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- 한국치위생학회(1)
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- 한국해양환경공학회(1)
- 해양환경안전학회(1)
간행물
- THE KOREAN JOURNAL OF PHYSIOLOGY & PHARMACOLOGY(299)
- CARBON LETTERS(235)
- 폴리머(137)
- 한국재료학회지(99)
- 한국결정성장학회지(85)
- JOURNAL OF VETERINARY SCIENCE(79)
- 한국세라믹학회지(73)
- 멤브레인(56)
- 한국진공학회지(53)
- 대한약리학잡지(52)
- 인간발달연구(48)
- 전기화학회지(42)
- 열환경공학(38)
- THE PLANT PATHOLOGY JOURNAL (35)
- 교육학연구(35)
- 대한생리학회지(34)
- 대한환경공학회지(30)
- 교육행정학연구(29)
- 보존과학회지(28)
- 자원리싸이클링 : 한국자원리싸이클링학회지(28)
- 한국보육지원학회지(28)
- 마이크로전자 및 패키징 학회지(27)
- 교육사회학연구(26)
- 한국광물학회지(25)
- 대한화학회지(24)
- 신경정신의학(24)
- 청정기술(24)
- 한국식품과학회지(24)
- 콘크리트학회논문집(23)
- 한국자기학회지(22)
- KOREAN CHEMICAL ENGINEERING RESEARCH(20)
- 자원환경지질(20)
- 한국유화학회지(20)
- 대한치과보존학회지(19)
- 예술인문사회융합멀티미디어논문지(19)
- 한국식품영양과학회지(19)
- KOREAN JOURNAL OF VETERINARY RESEARCH(구 대한수의학회지)(18)
- 우리말연구(17)
- ELASTOMERS AND COMPOSITES(16)
- 대한기계학회론문집. TRANSACTIONS OF THE KOREAN SOCIETY OF MECHANICAL ENGINEERS. A. A(16)
- 복합재료 : 한국복합재료학회지(16)
- 센서학회지(16)
- 식물병연구(16)
- 엘라스토머(16)
- 한국교원교육연구(15)
- THE KOREAN JOURNAL OF ORTHODONTICS(14)
- 아동과 권리(14)
- BULLETIN OF THE KOREAN CHEMICAL SOCIETY(13)
- 공업화학(13)
- 교과교육학연구(12)
- 대한치과보철학회지(12)
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- 한국웰니스학회지(12)
- 한국지반공학회논문집(12)
- ANDRAGOGY TODAY(11)
- FIBERS AND POLYMERS(11)
- 교육치료연구(11)
- 대한소아치과학회지(11)
- 전기전자재료학회논문지(11)
- 한국결정학회지(11)
- 한국생물공학회지(11)
- 한국전자현미경학회지(11)
- 한국초등체육학회지(11)
- 고문화(10)
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- 에너지공학(10)
- 광고PR실학연구(9)
- 동아시아식생활학회지(9)
- 한국공작기계학회논문집(9)
- 한국안광학회지(9)
- 한국염색가공학회지(9)
- 한국환경과학회지(9)
- JOURNAL OF DENTAL IMPLANT RESEARCH(8)
- 기업교육과 인재연구(8)
- 요업학회지(8)
- 한국열환경공학회 학술대회지(8)
- 한국패류학회지(8)
- ENVIRONMENTAL ENGINEERING RESEARCH(7)
- 교육논총(7)
- 교육방법연구(7)
- 목재공학(7)
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- 분석과학(7)
- 전자공학회논문지. JOURNAL OF THE INSTITUTE OF ELECTRONICS ENGINEERS OF KOREA. SD, 반도체(7)
- 한국응용곤충학회지(7)
- 한국장애인복지학(7)
- 한국조리과학회지(7)
- 한국화재소방학회 논문지= JOURNAL OF KOREAN INSTITUTE OF FIRE SCIENCE & ENGINEERING(7)
