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수소 Plasma 처리 후의 MgO 보호막에 대한 일함수 변화 측정
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  • 수소 Plasma 처리 후의 MgO 보호막에 대한 일함수 변화 측정
저자명
정재천,이석주,조재원,Jeong. Jae-Cheon,Rhee. Seuk-Joo,Cho. Jae-Won
간행물명
전기전자재료학회논문지
권/호정보
2007년|20권 7호|pp.611-614 (4 pages)
발행정보
한국전기전자재료학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

The changes in the work $function({Phi}_w)$ in the MgO protective layers after $plasma(Ar,;H_2)$ treatment have been studied using ${Upsilon}-focused$ ion beam $({Upsilon}-FIB)$ system. The ${Phi}_w$ was determined as follows: Ar-plasma $treatment({Phi}_w=4.52eV)$, $H_2-plasma$ $treatment({Phi}_w=5.65eV)$, and non-plasma $treatment({Phi}_w=4.64eV)$. The results indicated that the H-plasma could not make any effective physical etching due to the small masses of hydrogen atoms and molecules while the hydration of H-plasma could grow some contaminating materials on the surface of MgO.?