- 유기 EL 성막 공정을 위한 점 증발원의 DSMC 시뮬레이션
- ㆍ 저자명
- 전성훈,이응기,Jun. Sung-Hoon,Lee. Eung-Ki
- ㆍ 간행물명
- 반도체디스플레이기술학회지
- ㆍ 권/호정보
- 2010년|9권 3호|pp.11-16 (6 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국반도체디스플레이기술학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
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The performance of an OLED fabrication system strongly depends on the design of the evaporation cell-source. Therefore, necessity of the preceding study for cell source development of new concept is becoming increase. A development plan to substitute for experiment is applied as use simulation. In this study interpret behavior of a particle through DSMC techniques, and in this paper presenting a form to make so as to have better performance of the pointtype cell source which had a nozzle.