- 결정성 질화탄소막의 습도 감지특성에 관한 연구
- ㆍ 저자명
- 이지공,하세근,김정훈,이성필
- ㆍ 간행물명
- 전기전자재료학회논문지
- ㆍ 권/호정보
- 2004년|17권 5호|pp.521-525 (5 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국전기전자재료학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
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Crystalline carbon nitride films were attempted for an application of humidity sensors. The films were deposited on $Al_2$O$_3$substrate having intermigrated electrodes by reactive rf magnetron sputtering system. The film revealed a good humidity-resistance characteristics as well as humidity-capacitance ones in the humidity range of 10∼95 RH(%). Temperature dependence was also investigated. These results suggest that the carbon nitride film has a possibility for new humidity-sensitive material