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첨단레이저 응용 미세제거가공기술
이제훈, 손현기, 김재구, 신동식, Lee. Jae Hoon, Sohn. Hyonkee, Kim. Jae Gu, Shin. Dong Sig 한국정밀공학회 한국정밀공학회지 10 Pages
한국정밀공학회 한국정밀공학회지 2006, Vol.23 No.1 13-22 (10 pages)
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펨토초 레이저를 이용한 실리콘 웨이퍼 표면 미세가공 특성
김재구, 장원석, 조성학, 황경현, 나석주, Kim. Jae-Gu, Chang. Won-Seok, Cho. Sung-Hak, Whang. Kyung-Hyun, Na. Suck-Joo 한국정밀공학회 한국정밀공학회지 6 Pages
한국정밀공학회 한국정밀공학회지 2005, Vol.22 No.12 184-189 (6 pages)
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유기 자기조립 단분자막의 레이저 포토 패터닝을 이용한 박막 미세 형상 가공 기술
최무진, 장원석, 김재구, 조성학, 황경현, Choi. Moojin, Chang. Wonseok, Kim. Jaegu, Cho. Sunghak, Whang. Kyunghyun 한국정밀공학회 한국정밀공학회지 7 Pages
한국정밀공학회 한국정밀공학회지 2004, Vol.21 No.12 160-166 (7 pages)
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실리콘 마이크로머시닝 기술과 산업용 MEMS
한국정밀공학회 한국정밀공학회지 2000, Vol.17 No.7 52-58 (7 pages)
최근 첨단 미세가공기술로 주목을 받고 있는 실리콘 마이크로머시닝 기술과 이를 기반으로 한 산업용 MEMS 개발현황을 소개한다. 전반부에서는 마이크로머시닝 기술의 종류를 소개하고 각각의 기술에 대해 기술근원, 미세가공원리와 기본 가공공정을 간략히 요약한 후 기전 집적형태의 마이크로머신과의 연계성을 고려한 시스템적인 측면에서의 기술특성을 상호 비교한다. 또한 가공의 양산성, 재현성, 조립성 측면에서 마이크로머시닝의 가공성을 조명함과 동시에 향후 발전방향을 전망한다.(중략) -
Bio-MEMS : MEMS 기술의 의료 및 생물학 응용
장준근, 정석, 한동철 한국정밀공학회 한국정밀공학회지 7 Pages
한국정밀공학회 한국정밀공학회지 2000, Vol.17 No.7 45-51 (7 pages)
기술적인 측면에서 이러한 연구들은 MEMS 분야의 초창기에 강조되어 온 표면 및 몸체 미세 가공 기술(surface ＆ bulk micromachining)과 같은 미세 구조물 제작 기술의 발전에 힘입은 바 크다. 그러나 MEMS 기술이 점차 발전되어 오면서, 가공 기술이 고도화되고 미세 시스템의 구조가 점차 복잡해짐에 따라, 많은 연구들이 단순한 가공기술을 넘어 미세 시스템을 조립하고 집적화할 수 있는 기술, 접합 (bonding) 기술, 패키징 (packaging) 기술, 3차원 형상의 제작 기술, 실리콘(silicon)이나 유리(glass)가 아닌 다른 재료를 이용한... -
레이저 빔 응용 기술
윤경구, 이성국, 김재구, 신보성, 최두선, 황경현, 박진용 한국정밀공학회 한국정밀공학회지 9 Pages
한국정밀공학회 한국정밀공학회지 2000, Vol.17 No.7 27-35 (9 pages)
재료가공분야에의 레이저의 적용은 1960년대 후반부터 시작되었으며, 고출력 CO$_2$ 와 Nd:YAG 레이저가 많은 산업분야에서 보편화될 정도로 발전하여 왔다. 재료가공에서의 레이저의 적용분야는 금속의 절단, 용접 및 드릴링, 세라익의 스크라이빙, 플라스틱과 복합재의 절단 및 여러 가지 재료의 마킹 등을 포함한다. 이와 같은 모든 응용에서 공통적인 것이 레이저 조사에 의해 재료를 용융, 증발시키는 열적 메카니즘이다.(중략) -
열구동형 폴리실리콘 마이크로 액츄에이터의 제작 및 특성분석
Lee. J.H., Lee. C.S., Yoo. H.J. 한국정밀공학회 한국정밀공학회지 7 Pages
한국정밀공학회 한국정밀공학회지 1997, Vol.14 No.12 153-159 (7 pages)
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Femtosecond Laser-Induced Line Structuring on Mold Stainless Steel STAVAX with Various Scanning Speeds and Two Polarization Configurations
Choi. Sang-Hoon, Sohn. Ik-Bu, Lee. Ho 한국정밀공학회 International journal of precision engineering and manufacturing 10 Pages
한국정밀공학회 International journal of precision engineering and manufacturing 2012, Vol.13 No.6 845-854 (10 pages)
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Electrochemical Machining of Tungsten Carbide Alloy Micro-pin with $NaNO_3$ Solution
Shibuya. Naoki, Ito. Yukihiro, Natsu. Wataru 한국정밀공학회 International journal of precision engineering and manufacturing 4 Pages
한국정밀공학회 International journal of precision engineering and manufacturing 2012, Vol.13 No.11 2075-2078 (4 pages)
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Comparative Study of Conventional and Micro WEDM based on Machining of Meso/Micro Sized Spur Gear
Ali. Mohammad Yeakub, Karim. A. N. Mustafizul, Adesta. Erry Yulian T., Ismail. Ahmad Faris, Abdullah. Aisy Anuarin, Idris. Mohd Nazro 한국정밀공학회 International journal of precision engineering and manufacturing 6 Pages
한국정밀공학회 International journal of precision engineering and manufacturing 2010, Vol.11 No.5 779-784 (6 pages)