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플라즈마 화학 증착법(PACVD)에 의한 TiN 증착시 증착변수가 미치는 영향(I) -증착온도를 중심으로-
신영식, 하선호, 김문일, Shin. Y.S., Ha. S.H., Kim. M.I. 한국열처리공학회 열처리공학회지 10 Pages
한국열처리공학회 열처리공학회지 1989, Vol.2 No.4 1-10 (10 pages)
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Al 합금에 MO-PACVD법으로 증착시킨 Ti(CN) 코팅 층의 물성에 관한 연구
김태형, 김선규 한국표면공학회 한국표면공학회지 10 Pages
한국표면공학회 한국표면공학회지 2000, Vol.33 No.1 38-47 (10 pages)
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${CH_4}-{H_2}-{N_2}$ 기체계에서 MW-PACVD를 이용한 결정상 합성
김도근, 백영준, 성태연, Kim. Do-Geun, Baek. Young-Joon, Seong. Tae-Yeon 한국재료학회 한국재료학회지 8 Pages
한국재료학회 한국재료학회지 2000, Vol.10 No.9 648-655 (8 pages)
다이아몬드 합성 조건에서 질소 첨가량은 0%에서 95%까지 변화하였을 때의 합성 거동을 조사하였다. 질소 첨가량이 증가함에 따라 합성된 상은 {100} 성장면으로 이루어진 다이아몬드 막에서 고유의 결정면이 사라지고 나조 크기의 결정들로 이루어진 다이아몬 막으로 변화하였다. 심지어 수소가 없어 메탄과 질소만의 경우에서도 다이아몬드 막 합성이 가능함을 보여주었다. 또한 다이아몬드 구조를 갖는 개별적 입자의 형태는 30%∼80% 질소 첨가범위에서 정팔면체의 결정모양을 가졌고, 이 범위에서 기판온도가 증가함에 따라 육방정... -
Oxidation Resisitant SiC Coating for carbon/carbon Composites
Hyeok-Jong Joo, Nam-Joo Lee, In-Seok Oh 한국탄소학회 Carbon Letters 7 Pages
한국탄소학회 Carbon Letters 2003, Vol.4 No.1 5 24-30 (7 pages)
탄소/탄소 복합재는 열용량이 크고 비강성 및 비강도가 높으며 특히 진공 및 불활성 분위기 하에서 3000℃이상의 초고온에서도 기계적 물성의 저하가 거의 일어나지 않고 그 강도를 유지할 수 있기때문에 우주 항공 산업분야의 고온 구조용 재료로 이용되고 있는 유용한 재료이다. 특히 초고온에서 강도 유지와 열충격에 대한 저항성이 우수하므로 첨단 로켓 모터의 노즐목에 적합하며, 초고온 및 에너지 산업 문야에 이용된다. 최근에는 생체와 친화력이 우수하므로 인체 공학 분야에는 응용하려는 새로운 연구가 시작되고 있다. -
습도에 따른 다이아몬드성 카본필름의 잔류응력 변화에 대한 연구
이영진, 김태영, 이광렬, 양인상, Lee. Young-Jin, Kim. Tae-Young, Lee. Kwang-Ryeol, Yang. In-Sang 한국진공학회 韓國眞空學會誌 7 Pages
한국진공학회 韓國眞空學會誌 2004, Vol.13 No.4 157-163 (7 pages)
r.f.-PACVD) 법으로 증착된 다이아몬드성 카본 (Diamond-like Carbon : DLC) 필름에서 나타나는 습도에 따른 압축 잔류 응력의 변화 거동을 체계적으로 조사하였다. 합성에 사용된 탄화수소 가스의 종류와 -100V에서 -800V 범위의 기판 바이어스 전압의 조절을 통해 폴리머성 필름에서 흑연성 필름까지 광범위한 구조의 DLC 필름을 합성하였다. 상대습도가 10％-90％ 범위에서 변화하는 분위기 챔버 내에서 박막의 잔류응력의 변화를 실시간으로 측정하였다 박막의 경도와 잔류응력이 최고 값을 가지는 합성조건에서 얻어진 치밀한... -
FVA 증착법에 의해 합성된 ta-C 박막의 구조 및 물성 제어
이철승, 신진국, 김종국, 이광렬, 윤기현 한국진공학회 韓國眞空學會誌 8 Pages
한국진공학회 韓國眞空學會誌 2002, Vol.11 No.1 8-15 (8 pages)
쉽게 조절되지 못한다는 단점을 갖고 있다. 다양한 물성 조절을 위해, 본 연구에서는 기판에 바이어스 전압을 인가하여 ta-C박막의 기계적 물성을 제어하였다. 기판의 바이어스 전압이 증가함에 따라, 기계적 물성 및 밀도는 바이어스 전압이 -100 V인 경우에 최대값을 보였다. 최대 경도값 및 밀도는 각각 55$pm$3 GPa, 3.6$pm$0.4 g/㎤로 이는 RF PACVD나 이온빔으로 증착되는 DLC의 3~5배에 이르는 값이다. 조성 및 구조 분석은 Raman spectroscopy와 NEXAFS spectroscopy를 이용하여 조사하였다. 각 바이어스 전압에 따른 박막의 물성... -
다음극 직류전원플라즈마 화학 증착법에 의해 합성된 자유막 다이아몬드 웨이퍼의 특성
이재갑, 박종완 한국진공학회 韓國眞空學會誌 5 Pages
한국진공학회 韓國眞空學會誌 2001, Vol.10 No.3 356-360 (5 pages)
다음극 DC PACVD법에서 합성된 직경 80 mm, 두께 900 $mu extrm{m}$ ~ 950 $mu extrm{m}$의 자유막 다이아몬드웨이퍼의 특성을 분석하였다. 광투과현미경으로 결함의 분포를 관찰하고, Raman 및 IR 장치로 결정성을 분석하였다. 결함은 결정입계 부위에서 많이 관찰되었다. 또한 하나의 결정립에서 (111)면이 (100)면에 비해 상대적으로 많은 결함을 함유하였다. Raman 다이아몬드 peak의 FWHM 및 10.6 $mu extrm{m}$ 파장에서의 IR 투과도는 각각 4.6 $ extrm{cm}^{-1}$ /~5.3 $ extrm{cm}^{-1}$및 51.7% ~ 61.9%로, 두 값의 웨이퍼... -
플라즈마 화학증착법에 있어 모재의 표면조도가 TiN 박막층의 밀착력에 미치는 영향에 관하여
강해용, 김문일, Kang. H.Y., Kim. M.I. 한국열처리공학회 열처리공학회지 11 Pages
한국열처리공학회 열처리공학회지 1991, Vol.4 No.2 27-37 (11 pages)
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R.F. PACD에 의하여 증착된 TiN의 경도와 밀착력에 미치는 모재 경도의 영향
김성기, 김문일, Kim. S.K., Kim. M.I. 한국열처리공학회 열처리공학회지 11 Pages
한국열처리공학회 열처리공학회지 1991, Vol.4 No.1 19-29 (11 pages)
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Si가 Ti-Si-N 코팅막의 기계적 성밀 및 내산화특성에 미치는 영향
박범희, 김정애, 이종영, 김광호 한국세라믹학회 한국세라믹학회지 6 Pages
한국세라믹학회 한국세라믹학회지 2000, Vol.37 No.1 96-101 (6 pages)
