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Carbon Materials for Biomedical System
Soo-tin Park 한국탄소학회 Carbon Letters 7 Pages
한국탄소학회 Carbon Letters 2000, Vol.1 No.2 8 91-97 (7 pages)
탄소재료는 인류가 2000여년 전부터 사용해온 숯과 카본블랙과 같이 우리의 생활속에서 흔히 이용되는 매우 친숙한 재료임과 동시에, 현재에도 탄소섬유, 흑연본, 나노튜브 등과 같이 새로운 기능 및 특성을 가진 재료로 개발되어져 오고 있는 첨단재료이기도 한다. 탄소재료의 주된 응용분야 중 하나는 복합재료이며, 우리 주위에서 많이 볼 수 있는 탄소재료를 이용한 복합재료로는 테니스 라켓, 낚시대, 골프채와 같은 스포르 용품에서부터 방탄복, 로켓트 노즐, 브레이크 판의 패드(디스크 브레이크의 원반을 눌러 마찰에 의해... -
PECVD에 의한 질화 실리콘 박막의 증착
허창우, Hur. Chang-Wu 한국해양정보통신학회 한국해양정보통신학회논문지 5 Pages
한국해양정보통신학회 한국해양정보통신학회논문지 2007, Vol.11 No.11 2095-2099 (5 pages)
및 암모니아가스를 사용해서 PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) 진공 증착장비로 최적의 비정질질화실리콘 박막 증착 조건을 확립한다. 먼저 반응실의 진공도, rf 전력, $SiH_4$ 및 질소 그리고 암모니아가스의 flow rate를 변화시키면서 형성된 박막의 특성을 조사한다. 계속해서 다른 변수를 고정시킨 상태에서 rf 전력을 변화시키고 다음에는 반응실의 진공도 등을 변화시켜 최적의 증착조건을 확립한다. 이렇게 확립된 증착조건을 사용하여 비정질질화실리콘박막을 제작하여 특성을 측정한 결과 우수한 성능을... -
수지의 하전 입자빔 전처리 공정의 최적화
박영식, 심하몽, 나명환, 송호천, 윤상후, 장근삼, Park. Young Sik, Shim. Ha-Mong, Na. Myung Hwan, Song. Ho-Chun, Yoon. Sanghoo, Jang. Keun Sam 한국통계학회 응용통계연구 10 Pages
한국통계학회 응용통계연구 2014, Vol.27 No.4 543-552 (10 pages)
최근 휴대단말기 시장에서는 블루투스, GPRS, EDGE, 3GSM, HSDPA 등과 같은 높은 대역폭의 RF를 사용하고 있다. 높은 대역폭의 RF 영역에서는 높은 면저항(Sheet resistance)을 갖는 무전도 금속박막 코팅 방법이 사용되고 있는데, 기존의 무전도 금속증착은 사출물 세정, UV 하도 코팅, 금속증착, UV 중도 코팅, 상도 코팅 등 다수의 복합 공정으로 이루어져 있다. 특히 하도공정은 금속 증착(Sputtering)과 일괄 처리가 어려워 생산성이 낮고 생산원가 상승의 원인이기도 하다. 따라서 이를 극복하기 위하여 최근 Na 등 (2014)은 무전도... -
유도 결합 플라즈마에서 플라즈마 변수와 전자 에너지 분포에 대한 극판 전력 인가의 영향
이효창, 정진욱, Lee. Hyo-Chang, Chung. Chin-Wook 한국진공학회 韓國眞空學會誌 9 Pages
한국진공학회 韓國眞空學會誌 2012, Vol.21 No.3 121-129 (9 pages)
플라즈마 변수에 미치는 영향에 관한 내용을 다루고 있으며, 최근의 연구 결과에 대한 리뷰를 포함하고 있다. 플라즈마 밀도는 극판 전력 인가에 의하여 감소 또는 증가하였으며, Fluid global model에 의한 결과와 잘 일치하는 경향을 보였다. 전자 온도는 RF 바이어스에 의하여 증가하였으며, 전자 에너지 분포 측정을 통하여 전자 가열 메커니즘을 관찰하였다. 또한, 플라즈마 밀도의 공간 분포는 극판 전력에 의하여 더욱 균일해짐을 알 수 있었다. 이러한 극판 전력과 플라즈마 변수들의 상관관계와 전자 가열 메커니즘에 대한... -
광방출 분석법을 이용한 산화물 식각 장비의 세정 주기 최적화
