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111.

퍼플로오로알킬에틸아크릴레이트/아크릴레이트/그리시딜메타크릴레이트 공중합체의 유화중합 및 그들의 표면특성

윤종국, 이정희, 김지수, 이영희, 이동진, 김한도, Yoon. Jong-Kook, Lee. Jung-Hee, Kim. Ji-Soo, Lee. Young-Hee, Lee. Dong-Jin, Kim. Han-Do 한국청정기술학회 청정기술 7 Pages

한국청정기술학회 청정기술 2012, Vol.18 No.2 170-176 (7 pages)

윤종국, 이정희, 김지수, 이영희, 이동진, 김한도, Yoon. Jong-Kook, Lee. Jung-Hee, Kim. Ji-Soo, Lee. Young-Hee, Lee. Dong-Jin, Kim. Han-Do 저

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플로오로 함유 아크릴 공중합체를 여러 가지 조성의 아크릴 단량체[AA : 에틸 아크릴레이트(EA), 부틸아크릴레이트(BA) 혹은 메틸메타크릴레이트(MMA)], 퍼플로오로알킬에틸 아크릴레이트(PFA) 및 그리시딜메타크릴레이트(GMA)로부터 유화중합법(유화제 : 소디움 도데실 설페이트/노닐페놀에톡실레이트)으로 합성하였다. 아크릴 단량체 중에서 BA를 사용한 경우 가장 낮은 표면에너지를 가진 아크릴 공중합체를 얻을 수 있었으며, 최적량의 단량체 조성(BA: 87 wt%, GMA : 8.7 wt% 및 PFA : 4.3 wt%)에서 얻은 공중합체의 표면에너지/물에...
112.

폴리머 애자 코팅을 위한 스퍼터링 되어진 TiO2 박막의 특성

박용섭, 정호성, 박철민, 박영, 김형철, Park. Y.S., Jung. H.S., Park. C.M., Park. Y., Kim. H.C. 한국진공학회 韓國眞空學會誌 6 Pages

한국진공학회 韓國眞空學會誌 2012, Vol.21 No.3 158-163 (6 pages)

박용섭, 정호성, 박철민, 박영, 김형철, Park. Y.S., Jung. H.S., Park. C.M., Park. Y., Kim. H.C. 저

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본 연구에서는 폴리머 애자의 자가세정 코팅을 위한 소재로써 $TiO_2$ 박막을 실리콘과 유리, 폴리머애자 기판위에 증착하였다. $TiO_2$ 박막은 $TiO_2$ 세라믹 타겟이 부착된 RF 마그네트론 스퍼터링 장치를 이용하여 증착하였다. $TiO_2$ 박막은 스퍼터링의 다양한 공정조건 중 RF 파워의 크기에 따라 100 nm의 두께로 증착하였다. RF 파워에 따라 증착되어진 $TiO_2$ 박막의 접촉각, 표면거칠기등 표면 특성을 확인하였으며, UV-visible등 광학적 특성을 고찰하여, 구조적 특성과의 관계를 고찰하였다.
113.

나노입자 마스크를 이용하여 제작한 초소수성 마이크로-나노 혼성구조

이초연, 윤석본, 장건익, 윤완수, Lee. C.Y., Yoon. S.B., Jang. G.E., Yun. W.S. 한국진공학회 韓國眞空學會誌 7 Pages

한국진공학회 韓國眞空學會誌 2010, Vol.19 No.4 300-306 (7 pages)

이초연, 윤석본, 장건익, 윤완수, Lee. C.Y., Yoon. S.B., Jang. G.E., Yun. W.S. 저

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소수성 고분자를 사용하여 제작한 마이크로구조에 금 나노입자를 마스크로 이용하는 반응성이온식각(RIE: Reactive Ion Etching)을 적용하여 초소수성을 갖는 마이크로-나노 혼성구조를 제작하였다. 소수성 고분자로는 PFPE (perfluoropolyether bisurethane methacrylate)를 사용하였으며 마이크로 단일구조는 PDMS (polydimethylsiloxane) 몰드를 사용하는 스탬핑 방식으로 제작하였다. 다양한 형태로 제작한 PFPE 마이크로 단일구조와 마이크로-나노 혼성구조의 표면 접촉각을 측정하여 표면 미세구조에 따른 소수성의 변화를...
114.

