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MMIC에 적용되는 MIM 커패시터의 실리콘 질화막 증착과 전기적 특성
성호근, 소순진, 박춘배 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 6 Pages
한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 2004, Vol.17 No.3 283-288 (6 pages)
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Au/$Ta_2$$O_5$/Pt MIM Capacitor의 annealing과 유전 특성
김인성, 정순종, 송재성, 윤문수, 박정후 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 7 Pages
한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 2001, Vol.14 No.12 1016-1022 (7 pages)
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Polyimide(PI)LB막의 MIM구조 소자내에서의 switching전도특성
김태성, 김현종 한국전기전자재료학회 電氣電子材料學會誌= The journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers 8 Pages
한국전기전자재료학회 電氣電子材料學會誌= The journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers 1995, Vol.8 No.2 176-183 (8 pages)
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Effect of MIM and n-Well Capacitors on Programming Characteristics of EEPROM
Lee. Chan-Soo, Cui. Zhi-Yuan, Jin. Hai-Feng, Sung. Si-Woo, Lee. Hyung-Gyoo, Kim. Nam-Soo 한국전기전자재료학회 Transactions on electrical and electronic materials 5 Pages
한국전기전자재료학회 Transactions on electrical and electronic materials 2011, Vol.12 No.1 35-39 (5 pages)
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ZrO2 MIM 캐패시터의 구조, 표면 형상 및 전기적 특성
김대규, 이종무, Kim. Dae Kyu, Lee. Chongmu 한국재료학회 한국재료학회지 4 Pages
한국재료학회 한국재료학회지 2005, Vol.15 No.2 139-142 (4 pages)
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고정밀 신관 부품의 MIM 공정에 관한 연구
서정화, 강경훈, Seo. Jung-Hwa, Kang. Kyeoung-Hoon 한국군사과학기술학회 韓國軍事科學技術學會誌 10 Pages
한국군사과학기술학회 韓國軍事科學技術學會誌 2012, Vol.15 No.3 231-240 (10 pages)
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무선PAN 및 이동통신용 기저대역 AIN MIM Capacitor의 구현과 특성분석에 관한 연구
이종주, 김응권, 차재상, 김진영, 김용성, Lee. Jong-Joo, Kim. Eung-Kwon, Cha. Jae-Sang, Kim. Jin-Young, Kim. Young-Sung 한국ITS학회 韓國ITS學會 論文誌 9 Pages
한국ITS학회 韓國ITS學會 論文誌 2008, Vol.7 No.5 97-105 (9 pages)
직접화에 대한 요구가 지속적으로 증가되고 있다. 본 연구에서는 휴대형 무선PAN 및 이동통신용 전자회로 설계에 다양한 목적으로 널리 사용되고 있는 기저대역의 수동소자들 중 미세 커패시터의 안정성과 전기적 특성을 확보하기 위하여, 유전체인 AIN을 사용하여 MIM구조로 제작된 미세 박막 커패시터 소자의 전기적인 특성을 분석하고 기저대역에서의 성능을 평가한다. 또한 제작된 미세 박막형 커패시터의 용량제어 방법을 제시함으로서 기저대역에서 범용으로 사용할 수 있는 미세 박막 커패시터의 모델을 제시하고자 한다. 또한,...