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1641.

AlAsxSb1-x 단계 성분 변화 완충층을 이용한 Si (100) 기판 상 Al0.3Ga0.7As/GaAs 다중 양자 우물 형성

이은혜, 송진동, 연규혁, 배민환, 오현지, 한일기, 최원준, 장수경, Lee. Eun Hye, Song. Jin Dong, Yoen. Kyu Hyoek, Bae. Min Hwan, Oh. Hyun Ji, Han. Il Ki, Choi. Won Jun, C 한국진공학회 韓國眞空學會誌 8 Pages

한국진공학회 韓國眞空學會誌 2013, Vol.22 No.6 313-320 (8 pages)

이은혜, 송진동, 연규혁, 배민환, 오현지, 한일기, 최원준, 장수경, Lee. Eun Hye, Song. Jin Dong, Yoen. Kyu Hyoek, Bae. Min Hwan, Oh. Hyun Ji, Han. Il Ki, Choi. Won Jun, C 저

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실리콘(Silicon, Si) 기판과 $Al_{0.3}Ga_{0.7}As$/GaAs 다중 양자 우물(multiple quantum wells, MQWs) 간의 격자 부정합 해소를 위해 $AlAs_xSb_{1-x}$ 층이 단계 성분 변화 완충층(step-graded buffer, SGB)으로 이용되었다. $AlAs_xSb_{1-x}$ 층 상에 형성된 GaAs 층의 RMS 표면 거칠기(root-mean-square surface roughness)는 $10{ imes}10{mu}m$ 원자 힘 현미경(atomic force microscope, AFM) 이미지 상에서 약 1.7 nm로 측정되었다. $AlAs_xSb_{1-x}$/Si 기판 상에 AlAs/GaAs 단주기 초격자(short period superlattice, SPS)를...
1642.

Synthesis of vertically aligned thin multi-walled carbon nanotubes on silicon substrates using catalytic chemical vapor deposition and their field emission properties

정승일, 최상규, 이승백, Jung. S.I., Choi. S.K., Lee. S.B. 한국진공학회 韓國眞空學會誌 9 Pages

한국진공학회 韓國眞空學會誌 2008, Vol.17 No.4 365-373 (9 pages)

정승일, 최상규, 이승백, Jung. S.I., Choi. S.K., Lee. S.B. 저

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최적화된 량의 황화수소 첨가 가스를 이용하여 실리콘 기판위에 증착된 Fe/Al 박막위에 촉매 화학 기상 증착법을 사용하여 직경이 얇은 다중층 탄소나노튜브가 수직 정렬되어 합성되었다. 주사전자현미경 관측 이미지에서 합성된 탄소나노튜브는 상대적으로 일정한 길이를 가지고 기판에 수직으로 정렬되었다. 투과전자현미경 관측에서 합성된 탄소나노튜브는 10nm 이내의 작은 외경을 가졌고 촉매가 거의 없었다. 평균 튜브의 벽 수는 약 다섯 개이다. 수직 정렬된 직경이 얇은 다중층 탄소나노튜브의 성장 메카니즘이 제시되었다. 수직...
1643.

A1-1%Si 박막배선에서 엘렉트로마이그레이션 현상에 미치는 절연보호막 효과

김경수, 김진영 한국진공학회 韓國眞空學會誌 4 Pages

한국진공학회 韓國眞空學會誌 2001, Vol.10 No.1 27-30 (4 pages)

김경수, 김진영 저

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절연보호막 처리된 Al-1%Si 박막배선에서 DC와 PDC 조건하에서의 Electromigration 현상에 관하여 조사하였다. $SiO_2$와 PSG/$SiO_2$ 절연보호막 층을 갖는 박막배선은 표준 사진식각 공정으로 제작되었고, 테스트라인 길이는 100, 400, 800, 1200, 1600 $mu extrm{m}$이다. Al-l%Si 박막배선에 고정된 전류밀도 $1.19 imes10^7 extrm{A/cm}^2$의 DC와 duty factor가 0.5인 1Hz의 주파수에 고정된 전류밀도 $1.19 imes10^7 extrm{A/cm}^2$의 PDC를 인가하였다. Electromigration 테스트에서 PSG/$SiO_2$ 절연보호막 시편의...
1644.

