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간행물
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- 우리말연구(12)
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움직이는 격자계를 이용한 유도탄의 비정상 분리 유동해석
강경태, 이복직, 안창수, Kang. Kyoung-Tai, Lee. Bok-Jik, Ahn. Chang-Soo 한국군사과학기술학회 韓國軍事科學技術學會誌 6 Pages
한국군사과학기술학회 韓國軍事科學技術學會誌 2007, Vol.10 No.2 47-52 (6 pages)
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RF 마그네트론 스퍼터링 방법을 사용해 증착된 Al이 도핑 된 ZnO 박막의 H2/(Ar + H2) 가스 비율에 따른 특성
김좌연, 한정수, Kim. Jwa-Yeon, Han. Jung-Su 한국결정성장학회 한국결정성장학회지 5 Pages
한국결정성장학회 한국결정성장학회지 2012, Vol.22 No.3 122-126 (5 pages)
$Al_2O_3$ 2 wt%가 도핑 된 ZnO(AZO) 타겟으로RF 스퍼터링 장비를 사용하여 $H_2/(Ar+H_2)$ 가스 비율에 따른 AZO 박막을 증착 후, 이들 박막의 특성을 조사하였다. AZO 박막은 $200^{circ}C$, $2{ imes}10^{-2}$ 공정조건에서 $H_2/(Ar+H_2)$ 가스 비율을 변화시키면서 증착하였다. AZO박막증착 중 수소가스의 첨가는 박막의 특성에 영향을 미쳤다. $H_2/(Ar+H_2)$ 가스 비율이 2.5 %일 때 비 저항(${sim}9.21{ imes}10^{-4};{Omega}cm$)과 전자 이동도(${sim}17.8;cm^2/Vs$)는 각각 최소값과 최대값을 나타내었다. $H_2/(Ar+H_2)$ 가스...