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석탄바닥재가 포함된 유리의 결정화 특성에 미치는 HF 처리 효과
조시내, 강승구, Jo. Si-Nae, Kang. Seung-Gu 한국세라믹학회 한국세라믹학회지 6 Pages
한국세라믹학회 한국세라믹학회지 2011, Vol.48 No.1 80-85 (6 pages)
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ECR플라즈마 전처리가 RuO2 MOCVD시 핵생성에 끼치는 효과
엄태종, 박연규, 이종무, Eom. Taejong, Park. Yunkyu, Lee. Chongmu 한국세라믹학회 한국세라믹학회지 5 Pages
한국세라믹학회 한국세라믹학회지 2005, Vol.42 No.2 94-98 (5 pages)
[ $RuO_2$ ]는 DRAM과 FRAM소자에서 고유전 capacitors의 저전극물질로서 폭넓게 연구되고 있다. 본 연구에서는 XRD, SEM, AFM 분석 등을 통하여 금속유기 화학 증착법(MOCVD)으로 $RuO_2$ 증착시 핵생성에 영향을 미치는 수소, 산소, 아르곤 ECR플라즈마 전처리 효과를 조사하였으며, 아르곤 ECR플라즈마 전처리의 경우 가장 높은 핵생성 밀도를 나타내었다. ECR 플라즈마 전처리를 통한 $RuO_2$의 핵생성 향상 메카니즘은 아르곤이나 수소 ECR 플라즈마는 TiN막 표면의 질소나 산소원자를 제거하고 따라서 TiN막 표면은 Ti-rich TiN으로... -
MgO-${Al_2}{O_3}$-$SiO_2$계 결정화유리의 제조 및 물성평가
손성범, 최세영 한국세라믹학회 한국세라믹학회지 8 Pages
한국세라믹학회 한국세라믹학회지 2000, Vol.37 No.6 604-611 (8 pages)
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기판-Mask 재료에 따른 $eta$-SiC 박막 증착의 선택성과 특성 평가
양원재, 김성진, 정용선, 최덕균, 전형탁, 오근호 한국세라믹학회 요업학회지 6 Pages
한국세라믹학회 요업학회지 1999, Vol.36 No.1 55-60 (6 pages)
Hexamethyldisilane(Si2(CH3)6)의 single precursor를 출발원료로 사용하여 화학기상증착법으로 Si 기판위에 buffer층의 형성 없이 $eta$-SiC의 박막을 증착하였다. Si 기판과 SiO2 mask에서 SiC 박막 증착의 선택성을 위하여 HCI의 식각 가스를 도입하였고 출발원료와 HCI 가스의 공급방법을 변화시켰다. SiC 박막 증착 과정에서 HCI 가스의 도입이 막의 표면 조도에 미치는 영향을 조사하였고 Hall 측정을 통하여 SiC 막의 전기적 특성을 조사하였다. -
열시차 분석에 대한 결정화 Kinetics의 응용
이선우, 심광보, 오근호 한국세라믹학회 요업학회지 9 Pages
한국세라믹학회 요업학회지 1998, Vol.35 No.11 1162-1170 (9 pages)
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PbO-TiO$_2$-B$_2$O$_3$-BaO 계 유리에서 PbTiO$_3$ 결정의 핵생성 곡선 결정을 위한 열시차분석법의 응용
이선우, 심광보, 오근호 한국세라믹학회 요업학회지 7 Pages
한국세라믹학회 요업학회지 1998, Vol.35 No.6 640-646 (7 pages)
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열필라멘트 CVD에서 전압 인가에 의한 다이아몬드의 핵생성 촉진
최균, 강석중, 황농문 한국세라믹학회 요업학회지 9 Pages
한국세라믹학회 요업학회지 1997, Vol.34 No.6 636-644 (9 pages)
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Poly(vinylidene fluoride) 나노섬유의 제조 및 특성분석
이명선, 박원호, Lee. Myung-Sun, Park. Won-Ho 한국섬유공학회 韓國纖維工學會誌 6 Pages
한국섬유공학회 韓國纖維工學會誌 2010, Vol.47 No.5 339-344 (6 pages)
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커먼레일 디젤엔진의 운전조건이 나노크기 입자상 물질 배출특성에 미치는 영향에 관한 실험적 연구
이형민, 명차리, 박심수, Lee. Hyung-Min, Myung. Cha-Lee, Park. Sim-Soo 한국마린엔지니어링학회 한국마린엔지니어링학회지 7 Pages
한국마린엔지니어링학회 한국마린엔지니어링학회지 2010, Vol.34 No.4 508-514 (7 pages)
본 논문은 커먼레일 디젤엔진의 정속운전시 배출되는 나노크기의 입자상 물질을 분석하는데 초점을 두었다. 디젤산화촉매 후단에서 나노입자상 물질의 개수농도 저감수준은 크지 않았으나 매연여과장치 후단에서 분석한 결과 1,000배 정도 저감되는 결과를 확인하였다. 고속 고부하 조건에서는 매연여과장치의 자연재생 효과로 인해 입자상 물질은 증가하였다. 연료분사시기를 BTDC $6^{circ}CA$ 에서 ATDC $4^{circ}CA$까지 지각시킨 결과 입자상 물질의 개수농도는 감소하였지만 최지각 조건인 ATDC $9^{circ}CA$에서는 증가하는 결과를...


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