- JOURNAL OF KOREAN BIOLOGICAL NURSING SCIENCE(6)
- JOURNAL OF MECHANICAL SCIENCE AND TECHNOLOGY(6)
- 여가학연구(6)
- 윤활학회지(6)
- 펄프 종이기술(6)
- 한국고고학보(6)
- 한국광학회지(6)
- 한국습지학회지(6)
- 한국식품저장유통학회지(6)
- 한국아동심리치료학회지(6)
- 한국어업기술학회지(6)
- 한국잠사학회지(6)
- 한국추진공학회지(6)
- FOOD SCIENCE AND BIOTECHNOLOGY(5)
- KOREAN JOURNAL OF CROP SCIENCE(5)
- KOREAN JOURNAL OF MEDICAL EDUCATION(5)
- 공학논문집 : 배재대학교(5)
- 대한기계학회논문집(5)
- 대한기계학회론문집. TRANSACTIONS OF THE KOREAN SOCIETY OF MECHANICAL ENGINEERS. B. B(5)
- 대한치주과학회지(5)
- 미생물학회지(5)
- 복지상담교육연구(5)
- 비파괴검사학회지(5)
- 시큐리티연구(5)
- 유변학(5)
- 전기전자재료학회지= THE JOURNAL OF THE KOREAN INSTITUTE OF ELECTRICAL AND ELECTRONIC MATERIAL ENGINEERS(5)
- 지질공학(5)
- 한국가스학회지(5)
- 한국건축시공학회지(5)
- 한국고고학전국대회 발표문(5)
- 한국정밀공학회지(5)
- 한국콘텐츠학회논문지(5)
- 한국현미경학회지(5)
- 한국환경농학회지(5)
- ASIA-PACIFIC JOURNAL OF RESEARCH IN EARLY CHILDHOOD EDUCATION(4)
- AUDIOLOGY AND SPEECH RESEARCH(4)
- PHYSICAL THERAPY REHABILITATION SCIENCE(4)
- THE KOREAN JOURNAL OF PARASITOLOGY(4)
- 대한치과기공학회지(4)
- 대한화장품학회지(4)
- 방사성폐기물학회지(4)
- 생명과학회지(4)
- 전자공학회논문지(4)
- 태양에너지(4)
- 한국교육사회학회 학술대회자료집(4)
- 한국농공학회논문집(4)
- 한국대기환경학회지(4)
- 한국수소 및 신에너지학회 논문집(4)
- 한국식품영양학회지(4)
- 한국안전학회지(4)
- 한국의류학회지(4)
- 한국지구과학회지(4)
- 한국토목섬유학회 논문집(4)
- 헬스커뮤니케이션연구(4)
- COMPOSITES RESEARCH(3)
- INTERNATIONAL JOURNAL OF PRECISION ENGINEERING AND MANUFACTURING(3)
- JOURNAL OF PLANT BIOLOGY(3)
- KSBB JOURNAL(3)
- 가족과 가족치료(3)
- 기생충학잡지(3)
- 대한용접학회지(3)
- 대한위생학회지(3)
- 대한토목학회논문집(3)
- 디지털정책연구(3)
- 박물관학보(3)
- 소성가공(3)
- 의공학회지(3)
- 전기학회논문지. THE TRANSACTIONS OF THE KOREAN INSTITUTE OF ELECTRICAL ENGINEERS. C/ C, 전기물성-응용부문(3)
- 전기학회논문지= THE TRANSACTIONS OF THE KOREAN INSTITUTE OF ELECTRICAL ENGINEERS(3)
- 접착 및 계면(3)
- 조명-전기설비학회논문지(3)
- 종교교육학연구(3)
- 지하수토양환경(3)
- 창의력교육연구(3)
- 통합교육연구(3)
- 한국구조물진단유지관리공학회 논문집(3)
- 한국기계가공학회지(3)
- 한국농화학회지(3)
- 한국동력기계공학회지(3)
- 한국동물자원과학회지(3)
- 한국보건기초의학회지(3)
- 한국산업정보학회논문지(3)
- 한국수산학회지: BULLETIN OF THE KOREAN FISHERIES SOCIETY(3)
- 한국식생활문화학회지(3)
- 한국연소학회지(3)
- 한국음악치료학회지(3)
- 한국인간발달학회 학술대회지(3)
- 한국자동차공학회논문집(3)
- 한국잡초학회지(3)
- 한국지반환경공학회논문집(3)
- 한국철도학회 논문집(3)
