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기판 바이어스 전압을 이용한 태양전지용 GZO 박막의 전기적, 광학적 특성
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  • 기판 바이어스 전압을 이용한 태양전지용 GZO 박막의 전기적, 광학적 특성
저자명
권순일,이석진,박승범,정태환,임동건,박재환,최원석,박문기,양계준,Kwon. Soon-Il,Lee. Seok-Jin,Park. Seung-Bum,Jung. Tae-Hwan,Lim. Dong-Gun,Park. Jea-Hwan,Choi
간행물명
전기전자재료학회논문지
권/호정보
2009년|22권 5호|pp.373-376 (4 pages)
발행정보
한국전기전자재료학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

In this paper we report upon an investigation into the effect of DC bias voltage on the electrical and optical properties of Gallium doped zinc oxide (GZO) film. GZO films were deposited on glass substrate without substrate temperature by RF magnetron sputtering from a ZnO target mixed with 5 wt% $Ga_{2}O_{3}$. we investigated sample properties of bias voltage change in 0 to -60 V. We were able to achieve as low as $5.89{ imes}10^{-4}{Omega}cm$ and transmittance over 88 %. without substrate heating.