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RF-PECVD로 증착된 DLC 박막의 온도 변화에 따른 트라이볼로지 특성
이영제, 조용경, 신윤하, Lee. Young-Ze, Cho. Yong-Kyung, Shin. Yun-Ha 한국윤활학회 윤활학회지 4 Pages
한국윤활학회 윤활학회지 2006, Vol.22 No.3 127-130 (4 pages)
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ECR-PECVD 방법으로 증착한 Diamond-Like carbon 박막의 광 특성
김대년, 김기홍, 김혜동, Kim. Dae-Nyoun, Kim. Ki-Hong, Kim. Hye-Dong 한국안광학회 한국안광학회지 9 Pages
한국안광학회 한국안광학회지 2004, Vol.9 No.2 291-299 (9 pages)
ECR-PECVD 방법을 이용하여 ECR power, $CH_4/H_2$ 가스 혼합비와 유량, 증착시간을 고정 시켜놓고 기판 bias 전압을 변화 시켜가면서 유리 기판위에 DLC 박막을 제작하였다. Raman, FTIR 및 UV/Vis 스펙트럼을 측정하여 기판 bias 진압에 따른 이용 충돌이 박막의 특성 변화에 미치는 영향을 조사하였다. FTIR 분석결과로부터 기판 bias 전압을 증가시킬수록 이용충돌 현상이 두드러져 탄소와 결합하고 있던 수소원자들의 탈수소화 현상을 확인할 수 있었고, 박막의 두께는 bias 전압을 증가시킬수록 감소되었다. 그리고 Raman... -
RF-PECVD법에 의한 투명 다이아몬드상 탄소 박막 합성
김태규, 신영호, 조현, 김진곤, Kim. Tae-Gyu, Shin. Yeong-Ho, Cho. Hyun, Kim. Jin-Kon 한국결정성장학회 한국결정성장학회지 4 Pages
한국결정성장학회 한국결정성장학회지 2012, Vol.22 No.4 190-193 (4 pages)
PECVD(radio frequency plasma enhanced chemical vapor deposition)법을 이용하여 $CH_4+SiH_4+Ar$ 혼합 가스로부터 유리 기판 위에 투명 다이아몬드상 카본(diamond-like carbon, DLC)을 합성하였다. 공정압력과 rf-파워, $CH_4/SiH_4/Ar$ 혼합비, 그리고 증착 시간은 각각 0.1 torr, 100W, 20 : 1 : 1, 20분이었다. DLC가 증착된 유리와 증착되지 않은 유리의 투과도를 가시광선 영역에서 비교하였고, DLC가 증착된 유리의 경도, 표면 조도와 두께를 nanoindenter와 AFM으로 측정하였다. DLC가 증착된 유리의 투과도는 증착되지 않은... -
RF-PECVD법에 의한 Ti-Si-N 박막의 증착거동
이응안, 이윤복, 김광호 한국표면공학회 한국표면공학회지 7 Pages
한국표면공학회 한국표면공학회지 2002, Vol.35 No.4 211-217 (7 pages)
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RF-PECVD 법으로 제조된 비정질 BON박막의 산화
김재운, 부진효, 이동복, Kim. J. W., Boo. J.-H., Lee. D. B. 한국재료학회 한국재료학회지 5 Pages
한국재료학회 한국재료학회지 2004, Vol.14 No.10 683-687 (5 pages)
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RE-PECVD법에 의해 증착된 DLC박막의 결합 특성
최봉근, 신재혁, 안종일, 심광보 한국결정성장학회 한국결정성장학회지 6 Pages
한국결정성장학회 한국결정성장학회지 2004, Vol.14 No.1 27-32 (6 pages)
RF-PECVD 방법을 이용하여 DLC(diamond-like carbon)박막을 메탄-수소 가스 혼합비 및 바이어스 전압에 따라 실리콘 웨이퍼 위에 증착하였다. DLC 박막의 결합구조적 특성 및 기계적 성질은 FT-IR, Raman, 그리고 nano-indenter를 이용하여 평가하였다. 혼합가스내 메탄의 유량과 바이어스 전압이 증가함에 따라 증착속도가 증가하였다. 박막내 탄소의 $sp^3/sp^2$ 결합비와 경도는 반응가스내 수소의 유량 및 바이어스 전압이 증가함에 따라 증가하였다. -
박막트랜지스터에 의해 구동되는 이미지센서
허창우, Hur. Chang-wu 한국해양정보통신학회 한국해양정보통신학회논문지 6 Pages
한국해양정보통신학회 한국해양정보통신학회논문지 2006, Vol.10 No.1 111-116 (6 pages)
PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) 진공 증착장비로 최적의 비정질실리콘 박막을 형성하고, 이 박막을 이용하여 스위칭소자인 박막트랜지스터와 광전변환소자인 광다이오드를 제조한다. 또한 이들을 결합하여 이미지 센서를 형성하고 그 특성 및 동작을 분석하고 최적의 동작특성을 이끌 수 있는 밀착이미지 센서를 제조한다. 제작한 이미지 센서를 측정한 결과 광전변환소자인 photodiode는 암전류의 경우 $~10^{-l2}A$정도였으며, 광전류 $~10^{-9}A$정도로서 Iphoto/Idark ${ge}10^3$ 이상을 이루어 좋은 광전변환... -
Hydrogenated a-Si TFT Using Ferroelectrics
허창우, Hur. Chang-Wu 한국해양정보통신학회 한국해양정보통신학회논문지 6 Pages
한국해양정보통신학회 한국해양정보통신학회논문지 2005, Vol.9 No.3 576-581 (6 pages)
ON 전류를 증가시키고 문턱전압을 낮추며 항복특성을 개선하여 준다. PECVD에 의하여 증착된 a-Si:H는 FTIR 측정 결과 $2,000cm^{-1}$과 $876cm^{-1}$에서 흡수 밴드가 나타났으며, $2,000cm^{-1}$과 $635cm^{-1}$은 $SiH_1$의 stretching과 rocking 모드에 기인한 것이며 $876cm^{-1}$의 weak 밴드는 $SiH_2$ vibration 모드에 의한 것이다. a-SiN:H는 optical bandgap이 2.61 eV이고 굴절률은 $1.8~2.0$, 저항률은 $10^{11}~10^{15}Omega-cm$ 정도로 실험 조건에 따라 약간 다르게 나타난다. 강유전체$(SrTiO_3)$ 박막의 유전상수는...
