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nconel 600위에 증착된 TiN 박막의 고온 NaCl 수용액에서의 CPP 실험에 의한 핏팅저항성의 연구
김용일, 정한섭, 김홍회, 이원종 한국세라믹학회 요업학회지 7 Pages
한국세라믹학회 요업학회지 1995, Vol.32 No.11 1301-1307 (7 pages)
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고주파 플라즈마 CVD에 의한 $ extrm{H}_2$-$ extrm{CH}_4$ 계로부터 다이아몬드 박막의 합성
임헌찬 대한전자공학회 電子工學會論文誌. Journal of the Korean Institute of Telematics and Electronics. T 6 Pages
대한전자공학회 電子工學會論文誌. Journal of the Korean Institute of Telematics and Electronics. T 1999, No.0 13-18 (6 pages)
다이아몬드 박막은 RF PACVD법에 의해 수소와 메탄으로부터 실리콘 웨이퍼 상에 성장되어졌다. 박막 성장 전에 표면의 핵생성 밀도를 증가시키기 위하여 1㎛의 다이아몬드 페이스트로 기계적 흡집을 내어 사용하였다. 메탄 농도를 변화시켜 제작한 박막에 대한 평가는 XRD, SEM 및 Raman Spectroscopy에 의해 이루어졌다. 성장된 박막의 결정성은 메탄 농도가 낮을수록 증가되었다. -
Ti-Al-N코팅층의 내산화 특성에 관한 연구
김충완, 김광호 한국세라믹학회 요업학회지 7 Pages
한국세라믹학회 요업학회지 1997, Vol.34 No.5 512-518 (7 pages)
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$TiCl_4/AlCl_3/N_2/Ar/H_2$ 반응계를 사용하는 플라즈마화학증착법에 의한 $Ti_{1-x}Al_xN$ 박막의 구조분석 및 물성
김광호, 이성호 한국세라믹학회 요업학회지 8 Pages
한국세라믹학회 요업학회지 1995, Vol.32 No.7 809-816 (8 pages)