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171.

장심도 시추공 정밀수리시험 장비 구축

김경수, 박경우, 지성훈, Kim. Kyung-Su, Park. Kyung-Woo, Ji. Sung-Hoon 대한지질공학회 지질공학 8 Pages

대한지질공학회 지질공학 2010, Vol.20 No.2 213-220 (8 pages)

김경수, 박경우, 지성훈, Kim. Kyung-Su, Park. Kyung-Woo, Ji. Sung-Hoon 저

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현재 국내의 수리시험 장비는 적절한 장비가 갖추어지지 않은 상태로 시행되고 있기 때문에 투수성 해석 자료의 신뢰성은 그리 높다고 볼 수 없다. 본 연구는 고도의 정밀성을 요구하는 고준위폐기물의 처분기술 개발을 위해서는 무엇보다도 자연방벽에 대한 특성 평가가 중요하므로 현행 시험 장비의 기술적 문제들을 해결하기 위한 목적으로 장심도 (1,000 m) 시추공에서 정밀한 수리시험이 가능한 장비를 성공적으로 구축하였다. 본 장비에서 가장 중요하게 반영된 기술사항은 공내 저류효과를 최소화시키기 위하여 H-DHSIV를...
172.

전단응력형 집적화 압력센서의 최적설계

주리아, 도태성, 이종녕, 서희돈 대한전자공학회 電子工學會論文誌. Journal of the Korean Institute of Telematics and Electronics. T 7 Pages

대한전자공학회 電子工學會論文誌. Journal of the Korean Institute of Telematics and Electronics. T 1998, No.0 75-81 (7 pages)

주리아, 도태성, 이종녕, 서희돈 저

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본 논문은 장방형 다이아프램 형상과 단일형 피에조저항 전단응력 스트레인 게이지 와의 관계를 해석하여 최적의 전단응력 압력센서를 설계하기 위한 것이다. 다이아프램상의 전단응력을 시뮬레이션 하기 위하여 유한요소법 분석 프로그램 ANSYS 5.1를 사용하였다. 시뮬레이션 결과는 다이아프램 형상비가 3일때 스트레인 게이지의 위치는 중앙에서, 크기는 전체 장방형 다이아프램 크기의 8%를 점유할때 온도에 안정적이고, 최대 감도를 가진다는 것을 조사하였다.
173.

용량성 압력센서의 집적화에 관한 연구

이윤희 대한전자공학회 電子工學會論文誌. Journal of the Korean Institute of Telematics and Electronics. T 11 Pages

대한전자공학회 電子工學會論文誌. Journal of the Korean Institute of Telematics and Electronics. T 1998, No.0 48-58 (11 pages)

이윤희 저

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본 논문은 센서에서 수반되는 기생용량과 온도 드리프트 및 누설전류의 영향을 경감하기 위한 C-V변환회로 및 C-V변환회로에 관한 실험결과를 제시하고, 또한 논문에서 제안한 센싱 주파수를 기준주파수로 나누어줌으로써 상기 영향들을 줄일 수 있는 새로운 인터페이스 회로를 제시한다 이 회로는 용량비의 출력신호를 디지털 방식으로 16진수로 계수 함으로써 신호의 전송이나 컴퓨터 처리가 쉬울 뿐 아니라 비트수의 증가에 따라 분해 능을 향상시킬 수 있는 이점도 있다. 시작한 인터페이스 회로의 C-V 및 C-F 변환회로에서 전원전압...
174.

보상용 브릿지를 이용한 압저항형 압력센서의 온도보상 방법

손원소, 이재곤, 최시영 대한전자공학회 電子工學會論文誌. Journal of the Korean Institute of Telematics and Electronics. D 6 Pages

대한전자공학회 電子工學會論文誌. Journal of the Korean Institute of Telematics and Electronics. D 1998, No.0 63-68 (6 pages)

손원소, 이재곤, 최시영 저

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175.

압저항 효과를 이용한 실리콘 압력센서 제작공정의 최적화

윤의중, 김좌연, 이석태, Yun. Eui-Jung, Kim. Jwayeon, Lee. Seok-Tae 대한전자공학회 電子工學會論文誌. Journal of the Institute of Electronics Engineers of Korea. SD, 반도체 6 Pages

대한전자공학회 電子工學會論文誌. Journal of the Institute of Electronics Engineers of Korea. SD, 반도체 2005, Vol.42 No.1 19-24 (6 pages)

윤의중, 김좌연, 이석태, Yun. Eui-Jung, Kim. Jwayeon, Lee. Seok-Tae 저

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본 논문에서는 압저항 효과를 이용한 Si 압력센서 제작을 최적화하였다. Si 압저항형 압력센서의 제작공정에 있어서 압저항과 알루미늄 회로 패턴 이후에 Si 이방성 식각을 통하여 수율이 개선되었다. 압저항의 위치와 공정 파라메터는 각각 ANSYS와 SUPREME 시뮬레이터를 이용하여 결정하였다. Boron-depth 프로파일 측정으로부터 p-형 Si 압저항의 두께를 측정한 결과 SUPREME 시뮬레이션으로부터 얻은 결과와 잘 부합하였다. 다이아프램을 위한 Si 이방성 식각 공정은 암모늄 첨가제 AP(Ammonium persulfate)를 TMAH(Tetra-methyl...
176.

