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표면 도핑 기법을 사용한 SOI RESURF LDMOSFET의 항복전압 및 온-저항 특성 분석
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  • 표면 도핑 기법을 사용한 SOI RESURF LDMOSFET의 항복전압 및 온-저항 특성 분석
저자명
김형우,김상철,방욱,강인호,김기현,김남균,Kim. Hyoung-Woo,Kim. Sang-Cheol,Bahng. Wook,Kang. In-Ho,Kim. Kl-Hyun,Kim. Nam-Kyun
간행물명
전기전자재료학회논문지
권/호정보
2006년|19권 1호|pp.23-28 (6 pages)
발행정보
한국전기전자재료학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

In this paper, breakdown voltage and on-resistance characteristics of the surface doped SOI RESURF LDMOSFET were investigated as a function of surface doping depth. In order to verify the variation of characteristics, two-dimensional device simulation was carried out. Breakdown voltage of the proposed structure is varied from $73 {~}138V$ while surface doping depth varied from $0.5{~}2.0{mu}m$. And on-resistance is decreased from $0.18{~}0.143{Omega}/cm^2$ while surface doping depth increased from $0.5 {~}2.0{mu}m$. Maximum breakdown voltage of the proposed structure is 138 V at $1.5{mu}m$ depth of surface doping, yielding $22.1\%$ of improvement of breakdown voltage in comparison with that of the conventional SOI RESURF LDMOSFET with same epi-layer concentration. On-resistance characteristic is also improved about $21.7\%$.