-annealing treatment of $ZnGa_2O_4$ thin films led to the different shape of luminescent intensity and grain size.