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450 mm 웨이퍼 공정용 System의 기하학적 구조에 따른 플라즈마 균일도 모델링 분석
양원균, 주정훈, Yang. Won-Kyun, Joo. Jung-Hoon 한국진공학회 韓國眞空學會誌 9 Pages
한국진공학회 韓國眞空學會誌 2010, Vol.19 No.3 190-198 (9 pages)
450 mm의 웨이퍼 공정용 플라즈마 장비의 개발을 위하여 안테나 형상, 챔버의 직경, 웨이퍼까지의 거리에 따른 플라즈마 균일도를 Ar과 $CF_4$에 대하여 축대칭 2차원으로 수치 모델링하였다. 챔버의 종횡비를 직경, 기판까지의 거리, 배기구의 면적으로 나누어서 결정하고 여기에 안테나 구조를 변경하여서 최적의 플라즈마 균일도를 갖는 조건을 도출하였다. Drift diffusion식과 준중성 조건을 이용한 간략화를 이용하였으며 표면 재결합과 식각 반응을 이온에너지의 함수로 처리하였다. 반응기판 표면에서의 플라즈마 밀도 균일도는... -
유동해석을 통한 물 분사용 비데 노즐 설계
최윤석, 양승용, 진성월, Choi. Y.S., Yang. S.S., Jin. S.W. 한국전산유체공학회 한국전산유체공학회지 5 Pages
한국전산유체공학회 한국전산유체공학회지 2007, Vol.12 No.3 8-12 (5 pages)
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전산 유체 모델링을 이용한 평판형 고체산화물 연료전지 작동특성 전산모사
우효상, 정용재, Woo. Hyo Sang, Chung. Yong-Chae 한국전기화학회 전기화학회지 11 Pages
한국전기화학회 전기화학회지 2004, Vol.7 No.2 69-79 (11 pages)
수 있는 전산유체 상용코드인 CFD-ACE+를 이용하여 평판형 고체산화물 연료전지의 작동 특성을 분석하였다. 단위 스택에서 발생하는 물질전달과 열전달 및 전기화학 반응에 의한 전하이동을 복합적으로 고려하여, 작동조건 하에서 각 공정적, 구조적 변수 변화에 따른 전지특성을 예측하였다. 이러한 전산모사 방법을 통하여 확산과 유동에 의한 전지 내 반응물과 생성물의 mass fraction 분포와 단위 스택의 내부 온도분포 그리고 전지 특성을 나타내는 polarization curve에 의한 고체산화물 연료 전지의 분극 특성을 정성, 정량적으로... -
토크컨버터 해석을 위한 다물체 자료 변환 프로그램 개발
이재철, 천두만, 안성훈, 여준철, 장재덕, Lee. Jae-Chul, Chun. Doo-Man, Ahn. Sung-Hoon, Yeo. Jun-Cheol, Jang. Jae-Duk 한국자동차공학회 한국자동차공학회논문집 8 Pages
한국자동차공학회 한국자동차공학회논문집 2008, Vol.16 No.2 58-65 (8 pages)
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노즐의 원리를 도입한 ISFET 소형 카트리지 제작
김현수, 이영철, 김영진, 조병욱, 손병기, Kim. Hyun-Soo, Lee. Young-Chul, Kim. Young-Jin, Cho. Byung-Woog, Sohn. Byung-Ki 한국센서학회 센서학회지 7 Pages
한국센서학회 센서학회지 1999, Vol.8 No.4 320-326 (7 pages)
해석 프로그램(CFD-ACE)의 검증을 통하여 소형 카트리지에 적합하도록 설계하였다. 미세가공기술을 이용하여 제작된 카트리지의 전체 크기는 약 $2.6;cm{ imes}1.5;cm$이고 세척용 노즐의 크기는 $0.2;mm{ imes}600;mm$이며, 측정에 필요한 시료의 양은 약 $20;{mu}l$이다. REFET과 의사기준전극을 이용한 차동증폭법을 사용하여 기준전극을 소형화하였다. 또한, 미세채널에서 기포로 인한 센서의 오동작을 감지하기 위해 채널 양단에 금속전극을 증착하였다. 제작된 카트리지에 pH-ISFET를 장착하여 노즐에 의한 세척효과를 조사하였다.