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적외선 마이크로 볼로미터를 위한 $Si_{1-x}Sb_x$ 박막의 특성
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  • 적외선 마이크로 볼로미터를 위한 $Si_{1-x}Sb_x$ 박막의 특성
  • The characterization of the $Si_{1-x}Sb_x$ thin films for infrared microbolometer
저자명
이동근,류상욱,양우석,조성목,전상훈,류호준,Lee. Dong-Keun,Ryu. Sang-Ouk,Yang. Woo-Seok,Cho. Seong-Mok,Cheon. Sang-Hoon,Ryu. Ho-Jun
간행물명
반도체및디스플레이장비학회지
권/호정보
2009년|8권 3호|pp.13-17 (5 pages)
발행정보
한국반도체및디스플레이장비학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

we have studied characterization of microbolometer based on the co-sputtered silicon-antimony ($Si_{1-x}Sb_x$) thin film for infrared microbolometer. We have investigated the resistivity and the temperature coefficient of resistance (TCR) with annealing. We deposited the films using co-sputtering method at $200^{circ}C$ in the Ar environment. The Sb concentration has been adjusted by applying variable DC power from Sb targets. TCR of deposited $Si_{1-x}Sb_x$ films have been measured the range of -2.3~-2.8%/K. The resistivity of the film is low but TCR is higher than the other bolometer materials. Resistivity of the films has not been affected hugely according to the low annealing temperature however the resistivity has been dramatically decreased over $250^{circ}C$. It is caused of a phase change due to the rearrangement of Si and Sb atoms during crystallization process of the films.