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Self-conditioning 고정입자패드를 이용한 CMP
박범영, 이현섭, 박기현, 서헌덕, 정해도, 김호윤, 김형재, Park. Boumyoung, Lee. Hyunseop, Park. Kihyun, Seo. Heondeok, Jeong. Haedo, Kim. Hoyoun, Kim. Hyoungjae 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 6 Pages
한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 2005, Vol.18 No.4 321-326 (6 pages)
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계면활성제 함량 조절을 통한 구리 하이브리드 구조물의 화학 기계적 평탄화
장수천, 안준호, 박재홍, 정해도, Jang. Soocheon, An. Joonho, Park. Jaehong, Jeong. Haedo 한국재료학회 한국재료학회지 4 Pages
한국재료학회 한국재료학회지 2012, Vol.22 No.11 587-590 (4 pages)
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고정입자패드를 이용한 텅스텐 CMP 개발 및 평가
박범영, 김호윤, 김구연, 정해도, Park. Boumyoung, Kim. Hoyoun, Kim. Gooyoun, Jeong. Haedo 한국기계가공학회 한국기계가공학회지 8 Pages
한국기계가공학회 한국기계가공학회지 2003, Vol.2 No.4 17-24 (8 pages)


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