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파이버 공초점법을 이용한 레이저 빔 자동 초점 제어 장치에 관한 연구
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  • 파이버 공초점법을 이용한 레이저 빔 자동 초점 제어 장치에 관한 연구
  • Study on Auto Focusing System of Laser Beam by Using Fiber Confocal Method
저자명
문성욱,김종배,김선흠,배한성,남기중,Moon. Seong-Wook,Kim. Jong-Bae,King. Sun-Hum,Bae. Han-Seong,Nam. Gi-Jung
간행물명
한국레이저가공학회지
권/호정보
2006년|9권 3호|pp.7-13 (7 pages)
발행정보
한국레이저가공학회
파일정보
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주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

Auto focusing system to find optimized focal position of laser beam used for material process has been investigated by using fiber confocal method. Wavelength of laser diode (LD) and diameter of single-mode fiber are 780nm and $5.3{mu}m$, respectively. Intensity distributions of beam reflected from the surface of mirror and silicon bare wafer have been observed in a gaussian form. Experimental results show that focal position obtained by LD is shifted from one observed from surface scribed by laser about $80{mu}m$. It is due to the difference of wavelength and each divergence of between LD and laser used for material process. It is confirmed that auto focusing control system through position calibration has operated steadily.