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자동차 Heatable Windshield용 ITO 박막의 전기 및 광학 특성
임헌남, 이유기, 박종완, Im. Heon-Nam, Lee. Yu-Gi, Park. Jong-Wan 한국재료학회 한국재료학회지 8 Pages
한국재료학회 한국재료학회지 1996, Vol.6 No.6 618-625 (8 pages)
고주파 마그네트론 스퍼터링(RF magnetron sputtering)법을 이용하여 자동차유리 성에 제거용 주석첨가 인듐산화물(indium tin oxide;ITO) 투명저항박막의 증착과 그 전기 및 광학 특성을 연구하였다. 기판온도는 A, T.-30$0^{circ}C$, O2/(Ar+O2)비는 0-0.3로 변화시키며 실험하였다. 기판온도가 높아질수록, 그리고 O2/(Ar+O2)비가 높아질수록 박막의 증착속도는 감소하였다. 또한, 기판온도가 높아질수록 In2O3(400) 방향의 결정성은 감소하고, In2O3(222)와 (400) 피크만이 잔존하였다. 기판온도가 높아질수록 가시광영역의... -
噴霧熱分解 工程에 의한 인듐 酸化物 나노 粉末 製造
유재근, 박시현, 손진군, Yu. Jae-Keun, Park. Si-Hyun, Sohn. Jin-Gun 한국자원리싸이클링학회 資源리싸이클링 : 한국자원리싸이클링학회지 10 Pages
한국자원리싸이클링학회 資源리싸이클링 : 한국자원리싸이클링학회지 2004, Vol.13 No.6 16-25 (10 pages)
인듐 성분을 포함하는 원료용액을 분무열분해 시켜서 평균 입자크기 100 nm 이하의 인듐 산화물 나노 분말을 제조하였으며, 용액의 농도, nozzle tip 크기 및 공기의 유입속도 변화에 따른 생성된 분말들의 특성 변화를 파악하였다. 본 연구는 폐 ITO로부터 나노 크기의 ITO 분말을 제조하기 위한 전 단계 연구로 수행되었다. 원료용액 내의 인듐 성분의 농도가 40 g/l로부터 350 g/l로 증가됨에 따라 생성된 분말의 평균 입자크기는 20~30 nm로부터 50~60 nm로 점점 증가하는 반면 입도분포는 더욱 불균일하게 나타나고 있었으며, XRD... -
MC-50 싸이클로트론을 이용한 위성용 열조절 유기복합재료의 우주환경 영향 연구
김대원, 김동일, 허용학, 양태건, 이호영, 김용협, Kim. Dae-Weon, Kim. Dong-Iel, Huh. Yong-Hak, Yang. Tae-Keun, Lee. Ho-Young, Kim. Yong-Hyup 한국우주과학회 韓國宇宙科學會誌 10 Pages
한국우주과학회 韓國宇宙科學會誌 2005, Vol.22 No.4 441-450 (10 pages)
하나인 2mil ITO(Indium Tin Oxide) coated aluminized KAPTON을 실험 대상으로 선택하였다. 양성자에 의한 단일 우주환경효과를 실험하기 위하여, 한국 원자력의학원의 MC-50 싸이클로트론(cyclotron)을 이용하여 양성자를 조사(irradiation)하였으며, 조사조건은 지구궤도 주변 최고의 양성자 발생기록인 1972년 8월의 최고치 상황을 적용하였다. 조사에너지는 평균 관측에너지인 30MeV으로 고정하였으며, 등가 조사량은 우주노출 시간 1년, 3년, 5년 및 10년을 기준으로 설정하였다. 분석과정은 인장강도를 측정하여 정량적 물성저하를... -
RF 스퍼터와 전자빔 조사를 이용한 ITO/Au/ITO 가스센서 제조 및 특성 평가
허성보, 이학민, 김유성, 채주현, 유용주, 김대일, Heo. Sung-Bo, Lee. Hak-Min, Kim. Yu-Sung, Chae. Ju-Hyun, You. Yong-Zoo, Kim. Dae-Il 한국열처리공학회 열처리공학회지 5 Pages
한국열처리공학회 열처리공학회지 2011, Vol.24 No.2 87-91 (5 pages)
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고주파 마그네트론 스퍼터링 방법으로 제작한 ITO 박막의 표면 형태 및 전기적 특성
권성열, Kwon. Sung-Yeol 한국센서학회 센서학회지 5 Pages
한국센서학회 센서학회지 2006, Vol.15 No.1 71-75 (5 pages)
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PPV를 이용한 유기 박막 EL 소자의 전기-광학적특성
