- Simulation of outgassing effects of vacuum materials on vacuum characteristics
- Simulation of outgassing effects of vacuum materials on vacuum characteristics
- ㆍ 저자명
- Kim. Hyung-Taek,Kim. Young-Suk
- ㆍ 간행물명
- 반도체및디스플레이장비학회지
- ㆍ 권/호정보
- 2009년|8권 1호|pp.7-12 (6 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국반도체및디스플레이장비학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물|ENG| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
