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유기 금속 화학 기상 증착법으로 제조된 자성반도체 Til-xCoxO2 박막의 Co 조성 변화에 따른 미세구조 및 자기적 특성
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  • 유기 금속 화학 기상 증착법으로 제조된 자성반도체 Til-xCoxO2 박막의 Co 조성 변화에 따른 미세구조 및 자기적 특성
저자명
성낙진,오영남,조채룡,윤순길,Seong. Nak-Jin,Oh. Young-Nam,Cho. Chae-Ryong,Yoon. Soon-Gil
간행물명
한국재료학회지
권/호정보
2003년|13권 11호|pp.737-741 (5 pages)
발행정보
한국재료학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

Polycrystalline $Ti_{l-x}$ $Co_{x}$ $O_2$thin films on $SiO_2$ (200 nm)/Si (100) substrates were prepared using liquid-delivery metalorganic chemical vapor deposition. Microstructures and ferromagnetic properties were investigated as a function of doped Co concentration. Ferromagnetic behaviors of polycrystalline films were observed at room temperature, and the magnetic and structural properties strongly depended on the Co distribution, which varied widely with doped Co concentration. The annealed $Ti_{l-x}$ $Co_{x}$ $O_2$thin films with $xleq$0.05 showed a homogeneous structure without any clusters, and pure ferromagnetic properties of thin films are only attributed to the X$l-x_{l-x}$ $Co_{x}$X$O_2$phases. On the other hand, in case of thin films above x = 0.05, Co-rich clusters formed in a homogeneous $Ti_{l-x}$ $Co_{x}$ $O_2$phase, and the overall ferromagnetic (FM) properties depended on both FMTCO and FMCo. Co-rich clusters with about 10-150 nm size decreased the value of Mr (the remanent magnetization) and increased the saturation magnetic field.