- 적외선 마이크로 볼로미터를 위한 $Si_{1-x}Sb_x$ 박막의 특성
- The characterization of the $Si_{1-x}Sb_x$ thin films for infrared microbolometer
- ㆍ 저자명
- 이동근,류상욱,양우석,조성목,전상훈,류호준,Lee. Dong-Keun,Ryu. Sang-Ouk,Yang. Woo-Seok,Cho. Seong-Mok,Cheon. Sang-Hoon,Ryu. Ho-Jun
- ㆍ 간행물명
- 반도체및디스플레이장비학회지
- ㆍ 권/호정보
- 2009년|8권 3호|pp.13-17 (5 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국반도체및디스플레이장비학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
