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DC-DC Converter용 자성박막 인덕터 설계에 관한 연구
윤의중, 김좌연, 박노경, 김상기, 김종대 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 10 Pages
한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 2001, Vol.14 No.1 74-83 (10 pages)
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Ar/$O_2$에 따른 ZnO 박막의 C-축 배향성에 관한 연구
이동윤, 이전국, 김현재, 윤석진, 박용욱, 남산, 황금찬 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 8 Pages
한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 2000, Vol.13 No.7 617-624 (8 pages)
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RF마그네트론 스퍼터링법으로 제조한 $YBa_2Cu_3O_{7-x}$전도체 박막의 특성에 대한 기판의 영향
신현용, 박창엽 한국전기전자재료학회 電氣電子材料學會誌= The journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers 7 Pages
한국전기전자재료학회 電氣電子材料學會誌= The journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers 1995, Vol.8 No.1 6-12 (7 pages)
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Influence of ZnO Thickness on the Optical and Electrical Properties of GZO/ZnO Bi-layered Films
Kim. Sun-Kyung, Kim. So-Young, Kim. Seung-Hong, Jeon. Jae-Hyun, Gong. Tae-Kyung, Kim. Daeil, Yoon. Dae Young, Choi. Dong Yong 한국전기전자재료학회 Transactions on electrical and electronic materials 3 Pages
한국전기전자재료학회 Transactions on electrical and electronic materials 2014, Vol.15 No.4 198-200 (3 pages)
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Effect of Sputtering Power on the Change of Total Interfacial Trap States of SiZnSnO Thin Film Transistor
Ko. Kyung-Min, Lee. Sang Yeol 한국전기전자재료학회 Transactions on electrical and electronic materials 5 Pages
한국전기전자재료학회 Transactions on electrical and electronic materials 2014, Vol.15 No.6 328-332 (5 pages)
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p-Si 기판에 성장한 BaTiO3 박막의 두께와 구조적 특성과의 관계
민기득, 이종원, 김선진, Min. Ki-Deuk, Lee. Jongwon, Kim. Seon-Jin 한국재료학회 한국재료학회지 5 Pages
한국재료학회 한국재료학회지 2013, Vol.23 No.6 334-338 (5 pages)
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Ti/Si의 조성비율이 다른 타겟을 이용한 sputtered Ti-Si-N 박막의 증착특성 연구
박상기, 강봉주, 양희정, 이원희, 이은구, 김희재, 이재갑, Park. Sang-Gi, Kang. Bong-Joo, Yang. Hee-Jeong, Lee. Won-Hee, Lee. Eun-Goo, Kim. Hee-Jae, Lee. Jae-Gap 한국재료학회 한국재료학회지 5 Pages
한국재료학회 한국재료학회지 2001, Vol.11 No.7 580-584 (5 pages)
Ti과 Si의 비가 서로 다른 종류의 타 을 $Ar/N_2$의 혼합기체를 사용하여 rf magnetron sputtering방법으로 증착된 Ti-Si-N박막의 증착특성에 대해 연구하였다. Ti-Si-N박막의 조성과 증착률은 각 타 Ti/Si의 비율과 증착시의 질소기체의 유량에 따라 크게 변하였다. 이것은 Ti과 Si의 nitriding 정도의 차이로 인한 서로 다른 sputter yield에 의한 것으로 나타났다. Si이 비교적 적게 포함된 Ti-Si-N박막은 증착시부터 박막내 TiN의 결정화가 일어났으며, 낮은 비저항을 나타내었다. N의 함량의 증가는 박막의 밀도와 압축응력을...


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