자동 광검사 장비의 검사 영상 획득과정을 전산모사하는 시뮬레이터를 개발하였다. 시뮬레이터는 광선 추적법을 기반으로 조명 광학계, 검사 대상체 및 결상 광학계의 3가지 모듈로 구성하였다. 각 모듈이 갖는 광학적 특성을 실제와 일치시키기 위해, 다양한 물리적 모델과 실측 결과를 반영하여 주요 인자들의 종류와 범위를 결정하였다. 전산모사 결과의 타당성은 논리적인 검증과정과 실험 결과와의 비교를 통해 확인할 수 있었다.
This paper describes the development of a simulator which can numerically calculate an image to be acquired in a machine vision system for automated optical inspection. The simulator is based on a ray tracing technique and composed of three modules which are an illuminating system, a specimen and an imaging system. Kinds of model parameters for modules and their values are carefully chosen from the direct measurement and the observation of related phenomena. Finally, the validity of the simulator is evaluated by logical analysis and by comparison with measured images.