- 한국표면공학회지(3)
- 핵심역량교육연구(3)
- 환경생물(3)
- ADVANCES IN MATERIALS RESEARCH(2)
- CORROSION SCIENCE AND TECHNOLOGY(2)
- EASTWEST EDUCATION (2)
- JOURNAL OF FISHERIES SCIENCE AND TECHNOLOGY(2)
- JOURNAL OF MAGNETICS(2)
- KSTLE INTERNATIONAL JOURNAL(2)
- MYCOBIOLOGY(2)
- PACIFIC EARLY CHILDHOOD EDUCATION RESEARCH ASSOCIATION ANNUAL CONFERENCE(2)
- PSYCHIATRY INVESTIGATION(2)
- THE ASIAN JOURNAL ON QUALITY(2)
- THE JOURNAL OF ADVANCED PROSTHODONTICS(2)
- 경영 과학(2)
- 교류분석상담연구(2)
- 교육혁신연구(2)
- 대한건축학회논문집 : JOURNAL OF THE ARCHITECTURAL INSTITUTE OF KOREA : STRUCTURE & CONSTRUCTION / 구조계(2)
- 대한인간공학회지(2)
- 대한한방비만학회지(2)
- 디지털콘텐츠학회 논문지(2)
- 미용산업연구(2)
- 반도체및디스플레이장비학회지(2)
- 산업미생물학회지(2)
- 산업안전학회지(2)
- 식물분류학회지(2)
- 연구논문집 : 한국기계연구원(2)
- 음악교육연구(2)
- 전기학회논문지. THE TRANSACTIONS OF THE KOREAN INSTITUTE OF ELECTRICAL ENGINEERS. P(2)
- 전자공학회논문지. JOURNAL OF THE INSTITUTE OF ELECTRONICS ENGINEERS OF KOREA. IE. 산업전자(2)
- 전자공학회논문지. JOURNAL OF THE KOREAN INSTITUTE OF TELEMATICS AND ELECTRONICS. T(2)
- 터널과 지하공간: 한국암반공학회지(2)
- 특수교육교과교육연구(2)
- 품질경영학회지(2)
- 학습장애연구(2)
- 한국건설순환자원학회논문집(2)
- 한국교원교육학회 학술대회자료집(2)
- 한국군사회복지학(2)
- 한국동물분류학회지(2)
- 한국방사선학회 논문지(2)
- 한국보육지원학회 학술대회지(2)
- 한국보훈논총(2)
- 한국사회복지교육(2)
- 한국산업안전학회지(2)
- 한국식품조리과학회지(2)
- 한국양식학회지(2)
- 한국어병학회지= JOURNAL OF FISH PATHOLOGY(2)
- 한국조리학회지(2)
- 한국항공우주학회지(2)
- 한국해양정보통신학회논문지(2)
- ADVANCES IN AIRCRAFT AND SPACECRAFT SCIENCE(1)
- ADVANCES IN NANO RESEARCH(1)
- ANIMAL CELLS AND SYSTEMS(1)
- ANIMAL SYSTEMATICS, EVOLUTION AND DIVERSITY : ASED(1)
- BIOTECHNOLOGY AND BIOPROCESS ENGINEERING(1)
- BRAIN & LEARNING(1)
- CURRENT RESEARCH ON AGRICULTURE AND LIFE SCIENCES(1)
- HORTICULTURE, ENVIRONMENT, AND BIOTECHNOLOGY(1)
- INFORMATION SYSTEMS REVIEW(1)
- INTEGRATIVE BIOSCIENCES(1)
- INTERACTION AND MULTISCALE MECHANICS(1)
- INTERNATIONAL JOURNAL OF AUTOMOTIVE TECHNOLOGY(1)
- INTERNATIONAL JOURNAL OF CONCRETE STRUCTURES AND MATERIALS(1)
- INTERNATIONAL JOURNAL OF INDUSTRIAL ENTOMOLOGY(1)
- INTERNATIONAL JOURNAL OF KOREAN WELDING SOCIETY(1)
- INTERNATIONAL JOURNAL OF MARITIME INFORMATION AND COMMUNICATION SCIENCES(1)
