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지뢰탐지를 위한 ECR 플라즈마에서 타깃에 고전압 DC 펄스 인가시 전압-전류 특성 분석
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  • 지뢰탐지를 위한 ECR 플라즈마에서 타깃에 고전압 DC 펄스 인가시 전압-전류 특성 분석
저자명
김성봉,이희재,박승일,유석재,조무현,한승훈,임병옥,Kim. Seong Bong,Lee. Hui Jea,Park. Seungil,Yoo. Suk Jae,Cho. Moohyun,Han. Seung-Hoon,Lim. Byeongok
간행물명
한국표면공학회지
권/호정보
2014년|47권 1호|pp.53-56 (4 pages)
발행정보
한국표면공학회
파일정보
정기간행물|
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주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

I-V characteristics of a cylindrical target in an ECR plasma were studied for sheath spatial evolutions when the target was pulsed biased to a high negative potential. The magnetic field effects on sheath thickness and sheath boundary speed were investigated by comparison between the experimental results and the theoretical results using the Child-Langmuir sheath model. The results showed that the magnetic field suppressed electron motion away from the target so that sheath thickness and sheath boundary speed decreased.