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유연성 유기 박막트랜지스터 적용을 위한 다층 게이트 절연막의 전기적 및 기계적 특성 향상 연구
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  • 유연성 유기 박막트랜지스터 적용을 위한 다층 게이트 절연막의 전기적 및 기계적 특성 향상 연구
저자명
노화영,설영국,김선일,이내응,Noh. H.Y.,Seol. Y.G.,Kim. S.I.,Lee. N.E.
간행물명
한국표면공학회지
권/호정보
2008년|41권 1호|pp.1-5 (5 pages)
발행정보
한국표면공학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

In this work, improvement of mechanical and electrical properties of gate dielectric layer for flexible organic thin film transistor (OTFT) devices was investigated. In order to increase the mechanical flexibility of PVP (poly(4-vinyl phenol) organic gate dielectric, a very thin inorganic $HfO_2$ layers with the thickness of $5{sim}20nm$ was inserted in between the spin-coated PVP layers. Insertion of the inorganic $HfO_2$ in the laminated organic/inorganic structure of PVP/$HfO_2$/PVP layer led to a dramatic reduction in the leakage current compared to the pure PVP layer. Under repetitive cyclic bending, the leakage current density of the laminated PVP/$HfO_2$/PVP layer with the thickness of 20-nm $HfO_2$ layer was not changed, while that of the single PVP layer was increased significantly. Mechanical flexibility tests of the OTFT devices by cyclic bending with 5 mm bending radius indicated that the leakage current of the laminated PVP/$HfO_2$(20 nm)/PVP gate dielectric in the device structure was also much smaller than that of the single PVP layer.