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메모리 소자에의 응용을 위한 SrBi2Nb2O9 박막의 성장 및 전기적 특성
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  • 메모리 소자에의 응용을 위한 SrBi2Nb2O9 박막의 성장 및 전기적 특성
저자명
강동훈,최훈상,이종한,임근식,장유민,최인훈,Gang. Dong-Hun,Choe. Hun-Sang,Lee. Jong-Han,Im. Geun-Sik,Jang. Yu-Min,Choe. In-Hun
간행물명
한국재료학회지
권/호정보
2002년|12권 6호|pp.464-469 (6 pages)
발행정보
한국재료학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

$SrBi_2Nb_2O_9(SBN)$ thin films were grown on Pt/Ti/Si and p-type Si(100) substrates by rf-magnetron co-sputtering method using two ceramic targets, $SrNb_2O_6; and ;Bi_2O_3$. The structural and electrical characteristics have been investigated to confirm the possibility of the SBN thin films for the applications to destructive and nondestructive read out ferroelectric random access memory(FRAM). For the optimum growth condition X-ray diffraction patterns showed that SBN films had well crystallized Bi-layered perovskite structure after $700^{circ}C$ heat-treatment in furnace. From this specimen we got remnant polarization $(2P_r)$ of about 6 uC/$ extrm{cm}^2$ and coercive voltage $(V_c)$ of about 1.5 V at an applied voltage of 5 V. The leakage current density was $7.6{ imes}10^{-7}$/A/$ extrm{cm}^2$ at an applied voltage of 5V. And for the NDRO-FRAM application, properties of SBN films on Si substrate has been investigated. From transmission electron microscopy (TEM) analysis, we found the furnace treated sample had a native oxide about 2 times thicker than the RTA treated sample and this thick native oxide layer had a bad effect on C-V characteristics of SBN/Si thin film. After $650^{circ}C$ RTA process, we got the improved memory window of 1.3 V at an applied voltage of 5 V.