- JOINT CONFERENCE ON SATELLITE COMMUNICATIONS(1)
- JOURNAL OF ELECTRICAL ENGINEERING & TECHNOLOGY(1)
- JOURNAL OF FOOD SCIENCE AND NUTRITION(1)
- JOURNAL OF KOREAN DENTAL SCIENCE(1)
- JOURNAL OF NUCLEAR FUEL CYCLE AND WASTE TECHNOLOGY(1)
- JOURNAL OF NUTRITION AND HEALTH(1)
- JOURNAL OF PHARMACOPUNCTURE(1)
- JOURNAL OF VETERINARY CLINICS(1)
- KIEP 연구보고서(1)
- KOREAN JOURNAL OF BIOLOGICAL SCIENCES(1)
- KOREAN JOURNAL OF DIGITAL IMAGING IN MEDICINE : KJDIM(1)
- KOREAN JOURNAL OF ENTOMOLOGY(1)
- KOREAN JOURNAL OF SOIL SCIENCE AND FERTILIZER(1)
- KSME INTERNATIONAL JOURNAL(1)
- LHI JOURNAL OF LAND, HOUSING, AND URBAN AFFAIRS(1)
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- NUCLEAR ENGINEERING AND TECHNOLOGY : AN INTERNATIONAL JOURNAL OF THE KOREAN NUCLEAR SOCIETY(1)
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- THE JOURNAL OF THE ACOUSTICAL SOCIETY OF KOREA(1)
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- 자연 과학 논문집 : 배재대학 첨단과학연구소(1)
- 재활치료과학(1)
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- 정보과학회논문지. JOURNAL OF KIISE. 소프트웨어 및 응용(1)
- 정보과학회논문지. JOURNAL OF KIISE. 정보통신(1)
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- 정보처리논문지(1)
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- 정보처리학회논문지. THE KIPS TRANSACTIONS. PART D. PART D(1)
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-
UV-NIL(Ultraviolet-Nano-Imprinting-Lithography) 방법을 이용한 나노 패터닝기술
심영석, 정준호, 손현기, 신영재, 이응숙, 최성욱, 김재호 한국진공학회 韓國眞空學會誌 7 Pages
한국진공학회 韓國眞空學會誌 2004, Vol.13 No.1 39-45 (7 pages)
사이에서 발생하는 점착현상(adhesion)을 방지하고자 그 표면에 Fluoroalkanesilane(FAS) 표면처리를 하였다. 웨이퍼의 평탄도를 개선하고 친수(hydrophilic) 상태의 표면을 만들기 위해 그 표면에 평탄화층을 스핀코팅하였고, 1 nl의 분해능을 가진 디스펜서(dispenser)를 이용하여 레지스트 액적을 도포하였다. 스템프 상의 패턴과 레지스트에 임프린트된 패턴은 SEM, AFM 등을 이용하여 측정하였으며, EVG620-NIL 장비를 이용한 임프린팅 실험에서 370 nm - 1 um 크기의 다양한 패턴을 가진 스탬프의 패턴들이 정확하게 레지스트에... -
n-type과 p-type 다공성 실리콘의 구조와 광학적 특성에 관한 연구
박현아, 오재희, 박동화, 안화승, 태원필, 이종무 한국진공학회 韓國眞空學會誌 6 Pages
한국진공학회 韓國眞空學會誌 2003, Vol.12 No.4 257-262 (6 pages)