손길수, 노용한, 염근영, 김수홍, 김명운, 조형철, Son. Gil-Su, Roh. Yong-Han, Yeom. Geun-Young, Kim. Su-Hong, Kim. Myoung-Woon, Cho. Hyung-Chul 한국진공학회 韓國眞空學會誌 6 Pages
한국진공학회 韓國眞空學會誌 2011, Vol.20 No.6 416-421 (6 pages)
특정 파장 크기변화의 관계를 알아보았다. 광방출 분석법을 이용하면 $O_2$ 플라즈마에서 폴리머가 제거되는 것이 관찰된다. 하지만 광방출 분석법은 외부영향에 의한 노이즈로 분석이 힘들며 다양한 조건에서의 폴리머 제거 상태를 비교하는 건 쉽지 않다. 이를 해결하고자 diff_CO 함수를 정의하고, 여러 경우에서의 diff_CO 함수 변화를 확인하였다. diff_CO 함수는 RF 인가시간이 증가함에 따라 최대값의 크기 감소와 작은 꼭지점 개수의 증가를 관찰할 수 있으며, 이를 이용하면 반응용기를 열지 않고도 반응용기 내부 오염정도를... -
대기압 플라즈마를 이용한 TiO2 광촉매의 효율향상을 위한 표면 개질 연구
조상진, 정충경, 김성수, 부진효, Cho. S.J., Jung. C.K., Kim. S.S., Boo. J.H. 한국진공학회 韓國眞空學會誌 6 Pages
한국진공학회 韓國眞空學會誌 2010, Vol.19 No.1 22-27 (6 pages)
발생된 대기압 플라즈마 (atmospheric pressure plasma: APP)를 이용 RF power 50~200 W 범위에서 Ar과 $O_2$ 가스를 사용 대기압 플라즈마로 광촉매 표면을 개질하였다. Ar 가스 단독으로 처리한 시료의 접촉각은 20도에서 10도로 감소하였으며, $O_2$ 가스를 반응성 가스로 하여 처리한 경우에는 접촉각이 20도에서 1도 미만으로 감소하였다. 동일한 RF power에서 $O_2$ 플라즈마 처리 시 더 낮은 접촉각을 확인하였는데, 이는 $TiO_2$ 표면과 산소원자의 결합으로 인하여 표면의 polar force의 증가에 의한 것으로 판단되어 대기압... -
O2/SF6/CH4 플라즈마를 이용한 플렉시블 Polycarbonate와 PMMA의 건식 식각
주영우, 박연현, 노호섭, 김재권, 이제원, Joo. Y.W., Park. Y.H., Noh. H.S., Kim. J.K., Lee. J.W. 한국진공학회 韓國眞空學會誌 7 Pages
한국진공학회 韓國眞空學會誌 2009, Vol.18 No.2 85-91 (7 pages)
것이다. 준비한 각각의 기판에 포토리소그래피 방법으로 마스크를 형성하여 샘플을 만들었다. RF 척 파워를 100 W, 총 가스 유량을 10 sccm으로 고정시켜 플라즈마 식각 실험을 실시하였다. 그 결과에 의하면 전체적으로 PMMA의 식각율이 PC보다는 약 2배 정도 높았다. 그 결과는 PC는 PMMA 보다 상대적으로 높은 녹는점을 가지고 있다는 사실과 관계가 있다고 생각한다. 또한 $O_2/SF_6/CH_4$의 삼성분계 가스와 $SF_6/CH_4$, $O_2/SF_6$, $O_3/CH_4$로 나누었을 때 $O_2/SF_6$의 혼합 가스에서 PMMA와 PC의 식각 속도가 가장 높았다... -
상압 플라즈마를 이용한 Polystyrene (PS)의 표면개절
이종수, 신현석, 석진우, 장규완, 백영환, Lee. Jong-Su, Shin. Hyun-Seok, Seok. Jin-Woo, Jang. Gyu-Wan, Beag. Yeong-Hwan 한국진공학회 韓國眞空學會誌 8 Pages
한국진공학회 韓國眞空學會誌 2009, Vol.18 No.1 1-8 (8 pages)
위하여 RF power를 150 W에서 350 W로 처리 시간을 1회에서 4회로 처리하며, 압축된 공기와 산소 가스를 사용하여 상압 플라즈마로 개질하였다 압축된 공기로 처리한 시료의 접촉각은 $91^{circ}$에서 $20^{circ}$까지 접촉각이 낮아졌으며, 이 때 표면 에너지는 45.74에서 68.48 dyne/cm 증가하였다. 동일한 조건에서 산소 가스로 300 W의 RF Power로 4회 처리하였을 때 접촉각이 $91^{circ}$에서 $17^{circ}$로 변화하였으며, 표면에너지는 45.74에서 69.73 dyne/cm 증가하였다. 표면에너지의 증가는 dispersion force의 증가보다는...