대기압 플라즈마를 이용한 TiO2 광촉매의 효율향상을 위한 표면 개질 연구

조상진, 정충경, 김성수, 부진효, Cho. S.J., Jung. C.K., Kim. S.S., Boo. J.H. 한국진공학회 韓國眞空學會誌 6 Pages

한국진공학회 韓國眞空學會誌 2010, Vol.19 No.1 22-27 (6 pages)

조상진, 정충경, 김성수, 부진효, Cho. S.J., Jung. C.K., Kim. S.S., Boo. J.H. 저

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$TiO_2$의 표면의 친수성을 증가시키기 위하여 dielectric barrier discharge (DBD)에 의해 발생된 대기압 플라즈마 (atmospheric pressure plasma: APP)를 이용 RF power 50~200 W 범위에서 Ar과 $O_2$ 가스를 사용 대기압 플라즈마로 광촉매 표면을 개질하였다. Ar 가스 단독으로 처리한 시료의 접촉각은 20도에서 10도로 감소하였으며, $O_2$ 가스를 반응성 가스로 하여 처리한 경우에는 접촉각이 20도에서 1도 미만으로 감소하였다. 동일한 RF power에서 $O_2$ 플라즈마 처리 시 더 낮은 접촉각을 확인하였는데, 이는 $TiO_2$ 표면과...
115.

SiOC 박막의 화학적 특성과 전기적인 특성에 대한 차이점에 관한 연구

오데레사, Oh. Teresa 한국진공학회 韓國眞空學會誌 5 Pages

한국진공학회 韓國眞空學會誌 2009, Vol.18 No.1 49-53 (5 pages)

오데레사, Oh. Teresa 저

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층간 절연막으로써 연구되고 있는 SiOC 박막의 화학적 변화에 대하여 살펴보았다. SiOC 박막의 형성은 알킬기와 수산기에 의한 극성분자의 조합에 의해 무분극성의 박막을 형성할 수 있고 무분극성에 의한 비정질 구조를 형성함으로써 유전상수의 감소를 유도할수 있다. 박막의 화학적인 특성은 이온의 변화에 의한 결정구조의 변화로 결정할수 있고, 화학적인 변화의 분석은 FTIR에 의한 탄소함량변화로부터 무분극성의 영역을 유추해 내었다. 전기적인 특성은 박막 내에서의 전자의 특성을 알아보는 것으로써 화학적인 특성과 반드시...
116.

탄소를 포함한 절연박막의 접촉각 및 전기적인 특성

오데레사, 김종욱, Oh. Teresa, Kim. Jong-Wook 한국진공학회 韓國眞空學會誌 5 Pages

한국진공학회 韓國眞空學會誌 2008, Vol.17 No.2 117-121 (5 pages)

오데레사, 김종욱, Oh. Teresa, Kim. Jong-Wook 저

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탄소계열의 SiOC 박막은 화학적 증착방법으로 bistrimethylsilylmethane와 산소의 혼합개스를 사용하여 증착하였다. SiOC 박막의 화학적인 특성은 FTIR 분석을 이용하였으며, I-V 측정법을 이용하여 비교하였다. $950sim1200;cm^{-1}$ 영역에서 생기는 결합들은 Si-C 결합, Si-O-C 결합과 Si-O 결합으로 이루어졌으며, SiOC 박막의 누설전류는 탄소함량이 증가함에 따라서 증가하였다. 그리고 누설전류는 Si-O-C 결합의 함량과 유사한 경향성을 나타냈다. FTIR 분석에서 디컨벌류션한 데이터는 SiOC 박막이 3가지 특성이 있는 것을 확인할...
117.

Hot-filament 화학기상 증착법에 의한 탄소나노튜브의 성장 및 표면 특성

최은창, 김정태, 박용섭, 최원석, 홍병유, Choi. Eun-Chang, Kim. Jung-Tae, Park. Yong-Seob, Choi. Won-Seok, Hong. Byung-You 한국진공학회 韓國眞空學會誌 5 Pages

한국진공학회 韓國眞空學會誌 2007, Vol.16 No.3 187-191 (5 pages)

최은창, 김정태, 박용섭, 최원석, 홍병유, Choi. Eun-Chang, Kim. Jung-Tae, Park. Yong-Seob, Choi. Won-Seok, Hong. Byung-You 저