실리콘 (PS)의 구조에 따른 광학적 및 전기적 특성을 조사하였다. 먼저 화학적 에칭에 의하여 다공성 실리콘 시편을 준비했다. 이 시편의 미세구조의 특징을 주로 SEM, AFM, XRD 분석에 의하여 관찰하였으며 그들의 광학적 화학적 특성을 PL과 FTIR을 통해 측정하였다. n-type다공성 실리콘의 상온 PL파장은 p-type 다공성 실리콘이 남색 영역 (400-650 nm)임에 반해 500-650 nm로 이동함을 알 수 있었다. 또한 PS층 위에 ∼40 nm 두께의 반투명한 Cu박막을 rf 스퍼터링법으로 증착하여 PS내의 pore를 Cu로 충전한 시편의 I-V 특성과 EL... -
다층 리지스트 및 화합물 반도체 기판 구조에서의 전자 빔 리소그래피 공정을 위한 몬테 카를로 시뮬레이션 모델 개발
한국진공학회 韓國眞空學會誌 2003, Vol.12 No.3 182-192 (11 pages)
소자 제작 및 개발을 위하여 다층 리지스트 및 다원자 기판 구조에서 전자빔 리소그래피 공정을 분석할 수 있는 새로운 몬테 카를로 시뮬레이션 모델을 개발하였다. 전자빔에 의해 다층 다원자 타겟 기판 구조에 전이되는 에너지를 정확하고 효율적으로 계산하기 위하여 다층 리지스트 및 다층 다원자 기판 구조에서 시뮬레이션 가능하도록 새로이 모델링하였다. 본 논문에서 제안 개발된 모델을 사용하여 PHEMT 소자의 전자빔 리소그래피에 의한 T-게이트 형성 공정을 시뮬레이션하고 SEM측정 결과와 비교 분석하여 타당성을 검증하였다. -
다공성 실리콘위에 증착된 Cu 박막의 구조적 물리적 특성
홍광표, 권덕렬, 박현아, 이종무 한국진공학회 韓國眞空學會誌 7 Pages
한국진공학회 韓國眞空學會誌 2003, Vol.12 No.2 123-129 (7 pages)
전류밀도를 사용하여 전해 에칭법으로 양극 산화하여 제작하였다. PS층과 Cu박막의 미세구조를 분석하기 위하여 SEM, AFM 그리고 XRD 분석을 시행하였다. AFM 분석결과 Cu 박막의 RMS roughness 값은 약 1.47nm로 Volmer-Weber 유형의 결정립 성장을 보였으며, 결정립의 성장은 (111) 배향성을 나타냈다. PS층의 PL 스펙트럼은 blue green 영역에서 관찰되었고, Cu 박막 증착 후 0.05eV의 blue shift가 나타났으며, 약간의 강도저하를 보였다. PS/Cu접합구조의 FTIR스펙트럼은 주 피크변화는 없으나 전반적인 강도의 감소를 보였다. I-V... -
PECVD에 의해 작성된 탄소계 박막의 전계전자방출특성에 대한 증착온도 의존성에 관한 연구
류정탁, 백양규, 이형주 한국진공학회 韓國眞空學會誌 5 Pages
한국진공학회 韓國眞空學會誌 2003, Vol.12 No.1 35-39 (5 pages)
그러나 증착온도가 $500^{circ}C$로부터 $600^{circ}C$로 증가함에 따라 문턱전압은 17 V/$mu extrm{m}$에서 10 V/$mu extrm{m}$으로 감소하였으며 $800^{circ}C$에서는 문턱전압이 B V/$mu extrm{m}$로 크게 개선되었다. 박막의 표면형태, 구조적인 특징과 전계전자방출특성의 관계를 조사하기 위해서 라만 스펙트럼과 주사형전자현미경 (scanning electron microscopy : SEM)을 사용하였다. 박막의 물리적, 화학적, 특성은 증착온도에 매우 의존하며 이들 특성들은 전계전자방출특성에 큰 영향을 미친다는 사실을 발견했다. -
공정변수와 후속 열처리가 저압화학증착 다결정 실리콘 박막의 특성에 미치는 영향
황완식, 최승진, 이인규 한국진공학회 韓國眞空學會誌 5 Pages
한국진공학회 韓國眞空學會誌 2002, Vol.11 No.4 225-229 (5 pages)
온도에서 실리콘 박막을 제작하였다. 온도에 따른 천이온도를 살펴보았으며, 비정질로 제작된 실리콘 박막을 $900^{circ}C$와 $1100^{circ}C$에서 열처리하였다. 제작된 박막에 대해서 XRD, SEM, ellipsometer, $Tektak^3$, Tencer FLX-2320등 그 외 장비를 사용하여, 박막의 결정 방향, 표면 거칠기, 활성화 에너지, 잔류 응력 등을 조사하였다. 본 실험을 통해 $560^{circ}C$에서 비정질로 증착시키고 $900^{circ}C$ -$1100^{circ}C$ 열처리 통해 얻은 다결정실리콘 박막은 처음부터 다결정으로 제작한 박막에 비해 낮은 잔류 응력과... -