Al 박막 금속화의 신뢰성 향상에 관한 연구

전진호, 김진영 한국진공학회 韓國眞空學會誌 7 Pages

한국진공학회 韓國眞空學會誌 1992, Vol.1 No.2 291-297 (7 pages)

전진호, 김진영 저

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알루미늄 박막 stripe에 d.c. 전류를 인가하여 electromigration에 의한 결함을 분 석하였다. 6 $ imes$ 10-8Torr의 진공동에서 전자빔 증착기를 사용하여 현미경을 유리기판에 $1000AA$의 두께로 알루미늄 박막을 증착하였다. Al/glass 박막의 초기 비저항은 2.7 $pm$ 0.15($mu$$Omega$cm)이였다. 알루미늄 stripe에 electromigration에 의해 양극쪽에 물질 축적영역 (hillocks)과 음극쪽에는 물질 고갈영역(voids)이 형성되었다. SEM, EDAX와 Optical microscope로 hillocks과 voids를 분석하였다. 또한 결함에 대한...
1645.

프랑스 A-71 고속도로변 토양과 부유퇴적물의 중금속 거동 및 오염에 관한 연구

이평구 한국지하수토양환경학회 토양환경 14 Pages

한국지하수토양환경학회 토양환경 1997, Vol.2 No.1 21-34 (14 pages)

이평구 저

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고속도로변에 설치된 간이정화시설은 drainage system의 일부분으로 우기에 빗물의 양을 조절하고 고속도로 노면에서 운반되어 간이정화시설에 유입된 오염된 입자를 침전, 제거시키기 위해 설치되었다. 빗물에 입자상태로 이동된 납, 아연, 카드뮴를 제거하기 위해 설치된 간이정화시설의 효과를 평가하기 위해 수리지질학적 연구 및 부유퇴적물의 물리화학적 특성을 규명하기 위한 연구가 수행되었다. 부유퇴적물과 비교하기 위해 심하게 오염된 도로변토양과 오염되지 않은 background soil에 대해서도 연구가 수행되었다....
1646.

Magnetoimpedance Effect in Nanocrystalline Fe91.5-xZr7BxCu1Al0.5 (x=2, 4, 6, 8) Alloys

Lee. Heebok, Kim. Yong-Kook, Kim. Taik-Kee, Kim. Chong-Oh, Yu. Seong-Cho 한국자기학회 Journal of magnetics 3 Pages

한국자기학회 Journal of magnetics 2002, Vol.7 No.1 21-23 (3 pages)

Lee. Heebok, Kim. Yong-Kook, Kim. Taik-Kee, Kim. Chong-Oh, Yu. Seong-Cho 저

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1647.

BGP 밸리-프리 라우팅 정책에 기반한 국내 AS 레벨 인터넷 토폴로지의 파워-로 지수

강구홍, Kang. Koo-Hong 한국인터넷정보학회 인터넷정보학회논문지 9 Pages

한국인터넷정보학회 인터넷정보학회논문지 2010, Vol.11 No.4 41-49 (9 pages)

강구홍, Kang. Koo-Hong 저

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Faloutsos et al.[1,2]은 파워-로(power-law)를 이용해 노드 차수와 같은 Autonomous System (AS) 레벨 인터넷 토폴로지 특성의 중꼬리(heavy-tailed) 분포를 성공적으로 나타내었다. 이러한 결과는 파워-로 지수(exponents)를 이용해 이들 인터넷 토폴로지 특성을 간단 명료하게 나타낼 수 있게 한다. 본 논문에서는 BGP 밸리-프리 라우팅 정책에 기반한 국내 AS 레벨 인터넷 토폴로지 속성 - 노드 차수, 홉 수에 따른 노드 쌍의 수, 그리고 그래프의 고유치 - 의 파워-로 지수를 조사하였다. UCLA IRL 연구실이 제공하는 실제 AS 레벨...
1648.

