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181.

450 mm 웨이퍼 공정용 System의 기하학적 구조에 따른 플라즈마 균일도 모델링 분석

양원균, 주정훈, Yang. Won-Kyun, Joo. Jung-Hoon 한국진공학회 韓國眞空學會誌 9 Pages

한국진공학회 韓國眞空學會誌 2010, Vol.19 No.3 190-198 (9 pages)

양원균, 주정훈, Yang. Won-Kyun, Joo. Jung-Hoon 저

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450 mm의 웨이퍼 공정용 플라즈마 장비의 개발을 위하여 안테나 형상, 챔버의 직경, 웨이퍼까지의 거리에 따른 플라즈마 균일도를 Ar과 $CF_4$에 대하여 축대칭 2차원으로 수치 모델링하였다. 챔버의 종횡비를 직경, 기판까지의 거리, 배기구의 면적으로 나누어서 결정하고 여기에 안테나 구조를 변경하여서 최적의 플라즈마 균일도를 갖는 조건을 도출하였다. Drift diffusion식과 준중성 조건을 이용한 간략화를 이용하였으며 표면 재결합과 식각 반응을 이온에너지의 함수로 처리하였다. 반응기판 표면에서의 플라즈마 밀도 균일도는...
182.

고균일 Al 박막 증착을 위한 magnetron sputtering system 개발

이재희, 황도원, Lee. J.H., Hwang. D.W. 한국진공학회 韓國眞空學會誌 5 Pages

한국진공학회 韓國眞空學會誌 2008, Vol.17 No.2 165-169 (5 pages)

이재희, 황도원, Lee. J.H., Hwang. D.W. 저

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반도체 소자공정에서 균일한 두께의 금속박막을 증착하는 것은 매우 중요하다. 기존의 기판고정식 sputtering 장비로 증착한 indium tin oxide(ITO)박막의 두께 균일도가 $pm4%simpm5%$ 정도로 중앙부분이 더 두껍다. 방전전극 구조물을 설계하고 제작하여 sputtering되는 물질의 방향을 조절하였다. 개량된 sputtering gun을 사용하여 기판고정식 sputtering 장비에서 4" wafer 내에서 $pm0.8sim1.3%$ 정도로 두께 균일도를 증가시켰다. wafer to wafer에서는 $pm$5.3%에서 $pm$1.5%로 두께 균일도가 향상되었다. Al박막의 경우...
183.

ON FUZZIFYING TOPOLOGICAL SPACES

M.Azab. Abd-Alla 한국지능시스템학회 퍼지 및 지능시스템학회 논문지 5 Pages

한국지능시스템학회 퍼지 및 지능시스템학회 논문지 2002, Vol.12 No.2 177-181 (5 pages)

M.Azab. Abd-Alla 저

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184.

가압성형 방식을 사용한 렌즈 일체형 LED 패키지의 색온도 균일성 향상에 관한 연구

김완호, 강영래, 장민석, 주재영, 송상빈, 김재필, 여인선, Kim. Wan-Ho, Kang. Young-Rae, Jang. Min-Suk, Joo. Jae-Young, Song. Sang-Bin, Kim. Jae-Pil, Yeo. In-Seon 한국조명전기설비학회 照明·電氣設備學會論文誌 7 Pages

한국조명전기설비학회 照明·電氣設備學會論文誌 2013, Vol.27 No.4 1-7 (7 pages)

김완호, 강영래, 장민석, 주재영, 송상빈, 김재필, 여인선, Kim. Wan-Ho, Kang. Young-Rae, Jang. Min-Suk, Joo. Jae-Young, Song. Sang-Bin, Kim. Jae-Pil, Yeo. In-Seon 저

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185.

면광원 램프 및 이를 이용한 조명 기기의 효율 특성 연구

박종리, 임성규, Park. Jong-Lee, Lim. Sung-Kyoo 한국조명전기설비학회 照明·電氣設備學會論文誌 7 Pages

한국조명전기설비학회 照明·電氣設備學會論文誌 2007, Vol.21 No.7 6-12 (7 pages)

박종리, 임성규, Park. Jong-Lee, Lim. Sung-Kyoo 저

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LCD(liquid crystal display) TV용 백라이트의 광원으로서 면광원이 개발되었으며, 이를 이용한 조명 기기를 제작 및 평가하였다. 면광원은 유리성형을 통하여 채널을 형성하였으며 채널의 모양을 최적화하여 면광원을 이용한 조명 기기의 효율을 향상시킬 수 있었다. 본 논문에서는 특히 현재 주로 사용되고 있는 형광등과의 비교 평가를 통하여 조명용 면광원의 광 효율 및 조도 특성에 관한 성능을 평가하였다. 채널의 구조가 최적화된 면광원을 이용하여 제작된 32"형 조명 기기의 광 효율은 72.7[1m/W]이었다.
186.