ALD법으로 증착한 TiN막의 특성
김재범, 홍현석, 오기영, 이종무 한국진공학회 韓國眞空學會誌 7 Pages
한국진공학회 韓國眞空學會誌 2002, Vol.11 No.3 159-165 (7 pages)
관하여 조사하였다. 최적 공정조건에서 TiN막의 성장률은 cycle당 두께가 약 0.6 $AA$인 것으로 나타났고, 비저항은 반응온도 구간에서 200~350 $muOmega$cm 수준으로 낮게 얻어졌다. XRD분석결과 TiN-ALD온도구간에서 TiN막이 결정화되었음을 알 수 있었다. AES 분석결과 Cl불순물의 함량이 거의 없는 상태(<1 at%)로 나타났고, TiN막에서의 Ti:N비가 1:1인 것으로 보아 거의 균일하게 형성되었음을 알 수 있었다. 또한 SEM관찰로 Aspect ratio 10:1의 trench 내에 형성된 TiN막의 스텝.커버리지는 극히 우수함을 알 수 있었다. -
$Si_2H_6$와 $H_2$ 가스를 이용한 LPCVD내에서의 선택적 Si 에피텍시 성장에 미치는 산소의 영향
손용훈, 박성계, 김상훈, 이웅렬, 남승의, 김형준 한국진공학회 韓國眞空學會誌 6 Pages
한국진공학회 韓國眞空學會誌 2002, Vol.11 No.1 16-21 (6 pages)
$Si_2H_6$가스를 이용한 LPCVD내에서의 실리콘의 선택적 에피텍시 성장을 $1000^{circ}C$ 이하의 초청정 분위기하의 저온에서 수행하였다. HCI 첨가없이 초청정 공정으로 인한 양질의 에피텍시 Si층이 균일하게 얻어 졌으며, $SiO_2$위에 증착된 실리콘의 잠복기를 발견할 수 있었다. 단결정위의 에피텍시 층은 산화물 층위 보다 더 두껍게 증착되었다. 산소첨가로 잠복기가 20~30초간 증가하였다. 증착된 박막의 절단면과 표면 형상은 SEM으로 관찰되었으며, XRD를 통해 막질을 평가하였다. -
Oxygen flooding에 의해 왜곡된 SIMS depth profile의 보정
이영진, 정칠성, 윤명노, 이순영 한국진공학회 韓國眞空學會誌 9 Pages
한국진공학회 韓國眞空學會誌 2001, Vol.10 No.2 225-233 (9 pages)
왜곡현상은 표면 산화막에서와 Si 매질에서의 sputter rate이 다른 데서 발생하는 깊이 보정 오류와 상대감도인자(relative sensitivity factor, RSF)가 다른 데서 발생하는 농도보정 오류로부터 발생됨이 밝혀졌다. 깊이보정 오류를 바로잡기 위하여 $N^a+$ 이온을 산화막과 Si 매질의 계면에 대한 marker로 사용하였으며 산화막 두께는 SEM 및 XPS로 측정하였다. 산화막과 Si 매질에서의 sputter rate 및 RSF의 차이는 주로 oxygen flooding이 유발한 산화막 형성시의 부피팽창에 의한 것으로 해석되었으며 이를 보정한 depth profile은... -
플라즈마 화학증착법으로 제조된 수소화된 비정질 탄화실리콘 박막의 물성에 대한 붕소의 도핑효과
김현철, 이재신 한국진공학회 韓國眞空學會誌 8 Pages
한국진공학회 韓國眞空學會誌 2001, Vol.10 No.1 104-111 (8 pages)
얻은 박막의 물성을 SEM, XRD, Raman 분광법, FTIR, SIMS, 광흡수도와 전기전도도 분석을 통하여 살펴보았다. $B_2H_6$/($CH_4+SiH_4$) 기체유량비가 증가할수록 붕소의 도핑효율와 미세결정성은 감소하였다. 증착 중 $B_2H_6$ 기체가 첨가됨에 따라 비정질 탄화실리콘 박막의 Si-C-H 결합기의 강도는 감소하였으며, 이의 영향으로 박막내의 수소함량은 $B_2H_6/(SiH_4+CH_4$) 기체 유량비가 증가함에 따라 16.5%에서 7.5%로 단조감소하였다. $B_2H_6(CH_4+SiH_4$) 기체유량비가 증가할수록 a-SiC:H 박막의 광학적 밴드갭과 전기활성화...


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