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탄소나노튜브 트랜지스터 제작
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  • 탄소나노튜브 트랜지스터 제작
저자명
박용욱,윤석진,Park. Yong-Wook,Yoon. Seok-Jin
간행물명
전기전자재료학회논문지
권/호정보
2007년|20권 5호|pp.389-393 (5 pages)
발행정보
한국전기전자재료학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

We fabricated field-effect transistor based carbon nanotubes(CNTs) directly grown by thermal chemical vapor deposition(CVD) and analyzed their performance. The Ethylene ($C_2H_4$), hydrogen($H_2$) and Argon(Ar) gases were used for the growth of CNTs at $700;^{circ}C$. The growth properties of CNTs on the device were analyzed by SEM and AFM. The electrical transport characteristics of CNT FET were investigated by I-V measurement. Transport through the nanotubes is dominated by holes at room temperature. By varying the gate voltage, we successfully modulated the conductance of FET device by more than 7 orders of magnitude.