김민수, 박이순, 박세광, Kim. Min-Soo, Park. Lee-Soon, Park. Se-Kwang 한국센서학회 센서학회지 6 Pages
한국센서학회 센서학회지 1998, Vol.7 No.2 97-102 (6 pages)
소자는 단층구조(ITO(indium tin oxide)PPV/Mg), 이층구조 (ITO/PVK(poly(N-vinylcarbazole))/PPV)Mg와 ITO/PPV/Polymer matrix+PBD/Mg) 그리고 삼층구조 (ITO/PVK/PPV/PS(polystyrene)+PBD(butyl-2-(4-biphenyl)-5-(4-tert-butylphenyl-1,3,4-oxadiazole))/Mg)를 가지며, 그들의 전기광학적 특성을 상호 비교하였다. 이층구조(ITO/PPV)Polymer matrix+PBD/Mg)에서는 PMMA (poly(methyl methacrylate)), PC(polycarbonate) PS 와 MCH(side chain liquid crystalline homopolymer)를 고분자 메트릭스로 사용하였으며, 특히, PS 고분자 메트... -
Q.C.A. 에 의한 폴리피롤 전기중합막의 동특성 분석
장상목, 김종민, 장용근, Chang. Sang-Mok, Kim. Jong-Min, Chang. Yong-Keun 한국센서학회 센서학회지 9 Pages
한국센서학회 센서학회지 1996, Vol.5 No.4 71-79 (9 pages)
Indium tin oxide(ITO) 전극을 스파터링 법으로 피막시킨 9 MHz 수정진동자를 작용전극으로 사용하여 피롤을 전기화학적으로 중합시키면서, 수정진동자의 공진주파수 변화로 부터 중합량을 분석하고 공진저항의 변화로부터 막의 점탄성 변화를 분석함으로써 중합막의 유변학적 변화를 해석하였다. 본 실험에서 피롤막이 중합될 때 초기에는 탄성막을 형성하다가 점차 점탄성막으로 변화하지만 어느 순간에 다시 탄성막 점탄성막의 변화를 반복함을 확인하였다. 본 연구결과, 수정진동자를 이용하여 전기화학적 중합막의 유변학적 동특성을... -
n-ITO/p-PSL 이종접합형 광검출 소자의 제조 및 그 특성
김항규, 신장규, 이종현, 송재원, Kim. Hang-Kyoo, Shin. Jang-Kyoo, Lee. Jong-Hyun, Song. Jae-Won 한국센서학회 센서학회지 6 Pages
한국센서학회 센서학회지 1995, Vol.4 No.1 3-8 (6 pages)
ITO(indium tin oxide)와 PSL(porous silicon layer)을 이용하여 n-ITO/p-PSL 이종접합형 광검출 소자를 실리콘 기판상에 제조하였다. 실리콘 질화막과 Ni-Cr/Au를 이용하여 선택적으로 양극반응을 시켰으며, 각 소자를 메사구조로 정의하여 소자간을 격리하였고 ITO를 이용하여 소자의 열화문제를 억제시켰다. 제조된 소자에 백색광을 $0{sim}3000Lux$까지 변화시키면서 얻은 I-V 특성으로부터 광전류가 입사된 광량에 선형적으로 비례함을 알았다. 제조된 소자는 약 -40V의 역방향 바이어스까지 안정되게 동작하였으며 암전류 밀도가 약... -
R.F. magnetron sputtering 법으로 제작한 ITO 박막의 특성
정운조, 박계춘, 유용택, Jeong. W.J., Park. G.C., Yoo. Y.T. 한국센서학회 센서학회지 7 Pages
한국센서학회 센서학회지 1995, Vol.4 No.2 51-57 (7 pages)
Indium Tin Oxide (ITO) 박막을 $In_{2}O_{3}$(90mol%) : $SnO_{2}$(10mo1%)의 조성비를 가지는 타겟을 사하여 rf 마그네트론 스퍼터링 법으로 제작하였다. 기판온도 100, 200, 300, 400, $500^{circ}C$ 와 열처리 온도 300, 400, $500^{circ}C$로 변화시켜 주면서 제작하였으며 X-ray 회절 패턴, 전기적 특성, 투과도, SEM 사진 등으로 분석하였다. 그 결과 기판온도를 증가시킬수록 결정성, 전기 전도도와 투과도가 향상되었다. 그러나 공기 중에서 열처리 온도를 증가함에 따라 도리어 전도도는 감소하였다. 기판온도 $300^{circ}C$...


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