압저항 압력센서 응용을 위한 TMAH/AP/IPA 용액의 실리콘 이방성 식각특성에 대한 연구

윤의중, 김좌연, 이태범, 이석태 대한전자공학회 電子工學會論文誌. Journal of the Institute of Electronics Engineers of Korea. SD, 반도체 6 Pages

대한전자공학회 電子工學會論文誌. Journal of the Institute of Electronics Engineers of Korea. SD, 반도체 2004, Vol.41 No.3 9-14 (6 pages)

윤의중, 김좌연, 이태범, 이석태 저

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본 논문에서는 압저항 압력센서 응용을 위한 최적의 멤브레인 구조를 만들기 위하여 tetramethylammonium hydroxide (TMAH)/ammonium persulfate (AP)/isopropyl alcoho 1(IPA) 용액의 Si 이방성 식각 특성을 연구하였다. 독성이 적고 CMOS 공정과의 높은 호환성 때문에 TMAH를 Si 이방성 식각용액으로 사용하였다. 식각온도, TMAH농도 및 식각시간에 따른 Si 식각률의 변화를 측정하였다. 식각온도를 증가 시키고 TMAH농도를 감소시킴에 따라 Si 식각률은 증가한 반면에 (100)면에 hillock 이 생겨 식각표면의 평탄도가 감소하였다. TMAH...
177.

SDB 구조의 고온용 실리콘 압력센서

박재성, 최득성, 김미목, Park. Jae-Sung, Choi. Deuk-Sung, Kim. Mi-Mok 대한전자공학회 Journal of the Institute of Electronics Engineers of Korea 6 Pages

대한전자공학회 Journal of the Institute of Electronics Engineers of Korea 2013, Vol.50 No.6 305-310 (6 pages)

박재성, 최득성, 김미목, Park. Jae-Sung, Choi. Deuk-Sung, Kim. Mi-Mok 저

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본 연구는 Si/$SiO_2$/Si-sub 구조의 SDB(silicon-direct-bonding) 웨이퍼를 이용한 고온용 압력센서의 제작 및 특성을 연구한 것이다. 압력센서는 SDB 웨이퍼의 첫 번째 층의 단결정 실리콘을 이용하여 압저항을 제작하기 때문에 감도가 우수하며, 두 번째 층의 산화막으로 압저항과 실리콘 기판을 절연 분리하여, 일반적인 실리콘소자의 사용 온도 한계인 $120^{circ}C$ 이상의 고온에서도 사용이 가능하다. 제작된 압력센서는 고감도의 압력감도 및 센서 출력의 직선성 및 히스테리시스 특성이 매우 우수함을 알 수 있었다.
178.

The Micro Pirani Gauge with Low Noise CDS-CTIA for In-Situ Vacuum Monitoring

Kim. Gyungtae, Seok. Changho, Kim. Taehyun, Park. Jae Hong, Kim. Heeyeoun, Ko. Hyoungho 대한전자공학회 Journal of semiconductor technology and science 8 Pages

대한전자공학회 Journal of semiconductor technology and science 2014, Vol.14 No.6 733-740 (8 pages)

Kim. Gyungtae, Seok. Changho, Kim. Taehyun, Park. Jae Hong, Kim. Heeyeoun, Ko. Hyoungho 저

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179.

압저항형 압력센서의 통합해석 및 검증

이승환, 이곤재, 한승오, Yi. Seung-Hwan, Lee. Gon-Jae, Han. Seung-Oh 대한전기학회 전기학회논문지= The Transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers 5 Pages

대한전기학회 전기학회논문지= The Transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers 2009, Vol.58 No.3 573-577 (5 pages)

이승환, 이곤재, 한승오, Yi. Seung-Hwan, Lee. Gon-Jae, Han. Seung-Oh 저

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180.

전기용량성 섬유 압력센서를 이용한 호흡측정 시스템

민세동, 윤용현, 이충근, 신항식, 조하경, 황선철, 이명호, Min. Se-Dong, Yun. Young-Hyun, Lee. Chung-Keun, Shin. Hang-Sik, Cho. Ha-Kyung, Hwang. Seon-Cheol, Lee. Myo 대한전기학회 전기학회논문지. The Transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers. P 6 Pages

대한전기학회 전기학회논문지. The Transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers. P 2010, Vol.59 No.1 58-63 (6 pages)

민세동, 윤용현, 이충근, 신항식, 조하경, 황선철, 이명호, Min. Se-Dong, Yun. Young-Hyun, Lee. Chung-Keun, Shin. Hang-Sik, Cho. Ha-Kyung, Hwang. Seon-Cheol, Lee. Myo 저

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