사무공간의 조명성능 평가에 관한 연구

김한성, 김영민, 김강수 한국조명전기설비학회 照明·電氣設備學會論文誌 7 Pages

한국조명전기설비학회 照明·電氣設備學會論文誌 2003, Vol.17 No.6 16-22 (7 pages)

김한성, 김영민, 김강수 저

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본 연구는 워크스테이션에서 조명방식에 따른 시환경평가를 목적으로 하고 있다. 성능평가를 위해 Radiance 프로그램을 통한 시뮬레이션과 Mock-up실 (15.0${ imes}$11.6${ imes}$3m)에서의 간접조명 실험을 통하여 사무소 건물의 조명방식에 따른 성능평가자료를 제시하고자 하였다. 본 연구의 결과는 다음과 같다 :1) 대상공간에서 작업면 조도를 살펴보면 첫째, 모든 반사율에서 파티션이 높아질수록 조도비는 낮은 값을 보였다. 둘째, 직접 양측배치방식에서 가장 높은 조도비를 보였으며 직접 중앙배치방식에서 가장 낮은 조도비를...
187.

LCD Back-Light Unit 설계를 위한 최적화 기법

서희경, 류양선, 최준수, 한광수, 김성철, Seo. Heekyung, Ryu. Yangseon, Choi. Joonsoo, Hahn. Kwang-Soo, Kim. Seongcheol 한국정보과학회 정보과학회논문지. Journal of KIISE. 시스템 및 이론 15 Pages

한국정보과학회 정보과학회논문지. Journal of KIISE. 시스템 및 이론 2005, Vol.32 No.3 133-147 (15 pages)

서희경, 류양선, 최준수, 한광수, 김성철, Seo. Heekyung, Ryu. Yangseon, Choi. Joonsoo, Hahn. Kwang-Soo, Kim. Seongcheol 저

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LCD BLU(Back-Light Unit)의 설계에는 광선추적 기법이 많이 사용되고 있으며, 이러한 기법을 통하여 도광판 전면으로 출사되는 빛의 휘도, 휘도의 균일도, 광효율 등을 수치적으로 예측할 수 있다. 휘도와 휘도의 균일도 등과 같은 항목은 BLU 설계에 있어서 매우 중요한 요소 중의 하나이며, 이러한 BLU의 광학적 특성은 도광판의 후면에 인쇄된 잉크패턴에 가장 많을 영향을 받고 있다 따라서 높은 휘도와 균일도를 발생시킬 수 있는 최적화된 잉크패턴을 설계하는 것은 BLU의 설계에 있어서 가장 중요한 부분 중의 하나이다. 본...
188.

대면적 서셉터의 온도 균일도 검증 알고리즘

양학진, 김성근, 조중근, Yang. Hac Jin, Kim. Seong Kun, Cho. Jung Kun 한국정밀공학회 한국정밀공학회지 8 Pages

한국정밀공학회 한국정밀공학회지 2014, Vol.31 No.10 947-954 (8 pages)

양학진, 김성근, 조중근, Yang. Hac Jin, Kim. Seong Kun, Cho. Jung Kun 저

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189.

복강경수술기구의 벤딩메커니즘 해석 및 벤딩커플러 최적설계

황달연, 문대환, 최승욱, 원종석, Hwang. Dal Yeon, Moon. Dae Hoan, Choi. Seung Wook, Won. Jong Seok 한국정밀공학회 한국정밀공학회지 8 Pages

한국정밀공학회 한국정밀공학회지 2013, Vol.30 No.4 434-441 (8 pages)

황달연, 문대환, 최승욱, 원종석, Hwang. Dal Yeon, Moon. Dae Hoan, Choi. Seung Wook, Won. Jong Seok 저

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190.

콘트라스트가 적은 평면 얼룩 검사를 위한 조도 측정 및 조명 개선 방법 비교

류근호, 남택훈, 주효남, 고국원, Rew. Keun-Ho, Nam. Taek-Hoon, Joo. Hyo-Nam, Ko. Kuk-Won 한국정밀공학회 한국정밀공학회지 7 Pages

한국정밀공학회 한국정밀공학회지 2007, Vol.24 No.4 29-35 (7 pages)

류근호, 남택훈, 주효남, 고국원, Rew. Keun-Ho, Nam. Taek-Hoon, Joo. Hyo-Nam, Ko. Kuk-Won 저

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