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Potashborosilicate glass 첨가에 따른 Fluormica glass-ceramics의 소결특성에 관한 연구
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  • Potashborosilicate glass 첨가에 따른 Fluormica glass-ceramics의 소결특성에 관한 연구
저자명
김병일
간행물명
마이크로전자 및 패키징 학회지
권/호정보
1998년|5권 2호|pp.1-6 (6 pages)
발행정보
한국마이크로전자및패키징학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

B2O3F2를 함유한 Fluormica glass-ceramics 분말과 Potashborosilicate glass 분말을 이용하여 저온소결용 기판을 제조하기 위하여 제조한 그린시트의 특성 및 소결체의 소결 특 성을 평가하였다. 기판 제조용 슬러리를 제조하기 위해 결정화유리분말에 Potashborosilicate glass 분말을 각각 0. 25, 50wt%를 혼용하였다. Doctor blade법으로 그린시트를 제조한후 그 특성을 평가한 결과 건조수축률은 15.2~30.7% 온도상승에 따른 유기물의 탈지온도는 414$^{circ}C$(2시간)로 선정하였다. 그린시트는 800~120$0^{circ}C$사이에서 소성하여 소결특성을 평가하였 다. 소결 수축률은 17.5~18.5% 겉보기 기공률은 16.53~20.07%였다.