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Effect of the Cu Bottom Layer on the Optical and Electrical Properties of In2O3/Cu Thin Films
김대일, Kim. Dae-Il 한국진공학회 韓國眞空學會誌 5 Pages
한국진공학회 韓國眞空學會誌 2011, Vol.20 No.5 356-360 (5 pages)
유리 기판 위에 RF와 DC 마그네트론 스퍼터링 방법으로 100 nm 두께의 $In_2O_3$ 단층 박막과 $In_2O_3$ 100 nm/Cu 3 nm의 두께를 갖는 적층박막을 증착하고, 구리 기저 층 증착에 따른 상부 $In_2O_3$ 박막의 광학적, 전기적 특성의 변화를 연구하였다. 상온에서 증착 된 $In_2O_3$ 박막의 가시광 투과도와 면 저항은 79%와 2,300 ${Omega}/{square}$이었다. 구리 기저 층의 광 흡수에 의하여, $In_2O_3$/Cu 적층박막의 가시광 투과도는 71%로 감소하였으나, 면 저항은 110 ${Omega}/{square}$로 측정되어 상대적으로 우수한 전기적... -
Electrical and Magnetic Properties of Tunneling Device with FePt Magnetic Quantum Dots
박상우, 서주영, 이동욱, 김은규, Pak. Sang-Woo, Suh. Joo-Young, Lee. Dong-Uk, Kim. Eun-Kyu 한국진공학회 韓國眞空學會誌 6 Pages
한국진공학회 韓國眞空學會誌 2011, Vol.20 No.1 57-62 (6 pages)
열처리 방식을 통하여 형성된 FePt 나노 입자를 사용하는 자기 양자점 소자를 제작하고, 전기적 및 자기적 특성을 연구하였다. FePt 자기 양자점 터널링 소자는 p 형 Si 기판 상부에 약 20 nm의 $SiO_2$ 터널 절연막을 형성하고 FePt 박막을 3 nm 두께로 증착한 후에 열처리 방식을 이용하여 8~15 nm 크기의 양자점을 갖는 구조이다. 터널링 소자의 전류-전압 특성을 자기장과 온도 변화에 따라 관찰하였고 특히, 저온에서 비선형적인 전류-전압 곡선을 확인하였으며 이러한 단전자 수송현상을 전자의 hopping 모델과 양자점의 터널링... -
Investigation of Solvent Effect on the Electrical Properties of Triisopropylsilylethynyl(TIPS) Pentacene Organic Thin-film Transistors
김경석, 김영훈, 한정인, 최광남, 곽성관, 김동식, 정관수, Kim. K.S., Kim. Y.H., Han. J.-In, Choi. K.N., Kwak. S.K., Kim. D.S., Chung. K.S. 한국진공학회 韓國眞空學會誌 7 Pages
한국진공학회 韓國眞空學會誌 2008, Vol.17 No.5 435-441 (7 pages)
본 논문은 TIPS Pentacene을 유기반도체로 사용한 유기박막 트랜지스터의 용제에 따른 전기적 특성에 대한 연구로서, 용제로는 chlorobenzene, p-xylene, chloroform, toluene을 사용하였으며, 회전 도포 방법을 사용하여 TIPS pentacene을 혼합하여 적층하였다. chlorobenzene을 사용하여 만들어진 유기박막 트랜지스터는 $1.0{ imes}10^{-2}cm^2/V{cdot}s$의 전계효과 이동도, $4.3{ imes}10^3$의 on/off 비율, 5.5 V의 문턱전압의 특성을 보였다. 반대로, chloroform을 사용하여 만들어진 유기박막 트랜지스터는 $5.8{... -
Sol-gel growth and structural, electrical, and optical properties of vanadium-based oxide thin films
박영란, 김광주, Park. Young-Ran, Kim. Kwang-Joo 한국진공학회 韓國眞空學會誌 7 Pages
한국진공학회 韓國眞空學會誌 2006, Vol.15 No.5 534-540 (7 pages)
$V_2O_3$, $VO_2$, $V_2O_5$ 박막들이 하나의 선구 용액으로부터 다양한 후열처리 조건을 통하여 제작될 수 있었다. 진공 중 후열처리 시 rhombohedral 구조의 $V_2O_3$ 박막이 형성되어졌고, 공기 중 후열처리 시 orthorhombic 구조의 $V_2O_5$ 박막을 얻을 수 있었다. Monoclinic 구조의 $VO_2$ 박막은 진공 후열처리 중 $O_2$ 가스를 공급함으로써 제작될 수 있었다. $V_2O_3$ 박막이 상온에서 도체적 특성을 보이는 반면, $V_2O_5$, $VO_2$ 박막은 반도체적 성질을 지니고 있음을 전기적, 광학적 특성 조사를 통하여 알 수 있었다.... -
Effect of the multilayer structure on electrical and mechanical properties fo thin film yttria stabilized zirconia electrolyte
Jung. In-Ho, Lee. You-Kee, Park. Jong-Wan 한국진공학회 The Journal of Korean vacuum science & technology 6 Pages
한국진공학회 The Journal of Korean vacuum science & technology 1998, Vol.2 No.1 43-48 (6 pages)
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Effect of annealing pressure on the growth and electrical properties of $YMnO_3$ thin films deposited by MOCVD
Shin. Woong-Chul, Park. Kyu-Jeong, Yoon. Soon-Gil 한국진공학회 The Journal of Korean vacuum science & technology 5 Pages
한국진공학회 The Journal of Korean vacuum science & technology 2000, Vol.4 No.1 6-10 (5 pages)
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Influence of Surface Texturing on the Electrical and Optical Properties of Aluminum Doped Zinc Oxide Thin Films
Lee. Jaeh-Yeong, Shim. Joong-Pyo, Jung. Hak-Kee 한국정보통신학회 International journal of maritime information and communication sciences 5 Pages
한국정보통신학회 International journal of maritime information and communication sciences 2011, Vol.9 No.4 461-465 (5 pages)


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