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- 자원리싸이클링 : 한국자원리싸이클링학회지(15)
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- BULLETIN OF THE KOREAN CHEMICAL SOCIETY(13)
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- KOREAN JOURNAL OF MEDICAL EDUCATION(9)
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- JOURNAL OF KOREAN BIOLOGICAL NURSING SCIENCE(8)
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Pb(Mn1/3Nb2/3)O3-PbZrO3-PbTiO3 세라믹스의 압전특성에 미치는 Al2O3의 영향
김미정, 김재창, 김영민, 어순철, 김일호, Kim. Mi-Jung, Kim. Jae-Chang, Kim. Young-Min, Ur. Soon-Chul, Kim. Il-Ho 한국재료학회 한국재료학회지 5 Pages
한국재료학회 한국재료학회지 2005, Vol.15 No.7 453-457 (5 pages)
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Pb(Ni1/3Nb2/3)O3-PZT 세라믹스 고용체에서 과잉 NiO첨가에 따른 압전특성 변화
최용길, 손영진, 권준철, 조경원, 윤만순, 김일호, 김영민, 어순철, Choi. Y. G., Son. Y. J., Kweon. J. C., Cho. K. W., Yoon. M. S., Kim. I. H., Kim. Y. M., Ur. S. C. 한국재료학회 한국재료학회지 6 Pages
한국재료학회 한국재료학회지 2005, Vol.15 No.6 413-418 (6 pages)
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강유전막의 잔류 분극 상태와 내부 전계가 Pt/Pb(Zr,Ti)O3/Pt 커패시터의 수소 열화 특성에 미치는 영향
김동천, 이강운, 이원종, Kim. Dong-Cheon, Lee. Gang-Un, Lee. Won-Jong 한국재료학회 한국재료학회지 7 Pages
한국재료학회 한국재료학회지 2002, Vol.12 No.1 75-81 (7 pages)
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2단계 증착법으로 제조된 Pb(Zr, Ti)O$_3$압전 박막의 전기적 특성 및 잔류 응력에 관한 연구
김혁환, 이강운, 이원종, 남효진, Kim. Hyuk-Hwan, Lee. Kang-Woon, Lee. Won-Jong, Nam. Hyo-Jin 한국재료학회 한국재료학회지 7 Pages
한국재료학회 한국재료학회지 2001, Vol.11 No.9 769-775 (7 pages)
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$Pb(Zr,Ti)O_3$ 강유전체 박막 이력곡선의 변형에 관한 연구
이은구, 이종국, 이재갑, 김선재, Lee. Eun-Gu, Lee. Jong-Guk, Lee. Jae-Gap, Kim. Seon-Jae 한국재료학회 한국재료학회지 4 Pages
한국재료학회 한국재료학회지 2000, Vol.10 No.5 360-363 (4 pages)
다양한 Zr/Ti 비율을 갖고 있는 강유전체 PZT박막을 졸-겔 법으로 증착하였고 상부 백금전극의 제조방법과 열처리온도의 변화에 따라 강유전체 특성을 측정하여 이력곡선의 변형 원인을 조사하였다. Pt/PZT/Pt 캐패시터는 상부 백금전극을 반응성 이온 식각(RIE) 하는 과정에서 생성된 dc plasma 전압에 의하여 양의 방향으로 분극되었고 도메인 계면에 포획된 전하에 의해 내부전장이 발생되었다. PZT 박막은 sputtering으로 상부전극을 증착하는 과정에서 이력곡선의 중간에 잘룩하게 되는 시효현상이 관찰되었다. 상부전극을 제작한 후... -
RF 스퍼터링에 의해 MgO/Si 기판위에 증착된 Pb(Zr, Ti)$ extrm{O}_3$ 강유전체 박막의 특성연구
장호정, 서광종, 장지근, Jang. Ho-Jeong, Seo. Gwang-Jong, Jang. Ji-Geun 한국재료학회 한국재료학회지 6 Pages
한국재료학회 한국재료학회지 1998, Vol.8 No.12 1170-1175 (6 pages)
