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용액공정을 이용한 ZnSnO 산화물 반도체 박막 트랜지스터에서 Mg 첨가에 따른 영향
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  • 용액공정을 이용한 ZnSnO 산화물 반도체 박막 트랜지스터에서 Mg 첨가에 따른 영향
저자명
최준영,박기호,김상식,이상렬,Choi. Jun-Young,Park. Ki-Ho,Kim. Sang-Sig,Lee. Sang-Yeol
간행물명
전기전자재료학회논문지
권/호정보
2011년|24권 9호|pp.697-700 (4 pages)
발행정보
한국전기전자재료학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

Thin-film transistors(TFTs) with magnesium zinc tin oxide(MZTO) channel layer are fabricated by solution-process. The threshold voltage (Vth) shifted toward positive directly with increasing Mg contents in MZTO system. Because the Mg has a lower standard electrode potential (SEP) than Sn, Zn, thus degenerate the oxygen vacancy ($V_O$). As a result, the Mg act as carrier suppressor and oxygen binder in the MZTO as well as a Vth controller.