Acetobacter suboxydans의 휴지 균체에 의한 L-sorbose의 생산

조원대, 마상조, Cho. Won-Dai, Ma. Sang-Jo 한국응용생명화학회 한국농화학회지 7 Pages

한국응용생명화학회 한국농화학회지 1993, Vol.36 No.6 481-487 (7 pages)

조원대, 마상조, Cho. Won-Dai, Ma. Sang-Jo 저

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Acetobacter suboxydans의 휴지균체를 이용한 sorbitol로부터 sorbose 생산계에 대해 검토한 결과 5% sorbitol농도에서 균체를 약 6 mg/ml 농도까지 첨가할 때 sorbose의 생산량이 급격히 증가하였다. Sorbose 생성의 최적 반응 온도는 $30^{circ}C$, 최적 pH는 6.0이었으며 금속 이온은 1 mM $Al^{+3}$ 이온에 의해 약 12%의 증가를 보인 반면에 $Ni^{+2}$ 이온 첨가시 현저한 sorbose 생산 저해를 보였다. p-aminobenzoic acid를 1.0 mM 첨가시 약 20%의 sorbose생성이 증가되었으며, Ca-pantothenate 첨가는 감소 효과를 나타내었으나...
1649.

PSG 희생층 식각시 Al층을 보호하기 위한 새로운 HF/$NH_4F$/Glycerine 혼합 식각액

김성운, 백승준, 김임정, 이승기, 조동일, Kim. Sung-Un, Paik. Seung-Joon, Kim. Im-Jung, Lee. Seung-Ki, Cho. Dong-Il 한국센서학회 센서학회지 7 Pages

한국센서학회 센서학회지 1999, Vol.8 No.5 414-420 (7 pages)

김성운, 백승준, 김임정, 이승기, 조동일, Kim. Sung-Un, Paik. Seung-Joon, Kim. Im-Jung, Lee. Seung-Ki, Cho. Dong-Il 저

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희생층을 제거하는 기술은 표면 마이크로머시닝 공정의 핵심기술중 하나이다. 그러나 희생층을 제거하는데 널리 쓰이는 BHF 용액을 포함한 HF 수용액은 희생층 제거시 금속층으로 쓰이는 알루미늄도 같이 식각하는 것으로 알려져 있다. 기존의 문헌에서 $NH_4F$:HF:glycerine=4:1:2의 비를 갖는 혼합 용액이 알루미늄과 PSG 간의 식각 선택비가 최적조건으로 제시되었지만 이 희생층 식각액 또한 상당한 알루미능 식각률을 가지고 있다. 본 논문에서는 HF, $NH_4F$, glycerine의 농도를 광범위하게 변화시켜 희생층 제거에 필요한 최적...
1650.

영상센서를 위한 a-Si : H 광다이오드의 제작 및 특성

박욱동, 김기완, Park. Wug-Dong, Kim. Ki-Wan 한국센서학회 센서학회지 6 Pages

한국센서학회 센서학회지 1993, Vol.2 No.1 29-34 (6 pages)

박욱동, 김기완, Park. Wug-Dong, Kim. Ki-Wan 저

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본 연구에서는 영상센서를 위해 a-Si : H 광다이오드를 제작하고 그 특성을 조사하였다. a-SiN : H와 p-a-Si : H막의 차단층이 없는 ITO/a-Si : H/Al 광다이오드의 광감도는 5 V의 인가전압에서 0.7로 나타났으며 가시광영역에서의 분광감도는 620 nm의 파장에서 가장 높게 나타났다. ITO/a-SiN : H/a-Si : H/p-a-Si : H/Al 광다이오드의 암전류는 정공차단막과 전자차단막의 작용으로 인하여 10V의 인가전압까지 1.5pA이하로 억제되었다. 또한 광감도는 3 V의 인가전압에서 약 1로 가장 높게 나타났으며 분광감도는 540 nm의 파장에서...

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