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태양광 실리콘 웨이퍼 세정제 개발
배수정, 이호열, 이종기, 배재흠, 이동기, Bae. Soo-Jeong, Lee. Ho-Yeoul, Lee. Jong-Gi, Bae. Jae-Heum, Lee. Dong-Gi 한국청정기술학회 청정기술 8 Pages
한국청정기술학회 청정기술 2012, Vol.18 No.1 43-50 (8 pages)
태양전지 제조공정 중 잉곳의 절삭공정 후 진행되는 태양광 실리콘 웨이퍼 세정에 관한 연구를 수행하였다. 태양광 실리콘 웨이퍼는 잉곳의 생산방법에 따라 단결정과 다결정 웨이퍼로 분류되고, 절삭 방법에 따라서는 슬러리로 절삭한 웨이퍼와 다이아몬드 와이어로 절삭한 웨이퍼로 구분할 수 있으며, 이의 방법들에 따라 웨이퍼 표면과 오염원이 달라질 수 있다. 본 연구에서는 세정대상물에 따라 오염원과 웨이퍼 표면의 특성을 관찰하였고 적합한 세정제를 개발하여 물성 및 세정성을 평가하여 적용성을 확인하고자 하였다. 개발된... -
다결정 실리콘 웨이퍼 직접제조에 대한 공정변수 영향
위성민, 이진석, 장보윤, 김준수, 안영수, 윤우영, Wi. Sung-Min, Lee. Jin-Seok, Jang. Bo-Yun, Kim. Joon-Soo, Ahn. Young-Soo, Yoon. Woo-Young 한국주조공학회 한국주조공학회지 5 Pages
한국주조공학회 한국주조공학회지 2013, Vol.33 No.4 157-161 (5 pages)
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태양전지 실리콘 웨이퍼에서의 레일리기준 기반 레이저산란 패턴 분석 및 결함 검출
연정승, 김경범, Yean. Jeong-Seung, Kim. Gyung-Bum 한국정밀공학회 한국정밀공학회지 8 Pages
한국정밀공학회 한국정밀공학회지 2011, Vol.28 No.5 606-613 (8 pages)
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SOD방법을 이용한 저가 EFG 리본 실리콘 태양전지의 효율 향상에 관한 연구
김병국, 임종엽, 저호, 오병진, 박재환, 이진석, 장보윤, 안영수, 임동건, Kim. Byeong-Guk, Lim. Jong-Youb, Chu. Hao, Oh. Byoung-Jin, Park. Jae-Hwan, Lee. Jin-Seok, Jang. Bo- 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 5 Pages
한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 2011, Vol.24 No.3 240-244 (5 pages)
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태양전지용 실리콘 기판의 절삭손상 식각 조건에 의한 곡강도 변화
강병준, 박성은, 이승훈, 김현호, 신봉걸, 권순우, 변재원, 윤세왕, 김동환, Kang. Byung-Jun, Park. Sung-Eun, Lee. Seung-Hun, Kim. Hyun-Ho, Shin. Bong-Gul, Kwon. Soon-Woo, Bye 한국재료학회 한국재료학회지 6 Pages
한국재료학회 한국재료학회지 2010, Vol.20 No.11 617-622 (6 pages)
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Micro blaster를 이용한 태양전지용 재생웨이퍼의 표면 개선에 관한 연구
이윤호, 조준환, 김상원, 공대영, 서창택, 조찬섭, 이종현, Lee. Youn-Ho, Jo. Jun-Hwan, Kim. Sang-Won, Kong. Dae-Young, Seo. Chang-Taeg, Cho. Chan-Seob, Lee. Jong-Hyu 한국센서학회 센서학회지 6 Pages
한국센서학회 센서학회지 2010, Vol.19 No.4 291-296 (6 pages)
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$Si-SnO_2 $ Heterojunction의 전기적 광학적 특성
대한전자공학회 電子工學會誌 1976, Vol.13 No.2 23-27 (5 pages)
p형과 n형 Si wafer의 111면위에 5x10-5mmHg의 진공내에서 SnO2-x박막을 Flash증착법으로 성장시킨 다음 산소분위기 속에서 열처리하여 Si-SnO2 heterojunction을 만들고 물성측정으로 부터 Energy bnad profile을 구하였다. 이 heterojunction은 양호한 정류성 Junction이며 400nm부터 1200nm까지 분광감도를 갖고 시정수가 -10-18sec로 고속광소자로 적합하며 Si p-n homojunction solar cell에 비하여 특성이 우수하고 제작이 간단하기 때문에 태양전지로 사용해도 손색이 없다. Si-SnO2 heterojunction was prepared by oxidzing at...


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