하부전극 없이 MgO 중간층을 갖는 고농도로 도핑된 Si(100) 기판(MgO/Si)위에 고주파 마그네트론 스퍼터링 방법으로 as-deposited PZT 박막을 증착한후 $650^{circ}C$ 온도에서 RTA 후속열처리를 실시하였다. 제작된 PZT 박막시료에 대해 MgO 중간층의 두께 및 후속열처리에 따른 결정학적, 전기적특성을 조사하였다. XRD 분석결과 MgO층이 전혀 증착되지 않은 bare Si 기판위에 증착된 PZT 시료는 pyrochlore 결정상만이 나타났으나 50 두께의 M gO층 위에 증착된 PZT/MgO/Si 박막시료는 전형적인 perovskite 결정구조를 나타내었다.... -
2단계 증착법으로 제조된 Pb(Zr,Ti)$ extrm{O}_3$ 박막의 특성
남효진, 노광수, 이원종, Nam. Hyo-Jin, No. Gwang-Su, Lee. Won-Jong 한국재료학회 한국재료학회지 6 Pages
한국재료학회 한국재료학회지 1998, Vol.8 No.12 1152-1157 (6 pages)
$460~540^{circ}C$범위에서 $Pt/Ti/SiO_2$/Si 기판위에 PZT 박막을 증착하였다. Perovskite상의 핵형성을 위해 Pb 휘발이 적은 저온($480^{circ}C$)에서 짧은 시간 동안 PZT 박막을 증착한 후 Pb가 PBT 박막내에 과잉으로 함유되는 것을 억제하기 위하여 증착 온도를 증가시켜 박막을 증착하는 2단계 증착법을 사용한 결과 54$0^{circ}C$의 고온에서도 perovskite 단일상과 화학양론비에 가까운 조성을 얻을 수 있었다. 2단계 증착법으로 제조된 PZT 박막은 우수한 전기적 특성을 나타내었으며 후속 RTA 처리로 더욱 특성을 향상시킬 수... -
$ extrm{LaCoO}_{3}/ extrm{Pb(Zr,Ti)O}_{3}/ extrm{(La,Sr)CoO}_{3}$다층구조에서의 강유전체 전계효과에 의한 LaCoO$_{3}$의 전항변조
김선웅, 이재찬, Kim. Seon-Ung, Lee. Jae-Chan 한국재료학회 한국재료학회지 5 Pages
한국재료학회 한국재료학회지 1997, Vol.7 No.12 1058-1062 (5 pages)
LaCoO$_{3}$/Pb(Zr, Ti)O$_{3}$(La, Sr)CoO$_{3}$ 다층구조를 LcOo$_{3}$가 기판 위에 pulsed laser deposition(PLD)법으로 에피택셜하게 성장시켰다. 이러한 다층구조에서는 전도성 채널층으로 Si대신 반도성 LaCoO$_{3}$가 사용 되었다. LaCoO$_{3}$(LCO)의 비저항은 산소 분위기에 의하여 변화되었는데 특히 증착시 산소 분위기에 의존함을 보였다. LCO의 비저항은 0.1-100Ωcm범위에서 변화되었다. LCO층에 유도되는 강유전체 전계효과는 Pb(Zr, Ti)O$_{3}$(PZT)의 분극 상태에 따른 LCO의 저항 변화를 측정함으로써 관찰되었는데... -
우선방위를 갖는 Pb(Zr, Ti)$ extrm{O}_3$ 박막의 강유전체 특성에 관한 연구
고가연, 박진성, 이종국, 이은구, 이우선, 이재갑, Go. Ga-Yeon, Park. Jin-Seong, Lee. Jong-Guk, Lee. Eun-Gu, Lee. U-Seon, Lee. Jae-Gap 한국재료학회 한국재료학회지 4 Pages
한국재료학회 한국재료학회지 1997, Vol.7 No.8 646-649 (4 pages)
(111)과 (100)우선방위의 정방정계의 Pb(Zr$_{0.2}$, Ti$_{0.8}$)O$_{3}$박막의 강유전체 특성과 신뢰성특성을 상부 전극의 두께를 변화시키면서 연구하였다. (111)우선방위의 박막이 (100)우선방위의 박막보다 큰 잔류분극과 항전계 값을 갖고 있어 정방형의 이력곡선 특성을 보여주었다. 스위칭전하의 상부전극의 두께 의존성은 상부전극을 열처리 할 때 유도되는 압축응력에 의한 stress효과로 설명할 수 있었다. 상부전극의 두께가 얇은 박막은 초기에는 작은 스위칭 전하를 갖고 있으나 스위칭 횟수가 증대됨에 따라 기계적인 응력의... -
ECR 플라즈마 화학기상증착법에 의한 0.12nm $ extrm{SiO}_2$ 환산두계를 갖는 Pb(Zr, Ti)$ extrm{O}_3$유전박막의제조
김재환, 김용일, 위당문, 이원종, Kim. Jae-Hwan, Kim. Yong-Il, Wi. Dang-Mun, Lee. Won-Jong 한국재료학회 한국재료학회지 5 Pages
한국재료학회 한국재료학회지 1997, Vol.7 No.8 635-639 (5 pages)
ECR-PECVD법을 사용하여 450-49$0^{circ}C$이하의 온도에서 Pt/SiO$_{2}$/Si기판 위에 PZT 박막을 증착하였다. 기판 온도가 46$0^{circ}C$ 이하일 경우에는 페로브스이트 상과 제2상으로 이루어진 박막이 성장하였으며 기판온도가 47$0^{circ}C$이상일 때에는 페로브스카이트 단일상의 PZT 박막이 성장하였다. 49$0^{circ}C$에서 매우 얇은 페로브스카이트의 PZT 박막을 증착한 후 $650^{circ}C$에서 1분간 raped thermal annealing(RTA) 처리한 결과 박막의 조성과 결정성에는 거의 변화가 없었으나 박막의 전하 저장 밀도는 크게...