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본 연구에서는 실리콘 웨이퍼 위에 마그네트론 스퍼터링 시스템을 이용하여 Ni 촉매 층을 증착시키고, $NH_3$와 $C_2H_2$ gas를 이용하여 탄소나노튜브를 성장시켰다. Hot-filament 플라즈마 화학기상 증착법으로 탄소나노튜브의 성장 온도는 350, 450, 550, $650^{circ}C$로 변화시켰으며, 성장되어진 탄소나노튜브는 field emission scanning electron microscope(FESEM) 분석을 하여 관찰하였고, 접촉각 측정법을 이용하여 탄소나노튜브 층의 특성을 분석하였다. 결과적으로 성장 온도는 탄소나노튜브의 성장 특성을 변화시키는 중요한...
118.

저에너지 수소 이온빔을 이용한 polytetrafluoroethylene 표면 개질

이정환, 김동환, 여운정, 한영건, 조준식, 김현주, 고석근, Lee. Jung-Hwan, Kim. Dong-Hwan, Yeo. Woon-Jung, Han. Young-Gun, Cho. Jun-Sik, Kim. Hyun-Joo, Koh. Seok-Jeu 한국진공학회 韓國眞空學會誌 7 Pages

한국진공학회 韓國眞空學會誌 2006, Vol.15 No.6 612-618 (7 pages)

이정환, 김동환, 여운정, 한영건, 조준식, 김현주, 고석근, Lee. Jung-Hwan, Kim. Dong-Hwan, Yeo. Woon-Jung, Han. Young-Gun, Cho. Jun-Sik, Kim. Hyun-Joo, Koh. Seok-Jeu 저

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산소 분위기 가스를 사용하였다. 처리된 PTFE와 처리하지 PTFE는 물과의 접촉각 (water contact angle) 측정, SEM 표면 이미지 관찰 등으로 평가하였고, 표면 물성 및 금속 박막과의 접착력을 알아보기 위하여 구리 박막을 증착한 후 반사율 측정 및 접착력 테스트를 수행하였다. 고분자 표면 처리에 많이 사용되는 산소 분위기 가스를 넣어주면 서 아르곤 이온빔 조사를 수행한 경우는 $1 imes10^{16};ions/cm^2$부터 금속과의 접착력이 확보되었으나 SEM표면 관찰 결과 그의 표면이 침상 형상으로 변함을 알 수 있었다. 수소 이온으로...
119.

이온보조반응법에 의한 Polyethylene(PE) 표면의 친수성 증가

석진우, 최성창, 장홍규, 정형진, 최원국, 고석근 한국진공학회 韓國眞空學會誌 6 Pages

한국진공학회 韓國眞空學會誌 1997, Vol.6 No.3 200-205 (6 pages)

석진우, 최성창, 장홍규, 정형진, 최원국, 고석근 저

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위해 접촉각 측정기(contact angle micrometer)를 사용하였으며, 개질된 표면의 화학적 변화를 측정하기 위해 x-ray photoelectron spectroscopy(XPS)를 이용하였다. 표면 개질을 위한 이온 조사량은 $1 imes 10^{14}-1 imes;ions/ extrm{cm}^2$, 산소 가스는 0~4sccm(ml/min.)까지 변화 시켰다. 산소 이온 빔만으로 조사 후 polyethylene 표면과 물과의 접촉각은 $95^{circ}$에서 최대 $62^{circ}$까지 변화하였으며, 산소를 4sccm(ml/min.) 주입하면서 아르곤 이온 빔으로 조사 하면 물과의 접촉각이 최대 $28^{circ}$까지...
120.

마이크로 기둥 구조가 있는 친수성/소수성 표면에서의 겉보기 접촉 각에 대한 연구

유동인, 도승우, 곽호재, 안호선, 김무환, 박현선, Yu. Dong In, Doh. Seung Woo, Kwak. Ho Jae, Ahn. Ho Seon, Kim. Moo Hwan, Park. Hyun Sun 한국정밀공학회 한국정밀공학회지 8 Pages

한국정밀공학회 한국정밀공학회지 2014, Vol.31 No.2 171-178 (8 pages)

유동인, 도승우, 곽호재, 안호선, 김무환, 박현선, Yu. Dong In, Doh. Seung Woo, Kwak. Ho Jae, Ahn. Ho Seon, Kim. Moo Hwan, Park. Hyun Sun 저

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